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    • 3. 发明授权
    • 플립칩 본딩 장치
    • KR102208495B1
    • 2021-01-27
    • KR1020150149733
    • 2015-10-27
    • 한화정밀기계 주식회사
    • 김성욱
    • H01L23/00
    • 본발명은플립칩본딩장치를개시한다. 본발명은, 제1 이동부와, 상기제1 이동부와마주보도록배치되는제2 이동부와, 상기제1 이동부및 상기제2 이동부의일측에배치되고, 기판을이송시키는기판스테이지와, 상기제1 이동부및 상기제2 이동부의타측에배치되고, 상기기판스테이지와이격되어설치되는웨이퍼스테이지와, 상기웨이퍼스테이지로부터칩을픽업하고, 상기칩을플립(flip)시키는터릿헤드와, 상기제1 이동부의길이방향을따라이동하여, 일부가상기기판의이동경로와중첩되는이동경로를가지고, 상기플립된칩을상기기판상에부착하는본딩헤드및 상기제2 이동부의길이방향을따라이동하고, 상기플립된칩에레이저빔을조사하여상기플립된칩을상기기판에접합시키는레이저헤드를포함한다.
    • 4. 发明授权
    • 표면 실장기의 부품 유지 헤드
    • KR102199474B1
    • 2021-01-06
    • KR1020150161725
    • 2015-11-18
    • 한화정밀기계 주식회사
    • 마사히로타니자키
    • H05K13/04
    • 본발명의일 측면에따르면, 복수의부품유지부를구비한부품유지헤드에있어서, 축선둘레의 T 방향으로회전가능하며, 각각의단부에상기부품유지부가장착된복수개의스핀들과, 상기스핀들의 T 방향회전동작을위한동력을발생시키는 T축구동수단과, 상기 T축구동수단으로부터동력을전달받아회전하는선 기어와, 상기선기어에치합하는제1 유성기어와, 상기제1 유성기어에연결되어있으며상기선 기어와치합하는중간유성기어와, 상기중간유성기어와치합하는인터널기어와, 상기중간유성기어에연결되어있으며상기인터널기어와치합하는제2 유성기어와, 상기제1 유성기어와상기중간유성기어사이에배치되어탄성력을부여하는제1 탄성수단과, 상기제2 유성기어와상기중간유성기어사이에배치되어탄성력을부여하는제2 탄성수단과, 상기제1 유성기어, 상기제2 유성기어, 상기중간유성기어가설치되는유성기어축과, 상기유성기어축이설치되는캐리어를포함하는부품유지헤드를제공한다.