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    • 57. 发明公开
    • 블랭크 메탈 마스크 장치
    • KR1020200133037A
    • 2020-11-26
    • KR1020190056740
    • 2019-05-15
    • 연기옥
    • 연기옥
    • C23C14/04C23C14/26H03H3/02
    • 본발명은블랭크메탈마스크장치에관한것으로, 진공펌프를포함하는베이스와, 상기베이스의상부에개폐가능하게구비되며, 소정의수용공간을갖는챔버로이루어진진공부와; 상기수용공간에해당하는상기베이스의상부에설치되어수정블랭크에증착물질을증착시키는증착부와; 상기베이스에설치되어상기챔버을승강으로개폐작동시키는개폐부와; 상기증착부의상부에회전가능하게설치되며, 다수의수정블랭크를격자로배열고정시키는메탈마스크를포함하여구성하되, 상기메탈마스크는상기수정블랭크의각각안착배열을위해다수의제1블랭크홀을갖는상부트레이및 다수의제2블랭크홀을갖는하부트레이로이루어지되, 일측에형성된경첩에의해절첩가능하게구성되며, 상기하부트레이의제1블랭크홀은상기수정블랭크의넓이에대응하여격자로관통배열형성되고, 상기상부트레이의제2블랭크홀은상기제1블랭크홀의 1열에모두대응하여상기경첩방향으로길이를갖는장홀로관통배열형성되고, 상기증착부에는상기메탈마스크를상/하반전으로회전작동시키는회전부가더 구비되는것을특징으로하여기존에비해증착을신속하게수행할수 있으며, 수정블랭크에은을증착하는동안수정블랭크의분실방지는물론, 전극핀의파손및 이탈을방지하여불량을최소화할 수있는블랭크메탈마스크장치에관한것이다.