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1. 发明授权

KR102152115B1 진공 슬라이드 게이트 밸브 有权
公开(公告)号：KR102152115B1
公开(公告)日：2020-09-07
申请号：KR1020130161503
申请日：2013-12-23
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 블레차토마스
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/10

2. 发明授权

KR102107245B1 진공 밸브 有权
公开(公告)号：KR102107245B1
公开(公告)日：2020-05-07
申请号：KR1020130085322
申请日：2013-07-19
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 에르네플로리안
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/122

3. 发明授权

KR101770990B1 피봇 가능 밸브 폐쇄 빔을 갖는 플랩 이송 밸브 有权
标题翻译：带有可转动阀门关闭梁的活瓣转换阀
公开(公告)号：KR101770990B1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020110010177
申请日：2011-02-01
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K1/20 , F16K51/02 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02 , H01L21/67751 , H01L21/67772
摘要： 본발명은기밀방식으로격리될수 있는반도체또는기판공정실로의반도체소자들또는기판들의이송을위한플랩이송밸브에관한것으로서, 이플랩이송밸브는제 1의밀봉평면(41) 상에놓이는제 1의밀봉면(3)에의해프레임의형태로둘러싸인길다란제 1 개구(1) 및제 1의밀봉면과기밀접촉될수 있고제 2 밀봉평면(42) 위에위치되는상기제 1의밀봉면(3)에대응하는제 2의밀봉면(9)을가진길다란밸브폐쇄빔(4)을가진다. 지지체(40)는상기밸브폐쇄빔(4)의상기후면(7) 상에배치되고, 지지체(40) 상에는상기밸브폐쇄빔(4)이경사축선(44)을중심으로제한된피봇팅각도로피봇가능연결부(43)를통해피봇할수 있도록배치된다. 상기지지체(40)는상기밸브폐쇄빔(4)과함께피봇팅베어링(60)에의해, 폐쇄위치(C)와개방위치(O) 사이에서피봇팅축선(10)을중심으로피봇할수 있다. 상기피봇팅축선(10)은상기제 1의밀봉평면(41) 상에놓이고, 상기경사축선(44)은상기제 2 밀봉평면(42) 상에놓인다.
摘要翻译：本发明涉及用于半导体元件的转移或半导体或可被分离气密的方式的基板处理室的基板的翼片供给阀，IPLE的照片实验室供给阀处于第一放置在第一的密封面（41）它对应于密封面3细长的第一开口（1）的密封表面（3）的所述第一可密封表面和气密接触mitje 1和位于第二密封平面上方（42）在一帧的形式被包围以及具有第二密封表面（9）的细长阀关闭梁（4）。支撑件40是阀闭合梁4服装气候面7被布置在在所述支撑件（40）阀关闭束4 yigyeong枢轴到限制为约44的枢转角度的SA轴可能的连接（43）。支撑件40可以沿阀关闭梁4它到枢轴轴承（60）与闭合位置（C）和打开位置（O）围绕枢转轴线（10）一起之间枢转。枢转轴线10搁置在基座构件1的密封表面41上并且倾斜轴线44位于密封基座2密封表面42上。

4. 发明公开

KR1020160119143A 진공 밸브 审中-实审
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR1020160119143A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：KR1020167024206
申请日：2015-02-06
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 바그너세드릭 , 섬머칼하인츠 , 프레너한스피터 , 지카마이클
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/18 , F16K3/314 , F16K27/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , B01D39/08 , B01D39/2044 , B01D46/0012 , B01D2239/0613 , F16K3/0218 , F16K3/0227 , F16K3/18 , F16K3/314 , F16K3/02 , F16K27/04
摘要： 본발명은제2 컴포넌트(11)에대한진공밸브(1)의제1 컴포넌트(10)의기계적커플링연결을위한스크루요소(9a; 9b)를포함하는진공밸브(1)에관한것이다. 스크루요소(9a; 9b)는툴(17)에대해제1 가스영역(5)에배치된결합면섹션(15)과제1 스레드(14a; 14b)를갖는스레딩된면 섹션(12) 사이에힘 전달면섹션(18)을갖는다. 제1 컴포넌트(10) 및제2 컴포넌트(11)는제2 컴포넌트(11)에할당되는제2 스레드(21a; 21b)와제1 스레드(14a; 14b) 사이에서제1 컴포넌트(11)의관통홀(20)을통해수행되는, 스레드결합에의한폼-핏팅방식으로기계적으로커플링된다. 스크루요소(9a; 9b)는스레딩된면 섹션(12)과결합면섹션(15) 사이에시일링면섹션(24)을갖는다. 제1 컴포넌트(10)의시일링면(25)과시일링면섹션(24) 사이에서, 시일링시일요소(26a; 26b)는, 스레딩된면 섹션(12)이배치되는제3 가스영역(27)으로부터가스기밀또는입자기밀방식으로제1 가스영역(5)이분리되는방식으로배치된다.
摘要翻译：本发明涉及一种真空阀（1），其包括用于将真空阀（1）的第一部件（10）与第二部件（11）机械联接的螺纹元件（9a; 9b）。螺旋元件9a和9b连接到带有啮合表面部分15的螺纹表面部分12，所述啮合表面部分15相对于工具17布置在第一气体区域5中并且具有任务1螺纹14a，面部18。第一部件10和第二部件11被布置成使得第一部件11的通孔20在第二螺纹21a 21b与分配给第二部件11的第一螺纹14a 14b之间通过螺纹接合以形状配合的方式形成。螺纹元件9a和9b在螺纹表面部分12和配合表面部分15之间具有密封表面部分24。在第一部件10的密封表面25和密封表面部分24之间，密封密封元件26a，26b从第三气体区27延伸，其中螺纹表面部分12被分隔第一气体区域5以这样的方式设置，即第一气体区域5以气密或颗粒密封的方式分离。

5. 发明授权

KR101630961B1 밸브 작동 방법 有权
标题翻译：操作阀的方法
公开(公告)号：KR101630961B1
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：KR1020140160849
申请日：2014-11-18
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 바흐만크리슈토프 , 에르네플로리안
IPC分类号： F16K31/12 , F16K3/314 , F16K51/02
CPC分类号： F16K15/06 , F16K3/029 , F16K3/18 , F16K11/18 , F16K11/22 , F16K51/02 , Y10T137/0379
摘要： 본발명은 2개이상의챔버(4, 5)의개구(2, 3)를서로연결시키고, 각각의챔버(4, 5)의개구(2, 3)를폐쇄하기위하여하나이상의고유한폐쇄부재(6, 7)를구비하는밸브(1)를작동시키기위한방법에관한것으로서, 이경우에는개구(2, 3) 중에하나를개방시키기위하여상기개구(2, 3)에할당된챔버(4, 5) 내에서정압이발생하고, 이정압은밸브하우징내부공간(8) 내에서의순간적인대기압보다높으며, 이경우상기정압에의해서는상기개구에할당된폐쇄부재(6, 7)가상기개구(2, 3)에할당된밸브시트(10, 11)로부터들어올려지고, 그다음에는상기개구(2, 3)를관통함으로써상기개구(2, 3)에할당된챔버(4, 5)와밸브하우징내부공간(8) 사이에서압력보상이실시된다.

6. 发明公开

KR1020160064985A 진공밸브 审中-实审
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR1020160064985A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020150164994
申请日：2015-11-24
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 자네티클라우디오
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/14 , F16K3/314 , F16K27/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/314 , F16K3/14 , F16K27/047 , F16K51/02
摘要： 진공밸브는밸브개구부를갖는밸브하우징 (1) 과, 폐쇄부재 (8) 와, 상기폐쇄부재 (8) 에설치된그리고상기폐쇄부재 (8) 를상기폐쇄부재 (8) 의개방위치와상기폐쇄부재 (8) 의폐쇄위치사이에서이동시키기위해이동방향 (13) 으로그리고상기이동방향과반대로축방향으로이동가능한밸브로드 (9) 와, 상기폐쇄부재 (8) 의정면에또는상기밸브하우징 (1) 의밸브시트 (4) 에배치된탄성적시일 (12) 과, 상기밸브하우징 (1) 의상기밸브시트 (4) 에또는상기폐쇄부재 (8) 의정면에배치된, 그리고상기시일 (12) 이상기폐쇄부재 (8) 의폐쇄위치에있어서밀착해있는밀봉면 (5) 과, 상기밸브시트 (4) 로부터멀리향하는상기폐쇄부재 (8) 의뒷면에배치된적어도하나의지지부품 (17) 을포함한다. 상기지지부품 (17) 의지지면 (20) 과상기밸브하우징 (1) 사이의밀착은밀착평면 (24) 에서수행되고, 상기밀착평면은상기이동방향 (13) 에대해, 상기이동방향 (13) 에대해직각인그리고상기밸브개구부 (2) 의세로축 (3) 에대해직각인축 (25) 둘레로기울어져있다. 상기지지부품 (17) 은상기폐쇄부재 (8) 에대해, 상기이동방향 (13) 에대해직각인그리고상기밸브개구부 (2) 의세로축 (3) 에대해직각인선회축 (18) 둘레로선회가능하다.
摘要翻译：真空阀包括：具有阀孔部分的阀壳体（1）; 关闭构件（8）; 一个安装在关闭件（8）中的阀杆（9），它可以沿运动方向（或运动方向）相反的方向移动，以使封闭件（8）在打开位置关闭构件（8）的闭合位置和关闭构件（8）的关闭位置。弹性密封件（12），其布置在所述阀壳体（1）的阀片（4）上或所述封闭构件（8）的前部; 密封平面（5），其布置在阀壳体（1）的阀片（4）上或封闭构件（8）的前部，并且在闭合位置的关闭位置处粘附到密封件（12）会员（8）; 以及布置在所述封闭构件（8）的远离所述阀片（4）的后表面处的至少一个支撑部件（17）。支撑部件（17）的支撑平面（20）对阀壳体（1）的粘附在粘合平面（24）上进行。关于移动方向（13），粘合平面围绕垂直于移动方向（13）的轴线（25）和阀孔部分（2）的垂直轴线（3）倾斜。关于关闭构件（8），支撑部件（17）能够围绕与旋转轴线（18）正交的旋转轴线（18）和阀孔部分（2）的垂直轴线（3）旋转。

7. 发明公开

KR1020160019382A 프레스드-오프, 가황처리된 시일을 갖는 진공 밸브를 위한 폐쇄 요소 审中-实审
标题翻译：一个真空阀的关闭元件，带有压力，VULCANIZED-ON密封
公开(公告)号：KR1020160019382A
公开(公告)日：2016-02-19
申请号：KR1020150112395
申请日：2015-08-10
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 위르겐베스테브너
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/30 , F16K3/314 , F16K51/02 , F16J15/16
CPC分类号： F16K3/0227 , B23P15/001 , B29C43/18 , B29C43/38 , B29C70/745 , F16J15/106 , F16J15/108 , F16J15/123 , F16J15/14 , F16K3/18 , F16K51/02
摘要： 진공밸브용이고, 상기진공밸브의, 공정체적(process volumn)을위해제공되는, 진공밸브개구(2)와의협력에의해상기공정체적의기밀폐쇄를위해구성되는폐쇄요소(20"), 특히밸브디스크로서, 상기진공밸브개구(2)의제 2 밀봉면에대응하는제 1 밀봉면(22)으로서, 상기제 2 밀봉면은상기진공밸브개구를둘러싸는, 상기제 1 밀봉면(22), 및상기제 1 밀봉면(22) 위로가황처리되고그것의코스를따라상기제 1 밀봉면(22)의표면법선의방향으로규정된높이를가지는밀봉재료(25')를포함하고, 상기밀봉재료(25')는밀봉재료단면에대해규정된형상을가지며, 특히상기공정체적측상에제공되는제 1 밀봉부분(26), 및특히상기공정체적으로부터떨어져마주하여제공되는제 2 밀봉부분을포함한다. 상기폐쇄요소(20")는상기제 1 밀봉부분(26)에인접하고가압에지(28)를가지는압축물(24')을가지며, 상기가압에지(28)는상기제 1 밀봉부분(26)에대해형성되고구성되며, 그결과표면코스가상기제 1 밀봉부분(26)의상기형상에의해주어지고상기가압에지(28)로테이퍼(taper)지는상기밀봉재료(25')의상기표면코스는단면방향에서균일하게, 특히선형으로계속된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于真空阀的闭合元件，更具体地说，涉及一种阀盘，其被设置成获得真空阀的处理体积，并配置成与真空阀开口（2）配合，用于气密封闭处理量，。闭合元件包括：对应于真空阀开口（2）的第二封闭表面的第一封闭表面，其中第二封闭表面围绕真空阀开口; 以及密封材料，所述密封材料在所述第一包封表面上被硫化，并且沿着其过程沿着所述第一包封表面的表面法线的方向限定高度。密封材料具有关于密封材料的横截面限定的形状，更具体地，包括设置在处理体积上的第一密封部分和与处理体积分开设置的第二密封部分面对第一个密封部分。闭合元件具有压缩物质，其被定位成邻近第一密封部分并且具有加压边缘。加压边缘由第一密封部分形成和构造，结果，通过第一密封部分的形状提供加压边缘的表面层。密封材料的朝向加压边缘逐渐变细的表面过程在横截面方向上均匀地，更具体地线性延伸。根据本发明，可以将至少一部分面对待关闭的处理体积的成形过程中的毛刺形成或残留颗粒的形成最小化或完全避免。

8. 发明公开

KR1020150131371A 진공 밸브 审中-实审
标题翻译：真空阀
公开(公告)号：KR1020150131371A
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：KR1020157029983
申请日：2014-03-12
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 쇤마티아스
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/18 , F16K3/314 , F15B15/14 , F16J15/56 , F16K51/02
CPC分类号： F16K31/122 , F16K3/188 , F16K51/02
摘要： 본발명은중간에놓이는제 1, 제 2 및중간폐쇄부재위치(C1, C2, C3) 사이에제 1 폐쇄부재(1a)를조정하기위한적어도하나의피스톤/실린더장치(3)를가지는진공밸브에관한것이다. 제 1 폐쇄부재(1a)에기계적으로결합되는피스톤/실린더장치(3)는실린더유닛(4) 및피스톤유닛(7)을가진다. 제 1 시일보디(10a; 11a) 및제 2 시일보디(10b; 11b)는실린더유닛(4) 및피스톤유닛(7)에대해축방향으로서로독립적으로변위될수 있다. 피스톤유닛(7)의실린더유닛(4) 및제 3 축방향스톱(16a)의제 1 축방향스톱(15a)은서로에대해배열되고그 결과중간폐쇄부재위치(C3)에서, 제 2 압력체임버(5b)의방향에서제 1 시일보디(10a; 11a)의축방향가동성은제 1 축방향스톱(15a) 및제 3 축방향스톱(16a)에의해함께제한된다. 피스톤유닛(7)의실린더유닛(4) 및제 4 축방향스톱(16b)의제 2 축방향스톱(15b)은서로에대해배열되고그 결과중간폐쇄부재위치(C3)에서, 제 1 압력체임버(5a)의방향에서제 2 시일보디(10b; 11b)의축방향가동성은제 2 축방향스톱(15b) 및제 4 축방향스톱(16b)에의해함께제한된다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有至少一个活塞/汽缸装置（3）的真空阀，用于在第一，第二和中间关闭件位置（C1，C2）之间调节第一关闭件（1a） Lt。机械联接到第一闭合构件1a的活塞/缸体装置3具有缸单元4和活塞单元7。第一密封体（10A; 11A）mitje第二密封体（10B; 11B）可彼此独立地相对于所述气缸部4的轴方向，并且活塞单元中被移位（7）。在缸单元4 mitje第三轴向止挡（16A）议程第一轴向止挡（15a）上它被布置在所产生的活塞单元（7），第二压力室的中间关闭构件位置（C3）一个eunseo（5B 第一密封体10a（11a）在第一轴向止动件（15a）和第三轴向止动件（16a）的方向上的轴向方向性受到限制。在缸单元4 mitje四个轴向止动件（16b）的第二议程轴向止挡（15b）的布置在eunseo所得活塞单元7，第一压力室的中间关闭构件位置（C3）（图5a 第二密封体10b和11b在第二轴向止动件15b和第四轴向止动件16b的方向上的轴向方向性被一起限制。

9. 发明公开

KR1020150011769A 밸브, 특히 진공밸브 审中-实审
标题翻译：阀门，特别真空阀门
公开(公告)号：KR1020150011769A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020140090822
申请日：2014-07-18
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 베른하르트헬무트 , 메어올리버
IPC分类号： F16K3/02 , F16K51/02 , F16K3/16
CPC分类号： F16K3/02 , F16K3/18 , F16K51/02
摘要： 본 발명은 밸브 (1) 에 관한 것이며, 상기 밸브에 있어서 폐쇄 부재 (3) 는 그의 폐쇄위치에 있어서 밸브시트 (6) 에 대한 시일 (4) 의 중간 삽입하에 관통 개구부 (2) 를 밀봉하고, 폐쇄 부재 (3) 와 지지 부재 (5) 사이의 상대운동을 이용해 상기 폐쇄위치로 데려가질 수 있으며, 이때 상기 지지 부재 (5) 는 상기 폐쇄 부재 (3) 의 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 대응 시트 (7) 에 지지되고, 상기 밸브 (1) 는 상기 폐쇄 부재 (3) 를 그의 폐쇄위치에 있어서 전기적으로 접지하기 위한 적어도 하나의 접지 요소 (8) 를 추가적으로 구비하며, 이때 상기 접지 요소 (8) 는 상기 밸브 (1) 의 지지체 부품에 고정되고, 상기 지지체 부품은 상기 폐쇄 부재 (3) 또는 상기 지지 부재 (5) 또는 상기 밸브시트 (6) 또는 상기 대응 시트 (7) 이고, 상기 접지 요소 (8) 는 접촉 요소 (9) 및 상기 접� �� 요소 (9) 와 연결된 지지 요소 (10) 를 구비하며, 상기 접촉 요소 (9) 와 상기 지지 요소 (10) 는 서로 다른 재료들 또는 재료 조성물들로 구성되고, 상기 접촉 요소 (9) 는 상기 지지 요소 (10) 보다 부드럽다.
摘要翻译：本发明涉及一种阀（1）。关闭构件（3）通过在关闭位置处插入阀片（6）的中间部分的密封件（4）密封穿透开口（2），并且闭合构件（3）可以被运送到关闭位置使用所述关闭构件（3）和支撑构件（5）之间的相对运动，其中所述支撑构件（5）在所述关闭构件（3）的关闭位置处由相应的片材（7）支撑。所述阀（1）还包括一个或多个折叠元件（8），以在所述关闭位置将所述封闭件（3）进行折叠，其中所述折叠元件（8）固定到所述阀门（1）的支撑部分上。支撑部件是关闭部件（3），支撑部件（5），阀片（6）或相应的片材（7）。折叠元件（8）包括：接触元件（9）; 连接到所述接触元件（9）的支撑元件（10），其中所述接触元件（9）和所述支撑元件（10）由不同的材料或组合物形成; 并且所述接触元件（9）比所述支撑元件（10）软。

10. 发明授权

KR101482815B1 진공밸브를 제어 또는 조절하기 위한 방법 有权
标题翻译：用于控制或调节真空阀的方法
公开(公告)号：KR101482815B1
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020107001330
申请日：2008-07-21
申请人： 배트 홀딩 아게
发明人： 뒤리베른하르트 , 가이저프리드리히
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , H01L21/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18 , Y10T137/0396
摘要： 본 발명은 진공밸브를 제어 또는 조절하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브 개구부 (2) 를 가진 밸브 몸체 (1) 와, 진공밸브를 폐쇄하기 위해 폐쇄 경로 (s) 에 걸쳐 개방 위치와 폐쇄 위치의 사이에서 조정될 수 있고 폐쇄 위치에서는 상기 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하는 (이때, 적어도 하나의 탄성시일 (4) 이 시일링 표면 (35) 에 눌려진다) 폐쇄 부재 (3) 와, 상기 폐쇄 부재 (3) 를 조정하기 위한 액추에이터 (5) 와, 상기 액추에이터 (5) 를 작동시킬 수 있는 제어장치 (9) 를 구비하며, 상기 제어장치 (9) 를 위한 중요한 파라미터로서 탄성시일 (4) 이 시일링 표면 (35) 상에 안착되는 폐쇄 경로 (s) 의 포인트 (p) 및/또는 상기 포인트에 존재하는 폐쇄 부재 (3) 의 속도 (v) 가 동원된다.

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