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81. 发明授权

KR101036596B1 고체촬상소자 및 그 구동방법 有权
公开(公告)号：KR101036596B1
公开(公告)日：2011-05-24
申请号：KR1020107003061
申请日：2008-09-04
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 스가와시게토시 , 곤도야스시 , 도미나가히데키
IPC分类号： H04N5/343
CPC分类号： H04N5/35572 , H04N5/3559 , H04N5/3575 , H04N5/3742 , H04N5/37452 , H04N5/378
摘要： 화소영역(2a) 내에 2차원상으로 배열된 화소(10)마다 독립된 화소출력선(14)을 마련하고, 각 화소출력선(14)에 복수의 기억부를 접속한다. 연속 읽기 모드에서는, 전체 화소에서 동시에 광전하 축적을 실행하고, 각 화소(10)로부터 화소출력선(14)을 통해서 기억부에 일제히 신호를 유지한 후에, 각 기억부에 유지한 신호를 축차 읽어내어 출력한다. 한편, 버스트 읽기 모드에서는, 전체 화소(10)에서 동시에 광전하 축적을 실행하고, 각 화소(10)로부터 화소출력선(14)을 통해서 기억부에 일제히 신호를 유지시킨다, 라는 동작을 복수의 기억부에 대하여 순서대로 실행함으로써 복수 프레임의 신호를 유지한다. 촬영정지의 지시를 받아서 새로운 신호의 유지를 정지하고, 그 시점에서 기억부에 유지되어 있는 복수 프레임분의 화상신호를 축차 읽어내어 출력한다. 이로써, 프레임수는 한정되기는 하지만 매우 고속인 촬영과 이보다 속도는 내려가긴 하지만 프레임수의 제약이 없는 촬영을 행할 수 있다.

82. 发明授权

KR101027762B1 액중 시료 분석 방법 有权
标题翻译：分析液体样品的方法
公开(公告)号：KR101027762B1
公开(公告)日：2011-04-11
申请号：KR1020080076106
申请日：2008-08-04
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 오타,마사히로 , 오야부,노리아키 , 아다치,히로아키 , 아베,마사유키 , 모리타,세이조 , 모리,유스케 , 사사키,타카토모
IPC分类号： G01Q60/24 , G01N1/28 , G01N13/00
CPC分类号： G01Q30/14 , G01N1/36 , G02B21/33 , G02B21/34
摘要： 용이하면서도 확실하게 분석용 액체의 증발을 방지할 수 있는 액중 시료 분석 방법이 제공된다. 캔틸레버(14)의 선단에 설치된 탐침(15)을 액중에 침지된 시료(13)의 표면에 근접시켜 해당 시료 표면을 주사하고, 시료(13)와 탐침(15) 사이의 상호 작용을 검출하여 화상화하는 주사형 프로브 현미경을 이용하여 액중 시료를 관찰함에 있어서, 시료(13) 및 탐침(15)이 침지된 분석용 액체(16)의 주위에 분석용 액체(16)와 혼화되지 않는 밀폐용 액체(17)를 채움으로써 분석용 액체(16)를 외부의 공기와 차단된 밀폐 상태로 만든다.

83. 发明公开

KR1020100039885A 고체촬상소자 및 그 제조방법 有权
标题翻译：固态成像装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100039885A
公开(公告)日：2010-04-16
申请号：KR1020107003064
申请日：2008-09-04
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 스가와시게토시 , 곤도야스시 , 도미나가히데키
IPC分类号： H04N5/374 , H01L27/146
CPC分类号： H04N5/335 , H01L27/14603 , H01L27/14609 , H01L27/14612 , H01L27/14645 , H01L27/14689 , H04N5/374 , H04N5/37452 , H04N5/378
摘要： Almost in the center of the light-receiving surface of an embedded photodiode (31), a floating diffusion (331) is formed and the gate electrode of a transfer transistor (32) is so disposed as to surround it. The impurity concentration (or depth) in the p-type semiconductor region, n-type semiconductor region or p-type well region of the photodiode (31) is so inclined from the periphery toward the center as to form a potential gradient inclined downward from the periphery toward the center when applying a proper bias voltage to a pn junction. Photoelectric charges generated by receiving light are integrated in the center speedily according to the potential gradient. Since a maximum moving distance from the periphery of the photodiode (31) to the floating diffusion (331) is also short, the photoelectric charge can efficiently be collected even when a period for accumulating the photoelectric charges is short. Thus, detection sensitivity is improved by efficiently utilizing the photoelectric charges generated by the photodiode (31).
摘要翻译：几乎在嵌入式光电二极管（31）的受光面的中心，形成浮动扩散（331），并且传输晶体管（32）的栅电极被设置成围绕它。光电二极管（31）的p型半导体区域，n型半导体区域或p型阱区域中的杂质浓度（或深度）从周边向中心倾斜，形成向下倾斜的电位梯度当向pn结施加适当的偏置电压时，外围朝向中心。通过接收光产生的光电荷根据电位梯度快速集成在中心。由于从光电二极管31的周边到浮动扩散部331的最大移动距离也短，所以即使在积累光电荷的期间短的情况下也能够有效地收集光电荷。因此，通过有效地利用由光电二极管（31）产生的光电电荷来提高检测灵敏度。

84. 发明授权

KR100924725B1 표면파 여기 플라즈마 발생 장치 및 표면파 여기 플라즈마처리 장치 失效
标题翻译：表面波激发等离子体发生器和表面波激发等离子体处理系统
公开(公告)号：KR100924725B1
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：KR1020077013476
申请日：2006-04-20
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 스즈키,마사야스
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32229 , C23C16/511 , H01J37/32192 , H05H1/46
摘要： 본 발명의 목적은 효율적으로 표면파 여기 플라즈마를 발생시키는 것이다. 표면파 여기 플라즈마 발생 장치(10)는 고리 형상 도파관(2)과 유전체 튜브(3)를 갖는다. 고리 형상 도파관(2)은 마이크로파(M)를 도입하는 도입구(2a), 도입되어 관내를 전파하는 마이크로파(M)가 반사되는 종단판(2b) 및 슬롯 안테나(2d)가 소정 간격으로 형성되어 있는 바닥판(2c)을 갖는다. 마이크로파(M)의 관내 파장을 λg로 하면, 바닥판(2c) 상의 위치(b)로부터 각 위치들(c, d, e)을 거쳐 위치(f)까지의 길이, 즉, 고리 형상 도파관(2)의 주위 길이(π × D1)를 2λg로 설정하고, 각 위치들(b, c, d, e, f)을 λg/2의 간격으로 설정한다. 슬롯 안테나(2d)는 위치(c)와 위치(e)의 2개 위치에 배치되기 때문에, 2개의 슬롯 안테나(2d)의 간격은 관내 파장(λg)에 동일해진다.

85. 发明授权

KR100909700B1 탐침위치 제어장치 및 방법 有权
标题翻译： 탐침위치제어장치및방법
公开(公告)号：KR100909700B1
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：KR1020070050792
申请日：2007-05-25
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼 , 고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸
发明人： 아베마사유키 , 오타마사히로 , 스기모토요시아키 , 모리타겐이치 , 오야부노리아키 , 모리타세조 , 오스카쿠스탄스
IPC分类号： G01B21/30 , G01N13/10 , H01J37/00 , G12B21/00
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q70/04
摘要： 본 발명은, 열 드리프트 등의 영향을 배제하고, 관찰 또는 조작 동안에 시료와 프로브의 상대위치가 열 등에 의하여 변화하는 것을 보정하는 기술을 이용함으로써, 주사형 프로브 현미경(SPM)이나 원자 매니퓰레이터(조작) 장치에 있어서, 보다 정확한 관찰 또는 조작을 가능하게 하는 기술을 제공한다.
시료표면의 원자레벨의 이미지를 얻기 위하여, 또는, 시료표면의 원자에 대하여 소정의 조작을 행하기 위하여, 본 발명은, 시료표면의 원자와 탐침의 선단 사이의 상호작용을 측정하면서, 탐침과 시료의 상대위치를 제어하는 탐침위치 제어방법에 적용될 수 있다. 본 방법에 있어서, 시료표면에 평행한 두 방향으로 각각 주파수 f
1 , f
2 로 탐침과 시료를 상대적으로 진동시키면서, 탐침과 시료를 상대적으로 이동시킨다(스텝 S1a). 한편, 시료표면에 수직인 방향의 상호작용 측정치에 상기 주파수성분 f
1 , f
2 가 나타나지 않는 점(특징점)을 검출한다(스텝 S1b). 그 후, 그 측정된 측정치가 유지되도록 탐침과 시료의 상대이동이 제어됨(특징점을 추적함, S1c)으로써, 상기 상대이동의 속도를 검출한다(스텝 S1d). 이어서, 검출된 속도를 이용하여, 상기 상대위치의 제어를 보정한다(스텝 S2).
탐침, 상대위치, 속도, 특징점, 주파수, 현미경, 원자조작, 드리프트
摘要翻译：本发明提供了一种消除热漂移和其他变化的影响并通过使用该技术来改善扫描探针显微镜或原子操纵器的观察或操纵准确度的技术，以校正上述探针相对位置的变化和样品在观察或操作过程中由于热量或其他因素。为了在原子水平上获得样品表面的图像或者对样品表面上的原子执行特定操作，本发明可以应用于用于在测量时控制探头和样品的相对位置的探头位置控制方法样品表面上的目标原子与探针尖端之间的相互作用。在本方法中，探针和样品的相对位置在探针相对于样品在平行于样品表面的两个方向上以f1和f2的频率（S1a）振荡时发生改变。同时，检测频率f1和f2从垂直于样品表面的方向上的相互作用的测量值消失的点（或特征点）（S1b）。然后，控制探头和样品的相对运动，以便保持由此检测到的测量值（即跟踪特征点; S1c），并确定上述相对运动的速度（S1d）。随后，使用检测到的速度来校正相对位置控制（S2）。

86. 发明公开

KR1020090023095A 액중 시료 분석 방법 有权
标题翻译：分析液体样品的方法
公开(公告)号：KR1020090023095A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：KR1020080076106
申请日：2008-08-04
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 오타,마사히로 , 오야부,노리아키 , 아다치,히로아키 , 아베,마사유키 , 모리타,세이조 , 모리,유스케 , 사사키,타카토모
IPC分类号： G01Q60/24 , G01N1/28 , G01N13/00
CPC分类号： G01Q30/14 , G01N1/36 , G02B21/33 , G02B21/34
摘要： A hydraulic specimen analyzing method is provided to prevent solution for the corresponding analysis evaporating as the circumference of the analysis solution is surrounded with the solution for sealing to be shut up. A hydraulic specimen analyzing method comprises a step for scanning the corresponding surface of specimen by approaching a probe(15) installed in a leading end of a cantilever(14) to the surface of the specimen(13) dipped in the solution; a step for taking shape the image after detecting the interaction between the probe and the specimen with a scanning probe microscope; and a step for blocking the analysis solution from the external air by filling the solution(17) for sealing not to be mixed with the analysis solution in the surrounding of the analysis solution(16) in which the specimen and probe are dipped.
摘要翻译：提供了一种液压试样分析方法，以防止分析溶液的周围被封闭用的封闭液包围的相应分析蒸发溶液。液压试样分析方法包括通过将安装在悬臂（14）的前端的探头（15）接近浸入溶液中的试样（13）的表面，扫描试样的相应表面的步骤; 用扫描探针显微镜检测探头与样品之间的相互作用后，形成图像的步骤; 以及通过在其中浸入了样品和探针的分析溶液（16）的周围填充用于密封而不与分析溶液混合的溶液（17）来封闭来自外部空气的分析溶液的步骤。

87. 发明授权

KR100877928B1 ＴＦＴ 어레이 기판 검사 장치 失效
标题翻译： TFT阵列基板检查装置
公开(公告)号：KR100877928B1
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020077016379
申请日：2006-04-20
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 시노하라,마코토
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/786
CPC分类号： G01N21/956 , G01N23/225 , G02F2001/136254 , H01J2237/2594
摘要： TFT 어레이 기판(10)의 트랜지스터의 구동 상태를 검출하는 구동 상태 검출 장치(예를 들면, 전자 빔원(2)과 2차 전자 검출기(5)를 구비하는 수단, 또는 전자 빔원(12)과 2차 전자 검출기(15)를 구비하는 수단, 또는 광원(22)과 광 검출기(25)를 구비하는 수단 또는 장치, 또는 광원(32)과 광 검출기(35)를 구비하는 수단 또는 장치)를 구비하고 있다. 또, TFT 어레이 기판 검사 장치는, 상기 TFT 어레이 기판(10)을 구성하는 트랜지스터의 특성을 변화시키는 트랜지스터 특성 변화 장치(가시광 조사장치(4), 가열기(14), 전자파 조사장치(24), 가열기(34))를 구비하고 있다. 또한, TFT 어레이 기판 검사 장치는, 상기 트랜지스터의 특성이 변화한 상태의 상기 TFT 어레이 기판(10)의 구동 상태를 구동 상태 검출 장치의 출력으로부터 검사하는 검사 장치(6, 16, 26, 36)를 구비하고 있다.

88. 外观设计

KR3004898800001S 失效
公开(公告)号：KR3004898800001S
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：KR3020070036078
申请日：2007-08-23
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
设计人： 호시노 쇼고 , 기무라 쥰 , 요시다 고지 , 시시쿠라 다쿠지

89. 外观设计

KR3004898800000S 失效
公开(公告)号：KR3004898800000S
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：KR3020070036077
申请日：2007-08-23
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
设计人： 호시노 쇼고 , 기무라 쥰 , 요시다 고지 , 시시쿠라 다쿠지

90. 发明公开

KR1020080009326A 질량분석 데이터 해석장치 및 프로그램을 기록한 기록매체 有权
标题翻译：质量分析数据分析设备和程序
公开(公告)号：KR1020080009326A
公开(公告)日：2008-01-28
申请号：KR1020077028906
申请日：2006-04-27
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼
发明人： 야마우치가즈오 , 야마모토요시타케 , 우메무라요시카츠
IPC分类号： G01N27/62 , G01N27/00
CPC分类号： H01J49/0036 , G06F19/703 , Y10T436/24
摘要： In a mass analysis data analysis device, centroid data is used as mass spectrum data of the analysis object. Firstly, the peak of the centroid data is specified as a reference peak for identifying the isotope cluster in the descending order of the intensity. The appearance pattern of the peaks before and after the reference peak is compared to the appearance pattern of the isotope cluster predicted when each valence is hypothesized, thereby detecting an isotope cluster. The valence of the isotope cluster identified by this is made a valence of the peak belonging to the isotope cluster and the first peak of the cluster is identified as a monoisotopic peak. This mass analysis data analysis device enables judgment of valence of each peak on the mass spectrum and identification of the monoisotopic peak in a short time.
摘要翻译：在质量分析数据分析装置中，质心数据被用作分析对象的质谱数据。首先，质心数据的峰值被指定为用于以强度的降序识别同位素簇的参考峰。将参考峰之前和之后的峰的出现图案与当假设每个价态时预测的同位素簇的出现图案进行比较，从而检测同位素簇。由此鉴定的同位素簇的价态是属于同位素簇的峰的价态，并且簇的第一个峰被鉴定为单同位素峰。该质量分析数据分析装置能够在短时间内判断质谱上的各峰的价数和单同位素峰的识别。

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