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    • 64. 发明授权
    • 역-도통 전력 반도체 디바이스
    • 反向传导功率半导体器件
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    • H01L29/74
    • H01L29/747H01L29/0692H01L29/0834H01L29/7416H01L29/7428H01L29/744
    • 제1 메인측면(11), 및제1 메인측면(11)에평행하게배열되는제2 메인측면(15)을구비한웨이퍼(10)를포함하는역-도통전력반도체디바이스(1)가제공된다. 본디바이스는복수의다이오드셀(96)과복수의 IGCT 셀(91)을포함하며, IGCT 셀각각은제1 및제2 메인측면(11, 15) 사이에다음의순서의레이어들: - 캐소드전극(2), - 제1 도전형의제1 캐소드레이어(4), - 제2 도전형의베이스레이어(6), - 제1 도전형의드리프트레이어(3), - 제1 도전형의버퍼레이어(8), - 제2 도전형의제1 애노드레이어(5), 및 - 제1 애노드전극(25)을포함한다. IGCT 셀(91) 각각은제1 캐소드레이어(4)에횡으로배열되고베이스레이어(6)에의해제1 캐소드레이어(4)로부터분리되는게이트전극(7)을더 포함한다. 다이오드셀(96) 각각은제1 메인측면(11)에제2 애노드전극(28), 제2 도전형의제2 애노드레이어(55), 및제2 메인측면(15)에제1 도전형의제2 캐소드레이어(45)를포함하는데, 제2 애노드전극(28)은제2 도전형의제2 애노드레이어(55)에접촉되고, 제2 도전형의제2 애노드레이어(55)는드리프트레이어(3)에의해베이스레이어(6)로부터분리되며, 제1 도전형의제2 캐소드레이어(45)는제1 애노드레이어(5)와교대로배열된다. 본디바이스는적어도하나의결합부(99)를포함하는데, 여기서다이오드셀들(96)의제2 애노드레이어들(55)은 IGCT 셀들(91)의제1 캐소드레이어들(4)과교호한다.
    • 具有15,其被布置成平行于第一主侧11,mitje第一主侧11第二主侧站,包括一个晶片10 - 电力用半导体装置(1)的导通被提供。 本装置包括多个二极管单元96和多个IGCT单元(91),IGCT细胞,在以下的顺序中的每个层中的第一mitje第二主侧(11,15): - 阴极( 第一导电型第一阴极层4,第二导电型基极层6,第一导电漂移层3,第一导电型缓冲层 8,第二导电类型的第一阳极层5和第一阳极电极25。 每个IGCT单元91包括在第一阴极层4中横向布置并且从释放1阴极层4与基极层6分离的栅电极7。 每个二极管单元96包括在第一主侧面11上的第二阳极电极28,第二导电类型的第二阳极层55和第二阴极 第二阳极电极28,与阳极层55,导电类型银的第二阳极层55相接的第二个是,第二导电型是漂移层(3)包括一个层(45) 并且第一导电类型的第二阴极层45与第一导电类型的阳极层5交替布置。 该器件包括至少一个耦合部分99,其中二极管单元96的第二阳极层55覆盖IGCT单元91的第一阴极层4。