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    • 62. 发明授权
    • 기판 수납 용기
    • 基材储存容器
    • KR101594235B1
    • 2016-02-15
    • KR1020137034467
    • 2012-07-03
    • 미라이얼 가부시키가이샤신에츠 폴리머 가부시키가이샤
    • 나가시마즈요시이노우에슈이치오야마다카하루마츠토리지아키오누키가즈마사시다히로유키야마기시히로키
    • H01L21/673B65D43/02B65D85/86
    • B65D43/02H01L21/67373
    • 기판, 덮개, 시정기구의손상등을배제하고, 시정기구의시정동작을안정시켜덮개의인입량을확보하고, 시정기구의조립의신속화를도모함과아울러, 회전조작체와시정바가풀리는것 등으로시정기구가해정되는것을막는기판수납용기를제공한다. 반도체웨이퍼수납용의용기본체와, 용기본체의정면에감합되는덮개(10)와, 덮개(10) 시정용의시정기구(40)를구비하고, 시정기구(40)를덮개(10)에지지되어커버플레이트(30)측으로부터조작되는회전조작체(41)와, 회전조작체(41)의회전으로상하방향으로슬라이드하여용기본체의시정구멍에선단부(65)를이접시키는시정바(64)로구성하고, 회전조작체(41)를제1, 제2의회전조작체(42, 42A)로분할하고, 제1, 제2의회전조작체(42, 42A)에캠을형성하는제1, 제2의캠부(51, 60)를형성하고, 제1, 제2의캠부(51, 60)에덮개(10)의두께방향으로요동하는시정바(64)의말단부를협지시킨다.
    • 的基底,一个盖,排除这样的损坏的纠正机制,以稳定的纠正机构将所述盖固定的切削深度的修正操作,并domoham加快纠正机构的组装,并在同一时间,解缠结杆,旋转操作体和所述校正 提供衬底存储容器以防止锁定机构被拆卸。 在容器主体的前表面安装有盖10和用于校正盖10的校正机构40,并且校正机构40设置在盖10的边缘上 (64),其在旋转操作体(41)旋转之前沿竖直方向滑动并且与尖端(65)接触并且容器本体 并且,旋转操作体41被分割成第一旋转操作体42和第二旋转操作体42A,并且第一旋转操作体42和第二旋转操作体42A设置有第一, 形成第二凸轮部51和60,并且沿着盖10的厚度方向摆动的可动杆64的远端夹在第一和第二凸轮部51和60之间。
    • 66. 发明授权
    • 도어 구조 및 기판 저장 용기
    • 门结构和基座储存容器
    • KR101413936B1
    • 2014-06-30
    • KR1020097005092
    • 2007-09-28
    • 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
    • 하세가와아키히로토다준야
    • H01L21/673B65D55/14B65D85/38B65D85/86
    • B65D55/14B65D2585/86H01L21/67373
    • 수동으로 개폐하는 경우에도 부품이나 부속품 등을 분실할 우려가 적고, 반송시의 진동이나 충격 등에서도 파티클이 발생하기 어렵고, 또한 세정 후의 건조 작업에 장시간을 요하지 않는 도어 구조 및 기판 저장 용기를 제공한다. 기판을 저장하는 용기 본체(1)와, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 도어 구조(10)를 구비한다. 도어 구조(10)는, 용기 본체(1)의 개구 정면부(2)에 착탈이 자유롭게 끼워넣어지는 케이싱과, 케이싱의 표면에 배치되고, 회전 플레이트(15)의 회전에 기초하여 케이싱의 둘레벽으로부터 출몰 가능하게 돌출시킨 걸림 발톱을 용기 본체(1)의 개구 정면부(2) 내주에 걺으로써 케이싱을 잠그는 잠금 기구(14)와, 케이싱의 표면에 장착되어 잠금 기구를 덮는 커버 플레이트(22)와, 커버 플레이트(22)에 형성되어 회전 플레이트(15)에 부분적으로 대향하는 조작창(30)으로 구성되고, 잠금 기구(14)의 회전 플레이트(15)의 조작창(30)과의 대향부에는 수동 조작 수단을 구비한다.
      도어 구조, 기판 저장 용기, 잠금 기구, 커버 플레이트, 조작창