会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 85. 发明公开
    • 금속 패턴 형성 방법
    • 形成金属图案的方法
    • KR1020150111531A
    • 2015-10-06
    • KR1020140034804
    • 2014-03-25
    • 한국산업기술대학교산학협력단
    • 이성의유시홍윤영우
    • G03F7/36H01B5/14
    • G03F7/00G03F7/36H01B5/14
    • 본발명은금속패턴형성방법에관한것으로서, 구체적으로는반도체의포토리소그래피(photo lithography) 공정에있어금속막의식각을위한에칭(etching) 공정을생략한간소화된금속패턴형성방법에관한것이다. 본발명의실시예에따르면, 반도체의포토리소그래피(photo lithography) 공정에있어에칭(etching) 공정을생략함으로써, 에칭공정에수반되는환경유해물질의배출을억제하여친환경적금속패턴형성공정을구현할수 있고나아가공정절차의단순화를통해대량생산에유리할수 있다.
    • 本发明涉及一种用于形成金属图案的方法,具体地说,涉及通过省略用于蚀刻半导体的光刻工艺的金属膜的蚀刻工艺而简化的金属图案的形成方法。 根据本发明的一个实施方案,该方法能够通过抑制在腐蚀过程中伴随着对环境有害的物质的排出,并且通过简单的生产大量地进行形成金属图案的环保工艺 通过省略关于半导体的光刻工艺的蚀刻工艺。