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    • 3. 发明公开
    • 통합 온도 제어 및 온도 센서를 가지는 복합형 전위차 가스 센서 어레이
    • 具有集成温度控制和温度传感器的复合电位式气体传感器阵列
    • KR1020170085133A
    • 2017-07-21
    • KR1020177017878
    • 2008-10-09
    • 유니버시티 오브 플로리다 리서치 파운데이션, 인크.
    • 블랙번,브라이언,엠.와치스맨,에릭,디.
    • G01N27/406G01N27/407G01N27/416
    • G01N27/4067G01N27/4071G01N27/4075G01N27/417G01N27/416
    • 본발명의실시예들은가스센서및 하나또는그 이상의가스를감지하는방법과관련되어있다. 하나의실시예는유사한또는다른온도에서유지되는센서전극배열을포함하며, 상기장치의감도및 종선택성은센서전극의다른쌍 사이에서잘 조정될수 있다. 특정의실시예는연소배기가스및/또는화학반응부산물을모니터링하도록가스센서배열을포함한다. 본장치의하나의실시예는높은온도에서동작하며거친화학환경을견딜수 있는본 발명과관련된다. 상기장치의실시예들은단일기판에서만들어진다. 상기장치는상기전극들이동일평면상에있는것을허여하여제작비용이계속해서감소하는것과같은환경에서센서전극을포함할수 있다. 상기장치의실시예들은감도, 선택성및 표면온도조절을통한단일개입에서의향상을제공할수 있다.
    • 本发明的实施例涉及一种用于感测一种或多种气体的气体传感器和方法。 一个实施例包括维持在相似或不同温度下的传感器电极阵列,并且可以在不同的传感器电极对之间良好地调谐装置的灵敏度和物种选择性。 某些实施例包括用于监测燃烧排气和/或化学反应副产物的气体传感器装置。 本装置的一个实施例涉及本发明,其在高温下操作并且可以承受恶劣的化学环境。 该装置的实施例在单个衬底上制成。 该装置可以包括在环境中的传感器电极,使得通过允许电极共面而使制造成本不断降低。 该装置的实施例可以通过表面温度控制提供灵敏度,选择性和单一介入方面的改进。