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81. 发明授权

KR101771372B1 유도 자기 어셈블리 패턴 결함률을 감소시키기 위한 에칭 프로세스 有权
标题翻译：蚀刻工艺减少感应磁性组件图案缺陷率
公开(公告)号：KR101771372B1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020167000927
申请日：2014-05-21
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 차크라파니비드햐 , 고아키테루 , 쿠마르카우쉬크
IPC分类号： H01L21/311 , H01L21/033 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/31138 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , G03F7/0002 , H01L21/0337 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要： 패터닝된유도자기어셈블리(directed self-assembly; DSA) 층을준비하기위한방법이제공되며, 이방법은표면상에블록코폴리머층(block copolymer layer)을갖고있는기판을제공하는단계로서, 상기블록코폴리머층은블록코폴리머층에서제 1 패턴을정의하는제 1 위상-분리폴리머(phase-separated polymer) 및블록코폴리머층에서제 2 패턴을정의하는제 2 위상-분리폴리머를포함하는, 상기기판을제공하는단계; 및기판의표면상에제 1 위상-분리폴리머의제 1 패턴을남겨두면서, 제 2 위상-분리폴리머를선택적으로제거하기위한에칭프로세스를수행하는단계를포함하고, 에칭프로세스는약 20℃이하의기판온도에서수행된다. 이방법은중앙영역에서제 1 온도를제어하기위한제 1 온도제어엘리먼트및 기판의에지영역의제 2 온도제어엘리먼트를갖는기판홀더를제공하는단계; 및제 1 및제 2 온도에대한타겟값을선택하는단계를더 포함한다.
摘要翻译：提供了用于制备图案化定向自组装（DSA）层的方法，所述方法包括：提供在表面上具有嵌段共聚物层的基材，其中共聚物层包含在嵌段共聚物层中限定第一图案的第一相分离聚合物和在嵌段共聚物层中限定第二图案的第二相分离聚合物。提供衬底; 并且执行蚀刻工艺以选择性地移除第二相分离聚合物，同时在基板的表面上留下第一相分离聚合物的第一图案，其中蚀刻工艺在温度基材温度。该方法包括提供衬底保持器，该衬底保持器具有用于控制中央区域中的第一温度的第一温度控制元件和衬底的边缘区域中的第二温度控制元件; 并选择第一和第二温度的目标值。

82. 发明公开

KR1020170055261A 반도체 장치의 패턴 형성 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：形成半导体器件图案的方法和制造半导体器件的方法
公开(公告)号：KR1020170055261A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020150158213
申请日：2015-11-11
申请人： 삼성전자주식회사 , 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
发明人： 박정주 , 권승철 , 김은성 , 이경미 , 이시용 , 구로사와츠요시 , 오모리카츠미 , 마츠미야타수쿠
IPC分类号： H01L21/027 , C08F212/08 , H01L21/02 , H01L51/00 , H01L21/308 , H01L21/033 , H01L21/311
CPC分类号： G03F7/165 , B81C2201/0149 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F20/28 , C08L53/00 , G03F7/0002 , G03F7/0035 , G03F7/2022 , G03F7/2059 , G03F7/40 , H01L21/0337 , H01L21/31144 , H01L21/32139 , H01L27/10844 , H01L28/00
摘要： 패턴형성방법에있어서, 기판상에대상막을형성한다. 대상막상에가이드패턴들을형성한다. 소수성반복단위및 적어도 2개의히드록실기가결합된친수성말단기를포함하는제1 브러시폴리머, 및소수성반복단위및 히드록실기가결합된친수성랜덤반복단위를포함하는제2 브러시폴리머중 적어도하나를포함하는브러시폴리머를사용하여상기가이드패턴들의표면들을커버하는브러시막을형성한다. 브러시막 상에블록공중합체를사용하여자기정렬막을형성하여가이드패턴들주변에정렬되는블록들을형성한다. 블록들중 적어도일부를대상막에전사한다.
摘要翻译：在图案形成方法中，在基板上形成目标膜。在目标胶片上形成引导图案。包括包含疏水性重复单元和至少两个第一刷状聚合物和疏水性重复单元和羟基的亲水性的无规重复单元的基团键合到羟基的第二刷状聚合物中的至少一个包括接合亲水端基团形成覆盖引导图案表面的刷子膜。使用刷膜上的嵌段共聚物形成自对准膜以形成围绕引导图案对齐的块。至少有一些块被转移到目标胶片上。

83. 发明公开

KR1020160098378A 블록 공중합체 필름을 기판 상에 제조하는 방법 审中-实审
标题翻译：在基材上生产嵌段共聚物薄膜的方法
公开(公告)号：KR1020160098378A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020167018793
申请日：2014-12-10
申请人： 아르끄마 프랑스 , 유니베르시떼 드 보르도 , 엥스티튀 폴리테크니크 드 보르도 , 상뜨르 나쇼날 드 라 러쉐르쉬 샹띠피끄
发明人： 플뢰리기욤 , 나바로크리스토쁘 , 아드지오앙누조르쥬 , 니꼴레셀리아 , 슈발리에사비에 , 레불슈리스틸라 , 카스틸로베로니카 , 페카스땡질
IPC分类号： C08J9/26 , G03F7/00 , B81C1/00 , C08F293/00 , C09D153/00
CPC分类号： C09D187/005 , B01J31/06 , B05D3/06 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/02 , C08J9/26 , C09D153/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271
摘要： 본발명은자가-조립된블록공중합체필름을기판상에제조하는방법에관한것이고, 상기방법은블록공중합체및 상이한화학적특성을가지며비혼화성인랜덤공중합체의블렌드를함유하는용액을사용하여, 블록공중합체및 랜덤공중합체의동시도포를수행한다음, 블록공중합체의자가-조립고유의상 분리를촉진하는열 어닐링처리를수행하는것으로이루어진다.
摘要翻译：本发明涉及在基材上制备自组装嵌段共聚物的膜的方法，所述方法包括通过含有嵌段共聚物和随机的共混物的溶液同时沉积嵌段共聚物和无规共聚物共聚物，其不同的化学性质并且不混溶，然后进行退火处理，允许促进嵌段共聚物的自组装固有的相分离。

84. 发明公开

KR1020160063318A BEOL 패턴 커팅 및 플러깅을 위한 노출 활성화된 화학적으로 증폭된 DSA 审中-实审
标题翻译：用于线后退（BEOL）图案切割和插入的接触激活化学引导的自组装（DSA）
公开(公告)号：KR1020160063318A
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020167004678
申请日：2014-09-17
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 니후스,폴에이. , 한,응낙 , 시바쿠마,스와미나탄 , 푸트나,에르니쎄에스.
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/033 , H01L21/3105 , H01L21/32 , G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0392 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , G03F7/0002 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/2004 , G03F7/2037 , G03F7/26 , H01L21/0337 , H01L21/31058 , H01L21/32 , H01L21/3205 , H01L21/32139 , H01L21/76816
摘要： BEOL(back end of line) 인터커넥트들에대한자체정렬형비아및 플러그패터닝이설명된다. 일예에서, DSA(directed self-assembly)를위한구조체는, 기판, 및기판위에배치되는블록공중합체구조체를포함한다. 이러한블록공중합체구조체는 PS(polystyrene) 성분및 PMMA(polymethyl methacrylate) 성분을갖는다. PS 성분또는상기 PMMA 성분중 하나는감광성(photosensitive)이다.
摘要翻译：描述了用于后端（BEOL）互连的自对准通孔和插头图案。在一个示例中，用于定向自组装的结构包括设置在衬底上方的衬底和嵌段共聚物结构。嵌段共聚物结构具有聚苯乙烯（PS）组分和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）组分。 PS组件或PMMA组件之一是光敏的。

85. 发明公开

KR1020160038870A 패턴화 기판의 제조 방법 有权
标题翻译：编程基板的制备方法
公开(公告)号：KR1020160038870A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150138200
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 구세진 , 이미숙 , 유형주 , 김정근 , 윤성수 , 박노진 , 이제권 , 최은영
IPC分类号： H01L21/027 , H01L51/00 , H01L21/28 , H01L21/02
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 패턴화기판의제조방법에대한것이다. 상기방법은, 예를들면, 전자디바이스및 집적회로와같은장치의제조공정또는다른용도, 예컨대집적광학시스템, 자기도메인메모리의가이던스및 검출패턴, 평판디스플레이, 액정디스플레이(LCD), 박막자기헤드또는유기광 방출다이오드등의제조에적용될수 있고, 집적회로, 비트-패턴화된매체및/또는하드드라이브와같은자기저장디바이스등의개별트랙매체(discrete track medium)의제조에사용하기위해표면위에패턴을구축하는데사용될수 있다.
摘要翻译：本公开涉及图案化衬底的制造方法。根据本发明，例如，该方法适用于诸如电子设备和集成电路的设备的制造过程或其它目的，包括集成光学系统，磁畴存储器的引导和检测图案，平板显示器，液晶显示器（LCD），薄膜磁头，无机发光二极管等。此外，该方法能够用于在表面上形成图案以制造离散轨道介质，例如集成电路，位图形介质，诸如硬盘驱动器的磁存储器件等等。该方法包括形成包括嵌段共聚物的聚合物层的步骤。

86. 发明公开

KR1020160038711A 블록 공중합체 无效
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020160038711A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079491
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 이정규 , 오성준 , 강연주 , 김정근 , 윤성수 , 송인영
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。嵌段共聚物包含第一嵌段和不同于第一嵌段的第二嵌段。第一块表示差示扫描量热法（DSC）中-80至200℃范围内的熔融转移峰或各向同性转移峰。

87. 发明公开

KR1020160038710A 블록 공중합체 无效
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020160038710A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079490
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 김정근 , 이제권 , 이정규 , 구세진 , 박노진 , 이미숙 , 최은영 , 윤성수 , 유형주
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。嵌段共聚物包含第一嵌段和具有不同于第一嵌段的化学结构的第二嵌段。在-90至-70度的方位角，在GIWAXS光谱的12nm ^ -1至16nm ^ -1的范围内的散射矢量的衍射图案和半宽度在5至在第一块中观察到70度。

88. 发明公开

KR1020160038708A 블록 공중합체 无效
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020160038708A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079488
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 이정규 , 이제권 , 오성준 , 강연주 , 윤성수 , 김정근 , 송인영
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。嵌段共聚物包含第一嵌段和不同于第一嵌段的第二嵌段。在-90至-70度的方位角，在GIWAXS光谱的12nm ^ -1至16nm ^ -1的范围内的散射矢量的衍射图案和半宽度在5至在第一块中观察到70度。

89. 发明公开

KR1020160038706A 블록 공중합체 有权
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020160038706A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079486
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 최은영 , 박노진 , 김정근 , 이제권 , 구세진 , 이미숙 , 유형주 , 윤성수
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。嵌段共聚物包括具有支链的第一嵌段和不同于第一嵌段的第二嵌段。嵌段共聚物的X为2.5〜10，式1为X = 1 +（D×M）/（K×L）。

90. 发明公开

KR1020160038704A 블록 공중합체 审中-实审
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020160038704A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079480
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 박노진 , 김정근 , 이제권 , 윤성수 , 구세진 , 이미숙 , 최은영 , 유형주
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은단량체, 블록공중합체의제조방법, 블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원의단량체는, 우수한자기조립특성을가지며, 필요에따라서요구되는다양한기능도자유롭게부여된블록공중합체를형성할수 있다.
摘要翻译：本发明提供单体，嵌段共聚物的制造方法，嵌段共聚物及其用途。本发明的单体具有优异的自组装性，并且可以根据需要自由形成所需的各种功能的嵌段共聚物。嵌段共聚物包括具有由化学式1表示的单元的第一嵌段。

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