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    • 79. 发明授权
    • 진공증착장치에 있어서의 증착재료의 증발, 승화방법 및 진공증착용 도가니 장치
    • 在真空蒸发装置,升华法和真空蒸发坩埚中蒸发蒸发材料
    • KR101814390B1
    • 2018-01-03
    • KR1020110046236
    • 2011-05-17
    • 히다치 조센 가부시키가이샤
    • 가미카와겐지
    • C23C14/24
    • (과제) 본발명은, 증착재료의열화를방지하면서, 장기간에걸친연속운전을가능하게한다. (해결수단) 도가니홀더(13) 내에, 적외선을주된파장으로하는가열파를방사하는방사열원(21)을, 적외선을투과가능한재질로이루어지는가열파투과관(22)에내장하여배치한다. 방사열원(21)으로부터의가열파를도가니본체(12) 내의증착재료(M)의표면에조사하여가열하여, 증착재료(M)의표면만을증발또는승화시킨다. 증발또는승화된증착재료(M)가, 가열파투과관(22)의표면이나도가니본체(12), 도가니홀더(13)의내면에부착되더라도, 가열파에의하여가열되어재증발또는재승화된다.
    • (问题)本发明能够在防止蒸发材料的劣化的同时长时间连续操作。 (解决方案)在坩埚保持器13中,用于辐射具有主要波长的红外线的红外线的辐射热源21被布置在由能够透射红外线的材料制成的加热管和管22中。 来自辐射热源21的加热波照射到坩埚主体12中的蒸发材料M的表面并被加热以仅蒸发或升华蒸发材料M的表面。 沉积材料(M)被蒸发或升华,patugwa加热的表面或管22的坩埚主体12,即使当连接到所述坩埚保持件13的内表面,通过加热面值升华闪光或材料加热。