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    • 75. 发明公开
    • 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조방법
    • 电网极化器及其制造方法
    • KR1020160113429A
    • 2016-09-29
    • KR1020150038600
    • 2015-03-20
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 강민혁장형규곽은애이문규
    • G02B5/30G02F1/1335
    • G02B5/3058H01L27/124G02F2001/133548
    • 와이어그리드편광자및 그제조방법이제공된다. 와이어그리드편광자의제조방법은기판상에금속층, 금속층상에비선택층, 비선택층상에소프트층을순차적으로형성하는단계, 소프트층을패턴닝하여소프트패턴층을형성하는단계, 소프트패턴층을마스크로이용하여비선택층을선택영역과비선택영역으로구획하는단계, 비선택영역과선택영역을갖는비선택층상에서로다른둘 이상의단량체를갖는공중합체를도포하는단계및 서로다른둘 이상의단량체를갖는공중합체를어닐링시켜서로다른두 가지단량체를정렬시켜제1, 2 단량체블록을갖는블록공중합체를형성하는단계를포함하되, 블록공중합체를형성하는단계는, 선택영역의표면에대해평행한방향으로정렬된제1 블록공중합체을형성하고, 비선택영역의표면에대해수직한방향으로정렬된제2 블록공중합체를형성하는하는단계를포함한다.
    • 提供一种线栅偏振器及其制造方法。 线栅偏振器的制造方法包括以下步骤:在基板上依次形成金属层,在金属层上依次形成非选择层,在非选择层上形成软层; 通过图案化软层形成软图案层; 使用所述软图案层作为掩模将所述非选择层划分为选定区域和未选区域; 将具有两个或更多个不同单体的共聚物施加到具有未选区域和所选区域的非选择层上; 以及通过使具有两种或更多种不同单体的共聚物退火来排列两种不同单体,形成具有第一和第二单体的嵌段共聚物,其中形成嵌段共聚物的步骤包括形成沿平行于 所述区域的表面和沿垂直于所述未选区域的表面的方向布置的第二嵌段共聚物。