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    • 86. 发明授权
    • 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치
    • 纳米图案印刷头
    • KR100543176B1
    • 2006-01-20
    • KR1020030078338
    • 2003-11-06
    • 한국기계연구원
    • 김동수이원희이택민최두선최병오
    • B41J2/07B82Y40/00
    • C23C16/00B01L3/0268B01L2400/027B01L2400/0439B33Y30/00B41J2/14B82Y30/00
    • 본 발명은, 액체상의 프린팅물질을 수용하는 매니폴더와, 상기 매니폴더와 연통되는 분사챔버를 갖는 카트리지와; 상기 카트리지의 분사챔버측 외측에 설치되는 패터닝용 샘플홀더를 갖는 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치에 있어서, 상기 분사챔버 외측에 XY 평면방향으로 미세 유동 가능하게 설치되며, 100nm이하의 단일의 분사홀을 갖는 쉐도우마스크와; 상기 쉐도우마스크를 미세 유동 시키는 엑츄에이터와; 고전압발생기와, 상기 고전압발생기로부터 전원을 인가받으며 상기 분사챔버 내에 설치되어 양전하를 형성하는 전원공급전극과, 상기 쉐도우마스크를 사이에 두고 상기 샘플홀더에 음전하를 형성하는 대향전극을 가지고 상기 분사챔버로부터 상기 샘플홀더를 향해 유도방전을 형성하는 분사유도유닛과; 미리 입력된 패터닝 데이터에 대응하는 패터닝 위치로 상기 쉐도우마스크의 분사홀이 이동하도록 상기 엑츄에이터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
      이에 의하여, 패터닝의 정밀도가 향상되고, 초미세 패터닝과 임의 형상의 패터닝이 가능하며, 프린팅물질의 분사구조가 간단한 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치가 제공된다.
      프린팅헤드, 패터닝, 쉐도우마스크, 엑츄에이터, 나노
    • 本发明提供了一种用于纳米图案化的打印头,包括用于容纳液体印刷材料的歧管,具有与歧管连通的注射室的药筒,以及安装在药筒的注射室外部的图案样品保持器。 打印头包括荫罩,该荫罩安装在注射室的外部,以沿X-Y方向微细移动,并具有相对非常小的单个注射孔; 用于使荫罩微调的致动器; 注射诱导单元,包括高压发生器,安装在注射室内并接收来自高压发生器的电力以产生正电荷的电源电极,以及在状态下在样品架上产生负电荷的相对电极 其中荫罩插入在电源电极和相对电极之间,从而从注射室向样品保持器产生感应放电; 以及控制单元,用于控制致动器的驱动,使得荫罩的喷射孔可以移动到与预先输入的图案化数据相对应的图形位置。 根据本发明,可以提高图形精度,可以实现任意形状的超精细图案化和图案化,并且可以简化用于注入打印材料的构造。
    • 87. 发明公开
    • 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치
    • 用于纳米图案的印花头
    • KR1020050043433A
    • 2005-05-11
    • KR1020030078338
    • 2003-11-06
    • 한국기계연구원
    • 김동수이원희이택민최두선최병오
    • B41J2/07B82Y40/00
    • C23C16/00B01L3/0268B01L2400/027B01L2400/0439B33Y30/00B41J2/14B82Y30/00
    • 본 발명은, 액체상의 프린팅물질을 수용하는 매니폴더와, 상기 매니폴더와 연통되는 분사챔버를 갖는 카트리지와; 상기 카트리지의 분사챔버측 외측에 설치되는 패터닝용 샘플홀더를 갖는 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치에 있어서, 상기 분사챔버 외측에 XY방향으로 미세 유동 가능하게 설치되며, 비교적 미세한 단일의 분사홀을 갖는 쉐도우마스크와; 상기 쉐도우마스크를 미세 유동 시키는 엑츄에이터와; 고전압발생기와, 상기 고전압발생기로부터 전원을 인가받으며 상기 분사챔버 내에 설치되어 양전하를 형성하는 전원공급전극과, 상기 쉐도우마스크를 사이에 두고 상기 샘플홀더에 음전하를 형성하는 대향전극을 가지고 상기 분사챔버로부터 상기 샘플홀더를 향해 유도방전을 형성하는 분사유도유닛과; 미리 입력된 패터닝 데이터에 대응하는 패터닝 위치로 상기 쉐도우마스크의 분사홀이 이동하도록 상기 엑츄에이터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
      이에 의하여, 패터닝의 정밀도가 향상되고, 초미세 패터닝과 임의 형상의 패터닝이 가능하며, 프린팅물질의 분사구조가 간단한 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치가 제공된다.
    • 本发明提供了一种用于纳米图案化的打印头,包括用于容纳液体印刷材料的歧管,具有与歧管连通的注射室的药筒,以及安装在药筒的注射室外部的图案样品保持器。 打印头包括荫罩,该荫罩安装在注射室的外部,以沿X-Y方向微细移动,并具有相对非常小的单个注射孔; 用于使荫罩微调的致动器; 注射诱导单元,包括高压发生器,安装在注射室内并接收来自高压发生器的电力以产生正电荷的电源电极,以及在状态下在样品架上产生负电荷的相对电极 其中荫罩插入在电源电极和相对电极之间,从而从注射室向样品保持器产生感应放电; 以及控制单元,用于控制致动器的驱动,使得荫罩的喷射孔可以移动到与预先输入的图案化数据相对应的图形位置。 根据本发明,可以提高图形精度,可以实现任意形状的超精细图案化和图案化,并且可以简化用于注入印刷材料的构造。