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热词
    • 4. 发明公开
    • 표면처리 지지부재, 표면처리 호울더, 표면처리 방법 및표면처리 장치
    • 表面处理支撑部件,表面处理支架,表面处理方法和表面处理装置
    • KR1020060030098A
    • 2006-04-07
    • KR1020060027620
    • 2006-03-27
    • 가부시키가이샤 네오맥스
    • 도치시타요시미후지와라요시오아사가이요시히로오타가키겐
    • C23C14/18C23C14/24
    • C23C14/505
    • 다수개의 작업물의 표면처리방법에 있어서, 작업물이 그의 축주위, 또는 회전축의 주위, 또는 그의 축 및 회전축의 주위를 회전하면서 처리실내에서 처리된다. 작업물은 다수개의 구획을 포함하는 상부 케이지 및 하부케이지로 구성되고, 이들 케이지는 길이방향으로 개폐가능한 지지부재내에 지지된다. 지지부재는 길이방향으로 개폐가능하게 접혀질수 있는 판형상 요소로 구성되어, 작업물의 내경에 대응하는 길이를 각각 가지는 다수개의 좁을 구역이 판형상 요소의 개방 상태에 규정된다. 스프링형상의 원통형 구조로 형성되도록 간격을 두고 와이어를 감음으로써 형성되는 호울더내에 작업물이 지지될 수 있으며, 따라서 작업물은 그 원통형 구조내에 수납된다. 표면처리방법에서 사용되는 표면처리장치는 처리실내에 마련된 처리재료원을 포함하여, 처리재료원으로부터 방출된 처리재료가 표면처리를 위하여 작업물에 도달하도록 보내지며, 작업물을 지지하기 위한 지지부재를 그의 축주위, 또는 회전축의 주위, 또는 그의 축주위 및 회전축의 주위로 회전하기 위한 수단을 포함한다. 따라서, 작업물은 그의 축주위나, 회전축의 주위 또는 그의 축 및 회전축의 주위를 회전하면서 동시에 또한 균일하게 표면처리될 수 있다.
    • 在对多个工件进行表面处理的方法中,工件在处理室中围绕其轴线或围绕旋转轴线或围绕其轴线和旋转轴线进行处理。 该工件由一个上部笼和一个下部笼组成,该笼包括多个隔间,并且这些笼被支撑在可沿纵向打开和关闭的支撑构件中。 所述支撑构件包括在改变折叠打开和关闭在纵向方向上的板状元件的,被分别定义对应于工件的内径到所述多个窄的区域的与板状件的打开状态的长度,。 工件可以被支撑在通过以间隔缠绕金属丝而形成的支架中以形成弹簧状圆柱结构,从而工件被容纳在圆柱结构中。 在表面处理方法中使用的表面处理装置包括设置在处理室中的处理材料源,使得从处理材料源排出的处理材料被传送到用于表面处理的工件, 或者围绕其轴线围绕其轴线并围绕旋转轴线围绕旋转轴线。 因此,工件可以在其轴线上围绕旋转轴线或围绕其轴线和旋转轴线旋转的同时且均匀地进行表面处理。
    • 7. 发明授权
    • 열전 변환 재료 및 그 제조 방법
    • 열전변환재료및그제조방법
    • KR100419488B1
    • 2004-02-19
    • KR1020007012611
    • 2000-03-10
    • 가부시키가이샤 네오맥스
    • 사다토미노부히로야마시타오사무사이고츠네카즈노우미마사오
    • H01L35/14
    • H01L35/22H01L35/34
    • It is an object of the present invention to provide a silicon-based thermoelectric conversion material and thermoelectric conversion element with which the thermal conductivity of a silicon-based thermoelectric conversion material can be lowered without decreasing the Seebeck coefficient and electrical conductivity of the material, which affords a marked increase in the Figure of merit. A polycrystal structure comprises crystal grains composed of a silicon-rich phase, and a added element-rich phase in which at least one type of added element is deposited at the grain boundary thereof, the result of which is an extremely large Seebeck coefficient and low thermal conductivity, allowing the thermoelectric conversion rate to be raised dramatically, and affording a silicon-based thermoelectric conversion material composed chiefly of silicon, which is an abundant resource, and which causes extremely little environmental pollution. For example, adding carbon, germanium, or tin to a silicon-based thermoelectric conversion material allows the thermal conductivity to be greatly reduced without changing the carrier concentration in the silicon-based material. A doping amount of 5 to 10 at% is ideal for lowering the thermal conductivity, and if a dopant that is added in order to produce a p- or n-type semiconductor and a group-IV element are deposited at the grain boundary of polycrystalline silicon, the resulting p- or n-type semiconductor will have a carrier concentration of 10 to 10 (M/m ) and a thermal conductivity of 50 W/m.K or less.
    • 本发明的目的在于提供一种硅基热电转换材料和热电转换元件,通过该硅基热电转换材料和热电转换元件可以降低硅基热电转换材料的热导率而不降低材料的塞贝克系数和电导率, 显着提高了品质因数。 多晶结构包括由富硅相构成的晶粒和添加的元素富集相,其中至少一种添加元素沉积在其晶界处,其结果是非常大的塞贝克系数和低的塞贝克系数 导热性,使得热电转换率显着提高,并且提供主要由硅构成的硅基热电转换材料,这是一种丰富的资源,并且对环境污染极少。 例如,在硅基热电转换材料中加入碳,锗或锡,可以大大降低热导率,而不会改变硅基材料中的载流子浓度。 5〜10原子%的掺杂量对于降低热导率是理想的,并且如果为了制造p型或n型半导体和IV族元素而添加的掺杂剂被沉积在多晶的晶界处 硅,所得的p型或n型半导体将具有10 17的载流子浓度。 至10 21。 (M / m 3)以及50W / m.K或更小的热导率。 <图像>