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1. 发明授权

KR101634095B1 전동식 도가니 운반 및 투입장치 有权
标题翻译：坩埚电动移动注射设备
公开(公告)号：KR101634095B1
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020160063290
申请日：2016-05-24
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭
IPC分类号： B66C17/08 , B66C23/42 , B66C23/70 , B66C23/82 , F27B14/10
摘要： 본발명은전동식운반수단을이용하여원료(폴리실리콘및 도펀트등)가충진된도가니(71)를안정적으로운반한다음정밀제어되는제1 붐대를이용하여잉곳성장장치의메인챔버에정확히투입및 안착시킬수 있도록한 전동식도가니운반및 투입장치에관한것으로, 복수의휠이구비된전동식운반수단(5)과, 상기전동식운반수단(5)의일단에설치되는적재대(2)와, 상기적재대(2) 일단에수직으로설치되고승강수단에의해상승및 하강이동하는승강마스트(19)(20)와, 상기승강마스트(19)(20)에설치되어승강하는승강판(25)과, 상기승강판(25)의전면부에수평으로설치되는제1 붐대(45)와, 상기제1 붐대(45)의단부에출몰할수 있도록결합되는제2 붐대(46)와, 상기제2 붐대(46)를출입시키는실린더(51)와, 상기제2 붐대(46) 단부에축설치되는아암(66)과, 상기아암(66)의저부면끝단부에설치되는도가니고리(67)와, 상기아암(66)을도가니안착위치로회전시키는회전수단을포함하여구성된다.

2. 发明授权

KR101624701B1 잉곳 성장 장치용 개폐구조체 有权
标题翻译：开放装置开启和关闭结构
公开(公告)号：KR101624701B1
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：KR1020160018960
申请日：2016-02-18
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭 , 김진노 , 이재식 , 전한웅
IPC分类号： C30B15/00 , C30B15/30 , C30B15/20 , C30B29/06
摘要： 잉곳성장장치용개폐구조체가제공된다. 잉곳성장장치용개폐구조체는풀챔버와돔챔버사이에배치되며, 내부공간, 상기내부공간의상부와하부에각각상부개구및 하부개구를갖는몸체부; 상기몸체부의내부공간에구비되어상기하부개구를개폐시키도록수평방향및 상하방향으로이동가능한진자플레이트; 상기진자플레이트의상부와결합되어상기진자플레이트를이동시키는연동부재를가지며, 상기연동부재의수평방향이동을위해직선이동및 상기직선이동에의한회전이동을하는동력부; 및일정각도로기울어진상태로상기몸체부의내부공간에구비되되, 상기진자플레이트가상기하부개구에닫혀진상태에서상기연동부재의상부를가압하는위치에구비되는클램핑수단;을포함하며, 상기클램핑수단은상기수평방향으로이동하는상기연동부재가기울어진상기클램핑수단의일측을밀어줌으로써, 타측이상기연동부재의상부를향하여이동되어상기연동부재의상부를하측으로가압할수 있다.
摘要翻译：提供了一种用于锭生长装置的开闭结构。锭生长装置的开闭结构包括：主体单元，其布置在拉室和圆顶腔之间，并且在内部空间上具有上开口和下开口，并且每个上部部分和下部部分内部空间; 摆动板，其设置在主体单元的内部空间中，并且能够在水平方向和垂直方向上移动以便打开和关闭下部开口; 功率单元，其具有联接到摆锤板的上部的接合构件以移动摆锤板，并且在接合构件的水平方向上线性运动并且通过线性运动旋转移动; 以及夹持装置，其以预定角度倾斜地设置在主体单元的内部空间中，并且设置在摆动板在由下部的闭合状态下按压接合构件的上部的位置开幕。沿水平方向移动的接合构件推动倾斜夹紧装置的一侧，由此夹持装置的另一侧朝向接合构件的上部移动，以向下按压接合构件的上部。

3. 发明公开

KR1020150111636A 잉곳성장 장치의 배기관 산화물 제거방법 및 그 제거장치 有权
标题翻译：排气管除气净化器氧化物的方法与装置
公开(公告)号：KR1020150111636A
公开(公告)日：2015-10-06
申请号：KR1020140035218
申请日：2014-03-26
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭 , 정재학 , 이홍기 , 김진노 , 이경석 , 윤영목 , 장준혁 , 권혁철 , 권기환
IPC分类号： C30B15/00 , C30B29/06 , C30B35/00 , B08B9/027 , F27B14/08 , H01L21/02
CPC分类号： C30B15/00 , B01D53/00 , B08B9/027 , C30B29/06 , C30B35/00 , F27B14/08 , H01L21/02
摘要： 본발명은잉곳성장공정이완료되고그로워청소시배기관(Exhaust Pipe) 내부에쌓인산화물(Oxide)을불활성가스로신속간편하게제거(처리)할수 있도록한 잉곳성장장치의배기관산화물제거방법및 그제거장치에관한것으로, 잉곳성장장치의메인챔버하부에설치되고메인챔버내부와연결되는배기관; 상기배기관일단에설치되고메인챔버내부를포함한성장로의진공을유지하는진공펌프및 필터; 상기배기관의소정위치에적어도하나이상설치되고불활성가스가주입되는가스주입관; 상기가스주입관에설치되는개폐밸브를포함하며, 상기불활성가스는아르곤가스일수 있으며, 상기가스주입관을통하여주입되는불활성가스의분사방향은수평배기관의배기구방향일수 있으며, 상기가스주입관단부에설치되는마개를더 포함할수 있으며, 상기가스주입관과마개사이에결합되어기밀을유지하는오링을더 포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于去除锭生长装置的排气管中的氧化物的方法和装置。当锭生长过程完成时，设备可以在种植者清洁过程中快速且容易地用惰性气体清洁排放管中积聚的氧化物。该装置包括：排气管，其安装在锭生长装置的主室的下部并连接到主室的内部; 真空泵和过滤器安装在排气管的一端并维持包括主室内部的生长路径的真空; 一个或多个气体注入管，其安装在排气管的预定位置并注入惰性气体; 以及安装在气体注入管上的开启阀。惰性气体可以是氩气，并且在通过气体注入气体注入之后具有喷射方向以匹配水平排气管的排气口。可以在气体注入管的一端安装塞子。该装置还可以包括耦合在气体注入管和塞子之间以保持密封状态的O形环。

4. 发明公开

KR1020140106217A 잉곳 원료 연속공급장치 및 그 연속공급방법 有权
标题翻译：原料连续供应装置及其连续供应装置的方法
公开(公告)号：KR1020140106217A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020130020486
申请日：2013-02-26
申请人： (주)에스테크
发明人： 이상룡 , 강오현 , 허근섭 , 원승연
IPC分类号： C30B15/02 , C30B15/20
摘要： The present invention relates to a continuous feed apparatus of an ingot raw material, which continuously supplies a raw material for ingot growth at a fixed quantity, and to a continuous feed method thereof. The continuous feed apparatus of an ingot raw material comprises a hopper (22) for the input of raw material (21) for ingot growth; a discharge unit (23) formed at the lower part of the hopper (22) so as to discharge the raw material (21); a hopper lifting means (26) lifting and lowering the hopper (22) so as to open and close the discharge unit; a lifting guide means (27) guiding the lifting and lowering of the hopper (22); a means (29) for discharging the raw material through the lifting of the hopper (22) to a secondary hopper (28) thereunder at a fixed quantity; a raw material transfer means (31) transferring the fixed quantity of the raw material falling into the secondary hopper (28) to a feed pipe (30); the feed pipe (30) guiding and supplying the raw material transferred by the raw material transfer means (31) to the space (32) between the inner/outer crucibles (2, 3); an upper opening/closing means (34) and a lower opening/closing means (35) installed on a conduit (32) of the feed pipe (30) and alternately opened/closed; and a controller (36). Accordingly, an ingot raw material is continuously supplemented by the amount of the reduced volume in order to grow an ingot, and the ingot raw material is continuously supplied at a fixed quantity, which drastically improves the productivity of the ingot and provides for a uniform quality of ingot. Furthermore, the continuous feed apparatus of an ingot raw material blocks the high heat lifting and flowing into the continuous feed apparatus (20) and maintains a vacuum state inside the apparatus when continuously supplying the ingot raw material.
摘要翻译：本发明涉及连续供给用于固定量的锭生长用原料的锭原料的连续进料装置及其连续进料方法。锭原料的连续进料装置包括用于输入原料（21）的用于锭生长的料斗（22）排出单元（23），形成在料斗（22）的下部以排出原料（21）; 提升和降低料斗（22）以便打开和关闭排放单元的料斗提升装置（26）; 引导料斗（22）的提升和降低的提升引导装置（27）; 一种用于通过将料斗（22）以固定量提升到二级料斗（28）来排出原料的装置（29）; 原料转移装置（31）将落入二次料斗（28）的固定量的原料转移到进料管（30）; 所述进料管（30）将由所述原料转移装置（31）转移的原料引导到所述内/外坩埚（2,3）之间的空间（32）; 上部开/关装置（34）和安装在进料管（30）的导管（32）上并交替打开/关闭的下开/关装置（35）和控制器（36）。因此，为了生长锭子，不断地以锭量减少量的原料，以恒定的量连续供给铸锭原料，大大提高锭的生产率，并提供均匀的质量的锭。此外，铸锭原料的连续进料装置阻止高热量提升并流入连续进料装置（20），并在连续供应锭料时保持设备内的真空状态。

5. 发明授权

KR101190697B1 잉곳성장장치의 베이스챔버 有权
标题翻译：用于生长装置的基座
公开(公告)号：KR101190697B1
公开(公告)日：2012-10-12
申请号：KR1020090116963
申请日：2009-11-30
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭
IPC分类号： C30B15/20 , C30B35/00
摘要： 본 발명은 잉곳성장장치(Ingot Growing Apparatus)를 구성하는 베이스챔버(Base Chamber)(21)의 상부판(23)에 홀(29)을 정삭 가공한 다음 정삭가공된 튜브(30)의 상부를 튜브 삽입형으로 수밀(水密)유지되게 결합하고, 하부판(24)의 홀(31)에 튜브(30)의 하부를 결합시켜 용접함으로써 용접개소가 절반 이하로 감소되어 열변형이 적고, 정삭 가공개소도 크게 줄어 장시간 사용하더라도 용접부위의 부식으로 인한 누수 발생가능성이 50% 이하로 감소되도록 한 잉곳성장장치의 베이스챔버에 관한 것이다.
잉곳성장장치, 베이스챔버, 상부판, 하부판, 황삭, 정삭, 용접, 누수, 수명

6. 发明授权

KR101064964B1 잉곳성장장치의 도가니 구동축 냉각구조 有权
标题翻译：用于生长装置的可变轴组合结构
公开(公告)号：KR101064964B1
公开(公告)日：2011-09-15
申请号：KR1020090113464
申请日：2009-11-23
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭
IPC分类号： C30B15/20
摘要： 본 발명은 잉곳성장장치(Ingot Growing Apparatus)에 설치되는 도가니(도가니 爐) 구동축(Crucible Shaft)의 상부에 보조수냉실(14)(15)을 형성하여 보다 효율적인 냉각이 이루어지도록 함으로써 장기간 사용에 따른 열변형이나 녹아 내림이 방지되고, 상부 핫죤(Hot Zone)과의 결합력이 향상되며, 장기간 사용하더라도 냉각수의 누수가 방지되어 안전사고가 발생하지 않도록 한 것이다.
잉곳성장장치, 도가니, 구동축, 냉각수, 열변형, 회전, 승강, 페데스탈

7. 发明公开

KR1020110060388A 잉곳성장장치의 베이스챔버 有权
标题翻译：用于生长装置的基础振动器结构
公开(公告)号：KR1020110060388A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：KR1020090116963
申请日：2009-11-30
申请人： (주)에스테크
发明人： 박진섭
IPC分类号： C30B15/20 , C30B35/00
摘要： PURPOSE: A base chamber structure of an ingot growing device is provided to suppress thermal deformation by welding and fixing a bottom plate after a top plate is processed with a tube insertion structure. CONSTITUTION: A bottom plate(24) is located on the bottom of a base chamber. A frame member(25) is watertight and combined with a top plate(23) and the bottom plate. A plurality of holes(29) are formed on the top plate. A plurality of holes(31) are formed on the bottom plate. The upper side of the tube is combined with the hole of the top plate. The lower side of the tube is combined with the hole of the bottom plate.
摘要翻译：目的：提供锭生长装置的基室结构，通过在用管插入结构处理顶板之后通过焊接和固定底板来抑制热变形。构成：底板（24）位于底座的底部。框架构件（25）是防水的并与顶板（23）和底板组合。多个孔（29）形成在顶板上。多个孔（31）形成在底板上。管的上侧与顶板的孔组合。管的下侧与底板的孔结合。

8. 发明授权

KR100931349B1 근시진행 억제장치 失效
标题翻译： 근시진행억제장치
公开(公告)号：KR100931349B1
公开(公告)日：2009-12-11
申请号：KR1020080033252
申请日：2008-04-10
申请人： (주)에스테크
发明人： 장해성
IPC分类号： A61F9/00 , A61F9/013
摘要： 본 발명은 일정한 시간마다 촛점을 변환하여 원거리를 주시하는 효과를 줌으로써 눈의 피로를 경감시키는 근시진행 억제장치에 관한 것이다.
종래에는 컴퓨터를 장시간 사용함으로써 근시가 자주 발생하는 문제점이 있는데, 이를 해결하기 위하여 본 발명은 눈에 착용하는 안경의 형상으로 이루어지는 몸체(10)의 내측에 설치되며, 전원에 의해 구동력을 발생하는 구동모터(21)와, 상기 구동모터(21)의 회전축에 결합된 피니언(22)으로 구성된 모터하우징(20)과; 상기 모터하우징(20)과 결합되며, 한 쌍의 제1공간부(31)가 간격을 이루며 형성된 안내부(30)와; 상기 안내부(30)에 좌·우로 이동할 수 있게 결합되되, 상기 제1공간부(31)와 각각 대응하는 1쌍의 조절이완렌즈(41) 및 제2공간부(42)와, 상기 피니언(22)과 결합되는 랙(43)이 형성된 작동부(40); 상기 작동부(40)의 외측에 결합되어 내부의 구성부품이 이탈하는 것을 방지하는 커버(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 근시진행 억제장치를 제안한다.
따라서 본 발명에 의하면, 컴퓨터의 전원과 프로그램의 제어에 의해 일정한 시간마다 좌·우로 이동하는 작동부(40)의 조절이완렌즈(41)가 사용자 눈의 촛점을 변환함으로써 모니터를 바라보면서도 원거리를 주시하는 효과가 있어 눈의 피로를 경감시켜 근시를 예방하거나 진행을 억제하는 효과가 있다.
안경, 근시, 컴퓨터, 모니터, 보안경
摘要翻译：目的：提供一种防止近视发展的装置，以减少眼睛的疲劳，并通过用计算机的电源以恒定间隔转换眼镜的焦点来提供调节运动效果。一种防止近视发展的装置，包括：主体（10），安装在内体上并形成为眼镜形状; 通过动力产生驱动力的驱动马达（21）具有与所述驱动电机的旋转轴结合的小齿轮（22）的电机壳体（20）引导部分（30），其中形成有一对第一空间部分（31）; 一对调节透镜（41），对应于第一空间部分并与导向部分结合; 操作部分（40），其中形成与小齿轮结合的齿条（43）; 和防止部件分离的盖（50）。

9. 发明公开

KR1020090107796A 근시진행 억제장치 失效
标题翻译：防止MYOPIA的装置
公开(公告)号：KR1020090107796A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：KR1020080033252
申请日：2008-04-10
申请人： (주)에스테크
发明人： 장해성
IPC分类号： A61F9/00 , A61F9/013
CPC分类号： A61H5/00 , A61H2201/1215 , A61H2201/5015 , A61H2205/024
摘要： PURPOSE: A device for preventing myopia progression is provided to reduce fatigue of eyes, and to offer adjusting movement effects by converting a focus of glasses at a constant interval with power of a computer. CONSTITUTION: A device for preventing myopia progression includes the followings: a main body(10) installed at an inner body, and formed to a glasses shape; a driving motor(21) generating driving force by power; a motor housing(20) having a pinion(22) combined with a rotary shaft of the driving motor; a guide part(30) in which a pair of first space parts(31) are formed; a pair of adjusting lens(41) corresponding to the first space part, and combined with the guide part; an operation part(40) in which a rack(43) combined with the pinion is formed; and a cover(50) preventing components from being detached.
摘要翻译：目的：提供一种用于防止近视进展的装置，以减少眼睛的疲劳，并通过以计算机的功率以恒定间隔转换眼镜的焦点来提供调节运动效果。构成：用于防止近视进展的装置包括：安装在内部主体并形成为眼镜形状的主体（10）; 通过动力产生驱动力的驱动电机（21）具有与所述驱动电机的旋转轴组合的小齿轮（22）的马达壳体（20）形成有一对第一空间部（31）的引导部（30）对应于第一空间部分的一对调节透镜（41），并与引导部分组合; 形成与小齿轮组合的齿条（43）的操作部（40）以及防止部件脱离的盖（50）。

10. 发明授权

KR102208609B1 화학 기상 증착용 샤워 헤드 및 이를 구비한 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR102208609B1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：KR1020180171917
申请日：2018-12-28
申请人： (주)에스테크
发明人： 육영진 , 박진섭 , 김가현
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 본발명은화학기상증착용샤워헤드및 이를구비한증착장치에관한것으로, 더욱상세하게는반응가스공급을위한공급튜브와반응후 배출가스의배출을위한배출튜브를효율적으로배치하여반응챔버의소형화가가능하고, 반응가스체류시간단축을통한공정속도향상이가능한화학기상증착용샤워헤드및 이를구비한증착장치에관한것이다. 이를위한본 발명에따른화학기상증착용샤워헤드는, 반응가스를공급하는공급튜브및 반응후 배출가스를배출하는배출튜브를포함하고, 상기공급튜브와상기배출튜브는공정기판의일측에배치되되, 상기공급튜브와상기배출튜브중 어느하나의튜브는다른하나의튜브의내측에배치될수 있다.

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