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51. 发明公开

KR1020170131583A 향상된 이미지 빔 안정화 및 인터로게이션을 갖는 하전 입자 현미경 검사를 위한 방법 및 시스템 审中-实审
标题翻译：方法和系统的带电粒子显微镜检查与结扎到增强图像稳定光束和帧间
公开(公告)号：KR1020170131583A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020177030663
申请日：2016-03-24
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 마스나게티더글라스 , 토스가보 , 트리스데이비드 , 보트라로히트 , 첸그레이스에이치 , 니펠메이어라이너
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/203
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/203 , G01N2223/6116 , H01J37/10 , H01J37/244 , H01J2237/0044 , H01J2237/0048 , H01J2237/057 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806
摘要： 향상된이미지빔 안정성을갖는주사전자현미경검사시스템이개시된다. 시스템은전자빔을생성하도록구성되는전자빔 소스및 전자빔의적어도일부를샘플의일부상으로지향시키는전자광학엘리먼트의세트를포함한다. 시스템은이미턴스분석기어셈블리를포함한다. 시스템은샘플의표면에의해방출되는이차전자및/또는후방산란전자의적어도일부를이미턴스분석기어셈블리로지향시키도록구성되는스플리터엘리먼트를포함한다. 이미턴스분석기어셈블리는이차전자및/또는후방산란전자중 적어도한 쪽을이미지화하도록구성된다.
摘要翻译：具有改进的扫描电子显微镜图像系统稳定性光束中被公开。该系统包括一组用于至少引导所述电子束源的一部分，并且被配置为生成电子束在样品上的部分的电子束的电光元件。该系统已经包括电容分析器组件。该系统包括被配置为引导至少二次电子的一部分的分光器元件和/或由样品散射的电子发射率分析器组件的后表面发射。发射率分析器组件被配置为图像的二次电子和/或背散射电子中的至少一个。

52. 发明授权

KR101799891B1 플라즈마 침적 모드 이온주입에 있어서의 주입량 측정 장치 有权
标题翻译：等离子体沉积模式离子注入中的注入量测量装置
公开(公告)号：KR101799891B1
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020137000187
申请日：2011-06-01
申请人： 이옹 빔 세르비스
发明人： 또레그로자,프랑 , 후,로랑
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/32
CPC分类号： G01T1/02 , H01J37/244 , H01J37/32412 , H01J37/32422 , H01J37/32935 , H01J2237/24405 , H01J2237/2448 , H01J2237/31703
摘要： 본발명은이온주입의주입량측정장치에관한것으로서, 이장치는, 주입전류추산모듈 CUR, 이차전자검출기 DSE, 그리고상기주입전류와상기이차전자검출기로부터의전류와의차를취하여이온전류를추산하는제어회로 CC를포함한다. 또한, 상기고에너지이차전자검출기는, 세개의상호절연된전극들, 즉, - 반발되어야할 소정극성의전하를반발하기위한전극으로서, 전자가통과하는적어도하나의오리피스가형성되어있는제1 반발전극 G1, A1, T1; - 반발되어야할 반대극성의전하를반발하기위한전극으로서, 전자가통과하는적어도하나의오리피스가형성되어있는제2 반발전극 G2, A2, T2; - 전자가통과하는적어도하나의오리피스가형성되어있는선택전극 G3, A3, T3;을갖는수집기 COL, P를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及用于离子注入的剂量测定装置，该装置包括一个注入电流估计模块CUR，二次电子探测器DSE，并考虑来自检测器的注入电流和二次电流之间的差来估计的离子电流和一个控制电路CC。高能二次电子检测器还包括三个相互隔离的电极，

53. 发明公开

KR1020170108996A 하전 입자선 장치 및 주사 전자 현미경 审中-实审
标题翻译：带电粒子线装置和扫描电子显微镜
公开(公告)号：KR1020170108996A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020177023838
申请日：2015-12-03
申请人： 마쯔사다 프리지션 인코포레이티드
发明人： 쿠마모토카즈야 , 마쯔다사다요시
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 본발명은, 하전입자선장치의성능향상을도모한다. 하전입자선장치는, 하전입자원(11)과, 하전입자원(11)으로부터방출되는하전입자선(12)을가속하기위해설치되는, 하전입자원(11)에접속된가속전원(14)과, 하전입자선(12)을시료(23)에집속시키는대물렌즈(26)를가진다. 대물렌즈(26)는시료(23)에대하여하전입자선(12)이입사하는측의반대측에설치되고, 대물렌즈(26)를형성하는자극은하전입자선(12)의이상광축과중심축이일치한중심자극(26a)과, 상부자극(26b)과, 통형의측면자극(26c)과, 원반형상의하부자극(26d)을가지고, 중심자극(26a)의시료(23) 측에가까운상부는, 상기상부일수록직경이작아지게되는형상이며, 중심자극(26a)의하부는원기둥형상이며, 상부자극(26b)은, 중심에원형의개구부가형성된자극이며, 중심을향해테이퍼형으로중심자극의중심에가까운측이얇아지는원반형상이다.
摘要翻译：本发明改进了带电粒子束装置的性能。带电粒子束装置包括带电粒子源11和连接到带电粒子源11的加速电源14，该带电粒子源11被安装以加速从带电粒子源11发射的带电粒子束12，以及用于将带电粒子束12会聚到样本23上的物镜26。物镜26设置在与带电粒子束12进入样本23的一侧相反的一侧，并且形成物镜26的刺激光束传输线12的理想光轴和中心轴靠近中心磁极26a的样本23侧的上部具有中心中央磁极26a，上部磁极26b，圆柱形侧部磁极26c和盘形下部磁极26d 中央磁极26a的下部为圆筒状，上侧磁极26b为中央具有圆形开口且朝向中央逐渐变细的磁极，在靠近光盘中心的一侧变薄。

54. 发明授权

KR101756171B1 주사 전자 현미경 有权
公开(公告)号：KR101756171B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020150179085
申请日：2015-12-15
申请人： (주)새론테크놀로지
发明人： 구정회
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/026 , H01J2237/141 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608
摘要： 본발명은진공상태에서시료를관찰하도록하는진공챔버없이대기중에서시료표면으로부터산란되어방출되는후방산란전자를검출하여시료를관찰할수 있도록구현되는주사전자현미경에관한것이다. 본발명에따른주사전자현미경은진공상태를형성하는경통, 경통의상부에위치하고, 진공하에서전자빔을하부로주사하는전자총, 경통의하부면의일부를형성하여경통내부를진공상태로형성하고전자빔을통과시키는차폐막, 차폐막의하부에위치하여전자총으로부터차폐막을통과한전자빔이시료에조사되도록시료가배치되는시료대, 전자총과차폐막사이에위치하여전자빔을통과시키는홀이형성되고, 상부면에자기장을형성하는제1 평면코일을구비하여전자빔을집속하여차폐막으로전달하고, 시료로부터후방산란되는후방산란전자를검출하는제1 후방산란검출기를포함한다.

55. 发明授权

KR101701071B1 전자 현미경 및 전자선 검출기 有权
标题翻译：电子显微镜和电子束检测器
公开(公告)号：KR101701071B1
公开(公告)日：2017-01-31
申请号：KR1020157003786
申请日：2013-08-09
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 이마무라,신 , 오시마,다까시 , 오세,요이찌 , 히라네,겐이찌
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/28 , H01J2237/2801
摘要： 신틸레이터(7)와라이트가이드(8)를구비한전자현미경에있어서, 신틸레이터(7)는라이트가이드(8)의굴절률보다도큰 굴절률을갖고, 라이트가이드(8)에접합되는단부면(72)이외측으로볼록한형상의곡면에의해형성되어있다. 또한, 신틸레이터(7)는조성식 (LnCe)MO(단, Ln은 Y, Gd, La 및 Lu로부터선택되는적어도하나의원소를나타내고, M은 Al 및 Ga로부터선택되는적어도하나의원소를나타냄)로표시되는 Y-Al-O계세라믹소결체로형성되어있다.
摘要翻译：电子显微镜设有闪烁体（7）和光导（8）。闪烁体（7）的折射率大于导光体（8）的折射率，与导光体（8）接合的端面（72）由凸形的曲面形成外。闪烁体（7）由组成式（Ln1-xCex）3M5O12表示的Y-Al-O系陶瓷烧结体形成（其中Ln表示选自Y，Gd，La和 Lu和M表示Al和Ga中的任一个或两者）。

56. 发明公开

KR1020170008764A 복수의 하전 입자 빔들을 이용하여 샘플을 검사하는 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：使用多个充电颗粒物检查样品的装置和方法
公开(公告)号：KR1020170008764A
公开(公告)日：2017-01-24
申请号：KR1020167033942
申请日：2015-04-23
申请人： 테크니쉐 유니버시테이트 델프트
发明人： 크루이트,피터 , 존네빌레,에르노트크리스티안 , 렌,얀
IPC分类号： H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/24495 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： 본발명은샘플을검사하기위한장치및 방법에관한것이다. 이장치는: 샘플(15)을고정하기위한샘플홀더(150), 일차하전입자빔들의어레이(3)를생성하기위한멀티빔 하전입자생성기, 샘플홀더에서일차하전입자빔들의어레이를개별포커싱된일차하전입자빔들의어레이로향하게하기위한전자기렌즈시스템(13), 일차하전입자빔들이샘플상에충돌할때 또는샘플을통한일차하전입자빔들의전송후에포커싱된일차하전입자빔들에의해생성된광자들을검출하도록배치된멀티픽셀광자검출기(20), 및멀티픽셀광자검출기의픽셀들을구별및/또는분리하거나또는픽셀들의그룹들을구별및/또는분리하도록개별포커싱된일차하전입자빔들의어레이의적어도두 개의인접한포커싱된일차하전입자빔들에의해생성된광자들(30, 31, 32)을수송하기위한광학어셈블리(40)를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检查样品的装置和方法。该装置包括：∙用于保持样品（15）的样品保持器（150），∙用于产生一次带电粒子束（3）阵列的多光束带电粒子发生器，∙一个电磁透镜系统（13），用于将所述初级带电粒子束的阵列引导到所述样品上的分离的聚焦初级带电粒子束阵列中，∙多像素光子检测器（20），被安排用于当所述初级带电粒子束撞击在样品上或在透过所述初级带电粒子束通过样品∙和光学组件（40），用于传送由所述阵列的至少两个相邻聚焦的初级带电粒子束产生的光子（30,31,32）分离的聚焦的初级带电粒子束到不同的和/或分离的像素或多像素光子检测器的不同和/或分离的像素组。

57. 发明授权

KR101667770B1 리소그래피 시스템, 센서, 변환기 엘리먼트 및 제조 방법 有权
标题翻译： LITHOGRAPHY系统传感器转换器元件及其制造方法
公开(公告)号：KR101667770B1
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：KR1020127027493
申请日：2011-03-22
申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
发明人： 한포우그,라바
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317 , H01J37/304
CPC分类号： H01J37/244 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3045 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/2443
摘要： 하나이상의하전입자빔릿들의하나이상의특징들을결정하기위한센서를포함하는, 패턴을타겟의표면으로전사하기위한하전입자빔릿리소그래피시스템이개시된다. 센서는하전입자들(22)을수용하고이에응답하여광자들(photons)을생성하기위한변환기엘리먼트(1)를포함한다. 변환기엘리먼트는하나이상의하전입자빔릿들을수용하기위한표면을포함하고, 표면에는하나이상의개별적인빔릿들을평가하기위한하나이상의셀들이제공된다. 각각의셀은변환기엘리먼트표면에걸쳐미리결정된빔릿스캔궤적을따라차단및 비차단영역들사이의전이들(transitions)에서다수의나이프에지들(knife edges)을형성하는미리결정된차단패턴(18)의하나이상의하전입자차단구조들을포함한다. 변환기엘리먼트표면은하전입자들에대해실질적으로침투가능하고주변광(ambient light)에대해실질적으로침투불가한코팅층(20)으로코팅된다. 전기적으로도전성층(21)은코팅층및 차단구조들사이에위치된다.

58. 发明授权

KR101599912B1 시료관찰방법과 장치 및 상기 방법과 장치를 이용한 검사방법과 장치 有权
标题翻译：样本观察方法和装置以及使用方法和装置的检查方法和装置
公开(公告)号：KR101599912B1
公开(公告)日：2016-03-04
申请号：KR1020107025128
申请日：2009-04-10
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 하타케야마마사히로 , 무라카미다케시 , 나이토요시히코 , 데라오겐지 , 기무라노리오 , 와타나베겐지
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/225 , H01J37/20 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/29 , H01J2237/24475 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2805 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要： 종래에는주목받지못한에너지영역에서의전자빔을이용하여시료를관찰하는능력을향상시킬수 있는기술이제공된다. 상기시료관찰방법은, 상기시료에전자빔을조사하는단계; 상기전자빔의조사에의해생성된그리고상기시료에대한정보를취득한관찰대상전자를검출하는단계; 및상기검출된관찰대상전자로부터상기시료의화상을생성하는단계를포함하여이루어진다. 상기전자빔의조사는, 2차방출전자가검출되는 2차방출전자영역과미러전자가검출되는미러전자영역사이의천이영역에서설정된랜딩에너지를갖는상기전자빔을상기시료에조사하여, 상기관찰대상전자로서상기 2차방출전자와상기미러전자를혼재시키는단계를포함하여이루어진다. 상기관찰대상전자의검출은, 상기 2차방출전자및 상기미러전자가혼재한상태로검출을행하는단계를포함하여이루어진다. 따라서, 100 nm 이하의패턴및 미세한이물에대한관찰과검사가신속하게실시가능하다.

59. 发明授权

KR101589426B1 하전 입자선 장치, 하전 입자선 장치의 조정 방법, 및 시료의 검사 또는 시료의 관찰 방법 有权
标题翻译：用于调整充电颗粒光束装置的充电颗粒光束装置方法和观察样品或检查样品的方法
公开(公告)号：KR101589426B1
公开(公告)日：2016-01-29
申请号：KR1020157032618
申请日：2012-07-04
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 오미나미,유스께 , 오따끼,도모히사 , 이또,스께히로
IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
摘要： 대기압공간과감압공간을분리하기위한박막주변부의구성을최적화함으로써, 시료(6)를대기분위기또는가스분위기에서관찰하는것이가능한하전입자선장치를제공한다. 제1 하우징(7)을배기하는진공배기펌프(4)와, 제1 하우징(7) 내에서, 조사에의해얻어지는하전입자선을검출하는검출기(3)와, 적어도제1 하우징(7) 또는제2 하우징(8)의어느일부이거나, 또는별체로서구성되고, 제1 하우징(7) 내와제2 하우징(8) 내와의사이의적어도일부를이격하는격벽부와, 격벽부에설치되고, 하전입자조사부측의개구면적이시료(6)측의개구면적보다도큰 개구부(10a)와, 개구부(10a)의시료(6)측을덮고, 1차하전입자선및 하전입자선을투과또는통과시키는박막(13)을구비하는하전입자선장치를제공한다.

60. 发明公开

KR1020150146427A 이온주입장치 审中-实审
标题翻译：离子植入装置
公开(公告)号：KR1020150146427A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020150086439
申请日：2015-06-18
申请人： 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤
发明人： 아마노요시타카
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/10 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/10 , H01J37/244 , H01J2237/038 , H01J2237/1202 , H01J2237/16
摘要： 넓은범위에서사용할수 있는이온주입장치및 이온주입방법을제공한다. 이온주입장치는, 이온빔을평행화하기위한복수의전극을구비하는렌즈전극유닛(802)과, 렌즈전극유닛(802)을진공환경에수납하는진공유닛(804)을구비한다. 진공유닛(804)은, 제1 도전성용기벽(814)을구비하는제1 진공용기(806)와, 제2 도전성용기벽(816)을구비하는제2 진공용기(808)와, 제1 진공용기(806)와제2 진공용기(808)를서로연통하고또한제1 도전성용기벽(814)을제2 도전성용기벽(816)으로부터절연하는절연성용기벽(810)을구비한다. 렌즈전극유닛(802)의복수의전극중 적어도 1개의전극을제1 도전성용기벽(814) 및제2 도전성용기벽(816) 중적어도일방으로부터절연하는절연부재(828)가설치되고, 절연부재(828)는, 렌즈전극유닛(802)과함께진공환경에수납되어있다.
摘要翻译：本发明提供可广泛使用的离子注入装置和离子注入方法。离子注入装置包括：透镜电极单元（802），具有多个电极以使离子束平行化; 以及用于在真空环境中容纳透镜电极单元（802）的真空单元（804）。真空单元（804）包括：具有第一导电容器壁（814）的第一真空容器（806）; 具有第二导电容器壁（816）的第二真空容器（808）; 绝缘容器壁（810），用于将第一真空容器（806）和第二真空容器（808）彼此连通，并使第一导电容器壁（814）与第二导电容器壁（816）绝缘。在第一导电性容器壁（814）和第二导电性容器壁（816）的至少一个方向上，设置用于将透镜电极单元（802）的多个电极中的至少一个电极绝缘的绝缘构件（828）并且绝缘构件（828）被容纳在具有透镜电极单元（802）的真空环境中。

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