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1. 发明公开

KR1020000070813A 디지털 방식의 직접 기입 전자 빔 리소그래피 无效
标题翻译：数字直写电子束光刻
公开(公告)号：KR1020000070813A
公开(公告)日：2000-11-25
申请号：KR1019997007076
申请日：1998-01-29
申请人： 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 배일러래리알. , 토마스클라렌스이. , 보엘클에드가 , 무어제임스에이. , 심슨마이클엘. , 파울러스마이클제이.
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3175 , H01J2237/31786
摘要： 디지털방식의직접기입전자빔리소그래피를제공하기위한시스템및 방법들이제시된다. 장치는디지털방식으로어드레스할수 있는필드이미터어레이(430), 상기어드레스할수 있는필드이미터어레이에동작가능하게접속된정전가속그리드(450), 상기정전가속그리드에동작가능하게접속된자성렌즈어셈블리(460)를포함한다. 이시스템및 방법들은보다높은해상도패턴이주사또는마스크를필요로하지않고리소그래피레지스트에기입되며, 이미터어레이에의해생성된전자빔매트릭스는쉽게재프로그램될수 있다는이점을제공하므로, 이상적이며융통성있는제작도구를제공한다.

2. 发明授权

KR100493881B1 반도체 기재 물질 상의 삼산화티탄칼슘 계면 주형 구조물 失效
标题翻译：基于半导体材料的CaTiO3界面模板结构
公开(公告)号：KR100493881B1
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1019997000984
申请日：1997-07-31
申请人： 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 미키,로드니,앨런 , 워커,프레드릭,조셉
IPC分类号： C30B25/14
CPC分类号： H01L29/517 , C30B23/02 , C30B25/02 , C30B25/18 , C30B29/32 , H01L21/02197 , H01L21/28167 , H01L21/31691 , H01L28/56 , H01L29/78391
摘要： 본 발명은 반도체 기재 기판의 물질 표면 상에 위치하고, 물질 표면과 크기가 동일한 막을 포함하는 구조물 및 이러한 구조물을 구성시키기 위한 관련된 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은 물질 표면과 목적하는 페로브스카이트 막 사이의 페로브스카이트의 계면 주형 막의 축적을 포함한다. 주형의 페로브스카이트의 배향은 하부에 위치한 물질 표면의 배향에 대해 45°회전되어, 페로브스카이트 막과 하부에 위치한 물질 표면 사이의 크기가 동일한 주기성을 유지시키면서, 격자 구조에서, fcc(반도체 기재 물질의)로부터 페로브스카이트의 간단한 입방체 격자 구조로의 전이를 달성시킨다. 본 발명의 막 성장 기법은 페로브스카이트 막(84)이 반도체 기재 물질(72)상에 축적되고, 상기 부품을 사용하는 동안, 페로브스카이트 막이 강유전, 압전기, 초전기, 전기 광학 또는 거대 유전체 특성을 나타내기에 적합한 고체 상태의 전기 부품을 제조하는데 사용될 수 있다. 이러한 방법은 반도체 기판(72), 트랜지스터(70), 공급원 및 드레인(78, 80), 게이트 전극(83), 및 게이트 유전체(83)를 갖는 FFET를 형성하는데 이용될 수 있다. 페로브스카이트(84)는 게이트 전극의 일부이다.

3. 发明公开

KR1020010071317A 고체 산화물 연료 전지용 철 알루미나이드 합금 콘테이너 无效
标题翻译：用于固体氧化物燃料电池的铁铝合金容器
公开(公告)号：KR1020010071317A
公开(公告)日：2001-07-28
申请号：KR1020007013271
申请日：1999-05-26
申请人： 지멘스 에너지, 인크. , 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 싱프랩하커 , 쥬드킨스로다이리간 , 시카비노드큐머
IPC分类号： H01M2/02
摘要： 연료 전지용 콘테이너가 철 알루미나이드 합금으로부터 만들어진다. 콘테이너 합금은 바람직하게는 약 13-22 중량%의 Al, 약 2-8 중량%의 Cr, 약 0.1-4 중량%의 Zr 및 Hf로부터 선택되는 M, 0.005-0.5 중량%의 B 또는 약 0.001-1 중량%의 C, 그리고 나머지 F 및 부수적인 불순물을 포함한다. 철 알루미나이드 콘테이너 합금은 승온에서 이중의 환원 및 산화 분위기에 노출되는 경우, 부식 및 금속 손실에 대한 극도의 내성을 가진다. 합금은 특히 현재 사용되고 있는 스테인레스 스틸 합금을 대신하여, 고체 산화물 연료 전지용 격납 용기로서 유용하다.

4. 发明公开

KR1020000029832A 반도체 기재 물질 상의 삼산화티탄칼슘 계면 주형 구조물 失效
标题翻译：超导体上的CATIO3界面模板结构
公开(公告)号：KR1020000029832A
公开(公告)日：2000-05-25
申请号：KR1019997000984
申请日：1997-07-31
申请人： 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 미키,로드니,앨런 , 워커,프레드릭,조셉
IPC分类号： C30B25/14
CPC分类号： H01L29/517 , C30B23/02 , C30B25/02 , C30B25/18 , C30B29/32 , H01L21/02197 , H01L21/28167 , H01L21/31691 , H01L28/56 , H01L29/78391
摘要： PURPOSE: A structure including a film of a desired perovskite which overlies and is fully commensurate with the material surface of a semiconductor-based substrate and an associated process for constructing the structure are provided. CONSTITUTION: A process for constructing the structure involves the build up of an interfacial template film of perovskite between the material surface and the desired perovskite film. The orientation of the perovskite of the template is rotated 45°with the respect to the orientation of the underlying material surface and thereby effects a transition in the lattice structure from the fcc (of the semiconductor-based material) to the simple cubic lattice structure of perovskite while the fully commensurate periodicity between the perovskite template film and the underlying material surface is maintained. The film-growth techniques of the invention can be used to fabricate solid state electrical components wherein a perovskite film (84) is built up upon a semiconductor based material (72) and the perovskite film is adapted to exhibit ferroelectric, piezoelectric, pyroelectric, electro-optic or large dielectric properties during use of the component. This process can be used to form FFETs with semiconducting substrate (72), a transistor (70), a source(78) and drain, gate electrode (82) and a gate dielectric (83). The perovskite (84) is part of the gate electrode.
摘要翻译：目的：提供一种结构，其包括覆盖并与半导体基底的材料表面完全相当的所需钙钛矿的膜和用于构造该结构的相关工艺。构成：构造结构的方法涉及在材料表面和所需的钙钛矿膜之间建立钙钛矿界面模板薄膜。模板的钙钛矿的取向相对于下面的材料表面的取向旋转45°，从而实现晶格结构从（基于半导体的材料）的fcc到简单立方晶格结构的转变钙钛矿，同时维持钙钛矿模板薄膜和下层材料表面之间完全相当的周期性。本发明的薄膜生长技术可用于制造其中钙钛矿薄膜（84）构建在半导体基材料（72）上的固态电组件，并且钙钛矿薄膜适于显示出铁电，压电，热电，电 - 组件使用期间的光学或大介电特性。该工艺可用于形成具有半导体衬底（72），晶体管（70），源极（78）和漏极，栅电极（82）和栅极电介质（83）的FFET。钙钛矿（84）是栅电极的一部分。

5. 发明授权

KR100558020B1 디지털 방식의 홀로그래피, 홀로그래피 간섭법, 및 홀로비젼 失效
标题翻译：直接数字全息图，全息显示和全息
公开(公告)号：KR100558020B1
公开(公告)日：2006-03-07
申请号：KR1019997011732
申请日：1998-06-09
申请人： 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 토마스클라렌스이. , 베일러래리알. , 한슨그레고리알. , 라스무쎈데이비드에이. , 보엘클에드가 , 카스트라케인제임스 , 심쿨레트미첼 , 클로우로렌스
IPC分类号： G03H1/02
CPC分类号： G03H1/0443 , G03H1/0406 , G03H1/0866 , G03H1/0891 , G03H1/2249 , G03H1/2294 , G03H2001/0033 , G03H2001/005 , G03H2001/0088 , G03H2001/0456 , G03H2001/2263 , G03H2210/30 , G03H2222/18 , G03H2226/11
摘要： 디지털 방식의 홀로그래피에 대한 시스템과 방법들이 기술된다. 장치는 레이저와; 레이저에 광학적으로 연결된 빔 스플리터와; 빔 스플리터에 광학적으로 연결된 레퍼런스 빔 반사경과, 빔 스플리터에 광학적으로 연결된 오브젝트와, 레퍼런스 빔 반사경 및 오브젝트에 광학적으로 연결된 포커싱 렌즈와; 그리고 포커싱 렌즈에 광학적으로 연결된 디지털 기록기를 포함하는 것이 특징이다. 레퍼런스 빔은 레퍼런스 빔 반사경에 비법선 각으로 입사하고, 그리고 레퍼런스 빔과 오브젝트 빔은 영상을 형성하기 위해서 포커싱 렌즈에 의해 디지털 기록기의 초점 평면에 포커싱 된다. 이 시스템과 방법들은 컴퓨터 보조 홀로그래피 측정이 이루어질 수 있다는 이점을 제공한다.

6. 发明公开

KR1020010013717A 디지털 방식의 홀로그래피, 홀로그래피 간섭법, 및 홀로비젼 失效
标题翻译：数字全息，全息干涉和全息
公开(公告)号：KR1020010013717A
公开(公告)日：2001-02-26
申请号：KR1019997011732
申请日：1998-06-09
申请人： 록히드 마틴 에너지 리서치 코포레이션
发明人： 토마스클라렌스이. , 베일러래리알. , 한슨그레고리알. , 라스무쎈데이비드에이. , 보엘클에드가 , 카스트라케인제임스 , 심쿨레트미첼 , 클로우로렌스
IPC分类号： G03H1/02
CPC分类号： G03H1/0443 , G03H1/0406 , G03H1/0866 , G03H1/0891 , G03H1/2249 , G03H1/2294 , G03H2001/0033 , G03H2001/005 , G03H2001/0088 , G03H2001/0456 , G03H2001/2263 , G03H2210/30 , G03H2222/18 , G03H2226/11
摘要： 디지털방식의홀로그래피에대한시스템과방법들이기술된다. 레이저(210); 레이저에광학적으로연결된빔스프리터(240); 빔스프리터에광학적으로연결된기준빔 반사경(290), 빔스프리터에광학적으로연결된오브젝트(260), 기준빔 반사경과오브젝트에광학적으로연결된포커싱렌즈(270); 및포커싱렌즈에광학적으로연결된디지털기록기를포함하는장치. 기준빔은기준빔 반사경에법선이아닌각도로입사하고, 그리고기준빔과오브젝트빔은이미지를형성하기위해서포커싱렌즈에의해디지털기록기의초점평면에포커싱된다. 이시스템과방법들은컴퓨터보조홀로그래피측정이이루어질수 있다는이점을제공한다.
摘要翻译：描述了用于数字全息的系统和方法。激光器210; 光学耦合到激光器的分束器240; 光耦合到分束器的参考光束反射器290，光耦合到分束器的物体260，光耦合到参考光束反射器和物体的聚焦透镜270; 数字记录仪光学耦合到聚焦镜头。所述参考光束入射到所述参考光束反射器比正常以外的角度，和参考光束和物体光束由聚焦透镜在一个数字记录器的焦平面聚焦以形成图像。这些系统和方法提供了可以进行计算机辅助全息测量的优点。

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