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1. 发明授权

KR102217579B1 포토마스크 블랭크스 기판 수납 용기 有权
公开(公告)号：KR102217579B1
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：KR1020167005606
申请日：2014-07-24
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 , 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 스즈키즈토무 , 오호리신이치 , 고이타바시류지 , 나카가와히데오 , 다카사카다쿠로 , 기노시타다카히로 , 후쿠다히로시
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/673
摘要： 레지스트패턴에의영향을억제하면서, 보관, 반송혹은용기조작중에발생할수 있는먼지나파티클의부착에의한포토마스크블랭크스의오염을보다확실히저감하고, 포토마스크블랭크스의품질및 수율을향상시킨다. 본발명은포토마스크블랭크스기판(2)을수납, 반송혹은보관하는포토마스크블랭크스기판수납용기(1)로서, 그구성부품의적어도하나가, 40℃에서 60분유지하에서다이나믹헤드스페이스법에의해측정되는카프롤락탐양이 n-데칸환산으로수지중량당 0.01ppm 이하로되는열가소성수지로구성되고, 또한그 표면저항치가 1.0E+13Ω이하인포토마스크블랭크스기판수납용기(1)에관한것이다.

2. 发明授权

KR102062672B1 기판 수납 용기 有权
公开(公告)号：KR102062672B1
公开(公告)日：2020-01-06
申请号：KR1020157012041
申请日：2012-11-20
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 마츠토리치아키 , 나가시마츠요시 , 오야마타카하루 , 이노우에스이치 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 오누키카즈마사
IPC分类号： H01L21/673

3. 发明授权

KR102000809B1 수지 조성물 有权
公开(公告)号：KR102000809B1
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：KR1020147026025
申请日：2013-03-29
申请人： 라이온 스페셜티 케미칼즈 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 사토히로무 , 에바타카츠요시 , 니카이도마사노리 , 스즈키츠토무 , 미무라히로시
IPC分类号： C08L45/00 , C08K7/02 , C08L23/00 , C08L25/06 , C08L65/00 , C08K3/04

4. 发明公开

KR1020170136500A 기판 수납 용기 审中-实审
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：KR1020170136500A
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：KR1020177024292
申请日：2016-02-22
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카토카츠히코 , 미무라히로시 , 하가노마사루
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67369 , G03F1/66 , H01L21/67359 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67383
摘要： 기판수납용기내의보유부의홈 내에있어서의기판의매끄러운상하운동을유지하면서, 또한기판단면근방에있어서의보유부와의스친자국의저감을실현한다. 본발명은기판 W를수납하는적어도일방을개구한용기본체(2)와, 그용기본체(2)의개구부(5)를개폐자유롭게착탈가능한덮개(3)를구비하는기판수납용기(1)로서, 용기본체(2)의내부에는기판 W의후방부위를보유하는제1 보유홈(12a) 부착의제1 보유부(12)를구비하고, 덮개(3)의내측에는기판 W의전방부위를보유하는제2 보유홈(25a) 부착의제2 보유부(25)를구비하고, 제1 보유부(12)에있어서의적어도제1 보유홈(12a)을, 폴리카보네이트수지와폴리부틸렌테레프탈레이트수지를주로하는알로이수지로구성하는기판수납용기(1)에관한것이다.
摘要翻译： <任务>同时保持在基板收纳容器的凹槽基板保持部的平滑的上下移动，并且还实现了与在上述基板部的附近其保持部减小的擦伤。基板收纳容器技术领域本发明涉及一种基板收纳容器，其具有：容器主体2，该容器主体2具有至少一个用于收容基板W的开口部和能够从容器主体2的开口部5拆下的盖3; （1）的容器主体（2）在基板W上的第1容纳槽（12A）内侧的内侧，所述第一保持部12提供，并在盖（3），用于附接至保持基板的后部部分W的第二保持部25具有用于保持第一保持部12的前部的第二保持槽25a。第一保持部12的至少第一保持槽12a由聚碳酸酯树脂以及由主要由聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂构成的合金树脂构成的基板收纳容器（1）。

5. 发明授权

KR101749919B1 도전성 고분자 분산액 및 도전성 도막 有权
公开(公告)号：KR101749919B1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：KR1020167012909
申请日：2015-01-09
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 마츠바야시소우 , 시나다노리마사 , 요시다카즈요시
IPC分类号： C08L65/00 , H01B1/12 , C08J3/02 , C08L33/06 , C08L67/00 , C08K5/101 , C09D133/00 , C09D167/00 , C09D5/24 , C09D7/12
CPC分类号： C09D5/24 , C08G2261/1424 , C08G2261/3223 , C08G2261/794 , C08L65/00 , C08L2203/206 , C09D7/40 , C09D7/63 , C09D133/068 , C09D167/02 , C09D181/02 , C09D201/00 , H01B1/124 , H01B1/127 , H01B1/128 , C08L25/18 , C08L33/068 , C08L67/04
摘要： 내수성및 내용제성이모두우수한도전성도막을용이하게형성할수 있는도전성고분자분산액을제공한다. 본발명의도전성고분자분산액은π공액계도전성고분자와, 폴리음이온과, 산기의알칼리금속염을갖는폴리에스테르수지와, 글리시딜기함유아크릴계수지를함유한다. 상기도전성고분자분산액은상기폴리에스테르수지및 상기글리시딜기함유아크릴계수지의합계질량(α)와, 상기π공액계도전성고분자및 상기폴리음이온의합계질량(β)의비율(α/β)가 6.90∼62.5의범위내인것이바람직하다.

6. 发明公开

KR1020170067849A 부가 경화성 대전방지 오가노폴리실록산 조성물 및 대전방지 실리콘 피막 审中-实审
标题翻译：可加成固化的抗静电有机聚硅氧烷组合物和抗静电硅膜
公开(公告)号：KR1020170067849A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：KR1020177012572
申请日：2015-12-02
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 마츠바야시소
IPC分类号： C08K5/1515 , C08L83/04 , C08L49/00 , C08L65/00 , C08L79/00 , C09K3/16 , C08L101/12 , C08G61/12
CPC分类号： C08K5/1515 , C08G77/12 , C08G77/20 , C08L49/00 , C08L65/00 , C08L79/00 , C08L101/02 , C09D183/04 , C09K3/16 , C08L25/18 , C08L63/00 , C08G61/125 , C08G61/126 , C08K2201/017 , C08L83/04 , C08L101/12
摘要： 유기용제를주로하는용매에안정적으로분산가용인도전성조성물을이용하여, 아민계화합물유래의문제, 예를들면부가형실리콘이굳어지기어려운등의문제가적고, 또한도전성이뛰어난실리콘피막을형성한다. 본발명은 (a) π공액계도전성고분자와, (b) 폴리음이온과, (c) 하기화학식 (1)로표시되는화합물과, (d) 부가경화성오가노폴리실록산조성물을포함하는부가경화성대전방지오가노폴리실록산조성물, 및그것을기체상에공급하여경화시켜이루어지는대전방지실리콘피막에관한것이다.(R은불포화결합을가지는관능기를나타낸다)
摘要翻译： <问题>通过使用能够稳定分散于以有机溶剂为主成分的溶剂中的导电性组合物，可以降低来自胺化合物的问题，例如难以使添加型硅固化等问题，形成导电性优异的硅膜的。（C）由下式（1）表示的化合物;和（d）可加成固化的有机基聚硅氧烷组合物，其中所述（c）并且，使加成固化型抗静电有机聚硅氧烷组合物（R为具有不饱和键的官能团）固化而得到的防静电性硅膜，

7. 发明授权

KR101738219B1 웨이퍼 수납용기 有权
公开(公告)号：KR101738219B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020147011829
申请日：2011-11-08
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 오야마다카하루 , 마츠토리치아키 , 나가시마츠요시 , 이노우에슈이치 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 오누키가즈마사
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67386 , Y10S206/832
摘要： 용기본체(1) 내의좌우양측에배치된웨이퍼지지선반(10, 10)에각각, 반도체웨이퍼(W)의외연부가국부적으로재치되는웨이퍼지지볼록부(A, B1, B2)가, 반도체웨이퍼(W)의중심위치로부터안쪽에 1개소와앞쪽에 2개소씩마련되어있다. 그에의해서, 웨이퍼출입개구(2)에덮개체(3)가장착되지않은상태에서, 웨이퍼지지선반(10, 10)의복수개소의지지볼록부(A, B1, B2)상에재치된반도체웨이퍼(W)의휨량을, 최소한의지지볼록부수로, 로봇암에의한취출등에지장이발생하지않도록억제할수 있다.

8. 发明公开

KR1020170038846A 기판 수납 용기 审中-实审
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：KR1020170038846A
公开(公告)日：2017-04-07
申请号：KR1020177004770
申请日：2015-07-21
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 오가와오사무 , 도미나가기미노리 , 후지모토야스히로
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67389 , H01L21/67393
摘要： 용기본체내의공기를기판용보호기체를효율좋게치환할수 있는기판수납용기를제공한다. 복수매의반도체웨이퍼 W를수납가능한용기본체(1)와, 용기본체(1) 내에퍼지가스를공급하는급기밸브와, 급기밸브로부터의퍼지가스를용기본체(1) 내에불어내는기체치환유닛(40)을구비하고, 용기본체(1)를프론트오픈박스로형성하여그 바닥판(6)의후부에급기밸브를장착하고, 기체치환유닛(40)을, 급기밸브로부터의퍼지가스를저류하는하우징(41)과, 하우징(41)의개구한정면(42)을피복하는커버(52)로구성하고, 하우징(41)의하부를급기밸브에퍼지가스가유통하도록접속함과아울러, 하우징(41)의상부를용기본체(1)의배면벽(18)에지지시키고, 하우징(41)과커버(52)의어느일방에는, 퍼지가스를용기본체(1)의정면(2) 방향으로불어내는복수의취출공(55)을천공한다.
摘要翻译：它提供的基板收纳容器，可以有效地替换保护气体到衬底为在容器主体中的空气。气体置换单元吹和存储可用的容器主体1，在半导体晶片W上的多个空气供给阀的用于供给吹扫气体到容器主体1中，在容器主体的吹扫气体robuteoui供给阀（1）（40 ），以提供，并以形成容器本体（1），其为前开盒，该底板6的后部配备有一个进料阀和用于气体置换单元40的壳体，存储所述吹扫气体robuteoui供给阀（ 41），由一盖52用于打开覆盖壳体41的前表面42，外壳41也连接到净化气体流量的空气供给阀乌伊哈岛的部分和，同时，外壳41的服装在容器主体（1）的零件uibae后壁18，边缘支承件和壳体41和盖的任一52，吹扫气体到容器主体（1）议定书面2的多个吹出孔的方向吹它击穿55。

9. 发明授权

KR101698617B1 정전 용량형 입력 스위치 有权
标题翻译：电容式输入开关
公开(公告)号：KR101698617B1
公开(公告)日：2017-01-20
申请号：KR1020117018069
申请日：2010-02-04
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 고바야시유스케 , 야마자키쇼지 , 아라키스미타카 , 다나카아츠코 , 고마츠히로토
IPC分类号： H01H36/00 , G01L1/14 , H03K17/96
CPC分类号： H03K17/962 , H03K2217/960755 , H03K2217/96076 , H03K2217/960785
摘要： 강성을가지는강성부여층과, 이강성부여층에중첩되어설치되어강도가부여되는적층시트를구비하고, 이들강성부여층과적층시트중, 적어도적층시트를삼차원형성한정전용량형입력스위치로서, 적층시트는, 기재시트와, 캐패시터형성용의도전패턴층과, 이들기재시트와도전패턴층의적어도어느일방에적층되는가식층을포함하고, 도전패턴층에별개의도전체를접촉시키고, 이도전체에의해도전패턴층을외부전기회로에전기적으로접속하도록하고, 강성부여층과적층시트를삼차원성형하여강성부여층의표면에적층시트를위치시키고, 강성부여층과적층시트를베이스판에부착하고, 이베이스판에강성부여층의하방에위치하는회로기판을부착함과아울러, 이회로기판에는강성부여층내에위치하는가이드판을고정하고, 이가이드판에설치한위치결정구멍에도전체를삽입하고, 그단부를회로기판의전극에접촉시키도록하고있다.
摘要翻译：提供一种电容式输入开关，其能够适当且有效地抑制与三维形成相关联的导通故障而容纳在设备等的外壳中。在容纳在电子设备的壳体中的电容式输入开关中，包括具有刚性的刚性赋予层1和层叠在刚性赋予层1上的强度的层压片10，并且具有刚性赋予层1和层叠片10由三维形成，层叠片10由基片11，电容器形成用导电图案层12和至少层叠在基片11和导电图案层中的任一个上的装饰层13形成如图12所示，使分离的导体30与导电图案层12接触，并且导体图案层12被导体30与外部电路电连接。使用由导电橡胶构成的导体30，用于延伸到外部电路，使得当电容式输入开关容纳在电子设备的外壳中时，提取线从来不占用空间成为住宿的障碍。

10. 发明公开

KR1020160025458A 대전 방지 필름의 제조 방법 有权
标题翻译：防静电膜生产方法
公开(公告)号：KR1020160025458A
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020150116549
申请日：2015-08-19
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 , 닛신 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 마츠바야시소우 , 간토코헤이 , 요시다카즈요시 , 스즈키타카노리
IPC分类号： C08J7/04 , C08J5/18 , C08L67/03
CPC分类号： C09K3/16 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/12 , C08J7/047 , C08J7/08 , C08J2381/06 , C08J2429/02 , C08J2429/04 , H01B1/12 , H01B1/127
摘要： 본발명의대전방지필름의제조방법은π공액계도전성고분자및 폴리음이온을함유하는도전성복합체가수계분산매중에포함되는도전성고분자수분산액에, 폴리비닐알코올을혼합하여혼합액을조제하는조제공정과, 상기혼합액을필름기재의적어도일방의면에도공하여도공필름을얻는도공공정과, 상기도공필름을가열하여건조시킴과함께연신시키는건조연신공정을갖는다.
摘要翻译：根据本发明，抗静电膜的制备方法包括：通过将聚乙烯醇与通过分散包含π共轭导电聚合物的导电络合物形成的水性导电聚合物分散体混合制备混合溶液的制备方法，聚阴离子在水性分散介质中; 涂覆方法，在薄膜基材的至少一面上涂布混合溶液，得到涂膜; 以及用于加热，干燥和拉伸涂膜的干伸长过程。本发明的制备方法可以以高生产率稳定地制备抗静电膜。

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