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51. 发明授权

KR100500347B1 레지스트 재료 및 패턴 형성 방법 有权
公开(公告)号：KR100500347B1
公开(公告)日：2005-07-12
申请号：KR1020000026622
申请日：2000-05-18
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 니시,쯔네히로 , 긴쇼,다께시 , 와따나베,다께루 , 하세가와,고지 , 나까시마,무쯔오 , 하따께야마,준
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/26
CPC分类号： C07C69/753 , C07C69/013 , C07C69/608 , C07C69/732 , C07C69/76 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/039
摘要： 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 에스테르 화합물 또는 그의 거울상 이성질체를 함유하는 것을 특징으로 하는 레지스트 재료에 관한 것이다.

식 중, R
1 은 헤테로 원자를 포함할 수 있는 탄소수 4 내지 40의 직쇄상, 분지상 또는 환상의 n가 포화 또는 불포화 탄화수소기를 나타내고, R
2 는 탄소수 1 내지 8의 직쇄상, 분지상 또는 환상의 알킬기 또는 치환될 수 있는 탄소수 6 내지 20의 아릴기를 나타내며, R
3 내지 R
12 는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 헤테로 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 15의 1가 탄화수소기를 나타내고, 서로 환을 형성할 수 있으며, 그 경우에는 헤테로 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 15의 2가 탄화수소기를 나타내고, 또한, R
3 내지 R
12 는 인접하는 탄소에 결합하는 것끼리 아무것도 개재하지 않고 결합하여 이중 결합을 형성할 수도 있으며, n은 1 내지 8의 정수이다.
본 발명의 레지스트 재료는 고에너지선에 감응하고, 감도, 해상성, 에칭 내성, 보존 안정성이 우수하기 때문에, 전자선이나 원자외선에 의한 미세 가공에 유용하다. 특히 ArF 엑시머 레이저, KrF 엑시머 레이저의 노광 파장에서의 흡수가 작기 때문에, 미세하고 동시에 기판에 대하여 수직인 패턴을 용이하게 형성할 수 있다는 특징을 갖는다.

52. 发明公开

KR1020050016235A 아미노 조성물의 제조방법 有权
标题翻译：通过含有亚烷基基团化合物的聚氨酯的添加反应生产氨基组合物的方法
公开(公告)号：KR1020050016235A
公开(公告)日：2005-02-21
申请号：KR1020040063547
申请日：2004-08-12
申请人： 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤
发明人： 에치고마사토시 , 구와하라히사유키 , 고야마다케시
IPC分类号： C07C209/24
CPC分类号： C07C213/08 , C07C209/60 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C211/27 , C07C211/36
摘要： PURPOSE: A process for producing an amino composition which is useful as curing agents for epoxy resins or as chain extenders for polyurethane resins, and has stable properties. CONSTITUTION: The process for producing an amino composition is carried out by an addition reaction of a polyamine with an alkenyl group-containing compound under the presence of a strongly basic catalyst, and specifically the process comprises the steps of conducting a preliminary reaction of the polyamine with the strongly basic catalyst to obtain a reaction mixture, and adding the alkenyl group-containing compound to the obtained reaction mixture to conduct an addition reaction. The alkenyl group-containing compound is added to the reaction mixture comprising a reaction intermediate of the catalyst and the polyamine after the concentration of the reaction intermediate in the reaction mixture becomes 0.001 mol or more based upon 1 mol of the polyamine.
摘要翻译：目的：一种制备氨基组合物的方法，其可用作环氧树脂的固化剂或用作聚氨酯树脂的扩链剂，并且具有稳定的性质。构成：氨基组合物的制造方法是在强碱性催化剂的存在下，通过多胺与含烯基的化合物的加成反应进行的，具体而言，该方法包括以下步骤：进行多胺的预反应与强碱性催化剂反应获得反应混合物，并向所得反应混合物中加入含烯基的化合物进行加成反应。在基于1摩尔多胺的反应混合物中的反应中间体的浓度变为0.001摩尔以上之后，将含烯基的化合物加入到包含催化剂和多胺的反应中间体的反应混合物中。

53. 发明授权

KR100461930B1 신규한 에스테르 화합물, 고분자 화합물, 레지스트 재료및 패턴 형성 방법 有权
公开(公告)号：KR100461930B1
公开(公告)日：2004-12-17
申请号：KR1020000008963
申请日：2000-02-24
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 긴쇼,다께시 , 니시,쯔네히로 , 구리하라,히데시 , 나까시마,무쯔오 , 하세가와,고지 , 와따나베,다께루
IPC分类号： C07C69/00
CPC分类号： G03F7/039 , C07C69/753 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F32/08 , G03F7/0045 , Y02P20/55
摘要： 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 에스테르 화합물 및 그의 거울상 이성체에 관한 것이다. 본 발명의 에스테르 화합물로부터 얻어지는 고분자 화합물을 베이스 수지로한 레지스트 재료는 고에너지선에 감응하고, 감도, 해상성, 에칭 내성이 우수하기 때문에 전자선 및 원자외선에 의한 미세 가공에 유용하며, 특히 ArF 엑시머 레이저, KrF 엑시머 레이저의 노광 파장에서의 흡수가 작기 때문에 미세하고 기판에 대하여 수직인 패턴을 용이하게 형성할 수 있다.

상기 식에서, R
1 은 H, CH
3 또는 CH
2 CO
2 R
14 이고, R
2 는 H, CH
3 또는 CO
2 R
14 이며, R
3 은 C
1 내지 C
8 의 알킬기 또는 C
6 내지 C
20 의 치환될 수도 있는 아릴기이고, R
4 내지R
13 은 H 또는 헤테로 원자를 포함할 수도 있는 C
1 내지 C
15 의 1가 탄화수소기를 나타내며, 서로 환을 형성할 수도 있으며, R
4 내지 R
13 은 인접하는 탄소에 결합하는 것끼리 아무 것도 개재하지 않고 결합하여 이중 결합을 형성할 수도 있고, R
14 는 C
1 내지 C
15 의 알킬기를 나타내며, k는 0 또는 1이다.

54. 发明公开

KR1020040047885A 신규한 불소 함유 중합체 및 이것을 이용한 레지스트조성물, 및 신규한 불소 함유 단량체 失效
标题翻译： 신규한불소함유중합체및이것을이용한레지스트조성물，및신규한불소함유단량체
公开(公告)号：KR1020040047885A
公开(公告)日：2004-06-05
申请号：KR1020047004896
申请日：2002-10-02
申请人： 다이킨 고교 가부시키가이샤
发明人： 아라끼,다까유끼 , 이시까와,다꾸지 , 고,명천
IPC分类号： C08F214/18
CPC分类号： C07C25/13 , C07C25/18 , C07C25/22 , C07C31/38 , C07C33/423 , C07C33/44 , C07C35/52 , C07C43/313 , C07C45/63 , C07C49/167 , C07C2601/08 , C07C2602/42 , C07F9/5407 , C07F9/5435 , C07F9/5442 , C07F9/5449 , C07F9/5456 , C07F9/591 , C08F8/00 , C08F214/18 , C08F214/186 , C08F2800/10 , C08F2800/20 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , Y02P20/55 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , C08F214/265 , C08F232/04 , C08F234/00 , C08F220/22
摘要： 본 발명은 하기 화학식 Ma로 표시되는 중합체 주쇄 중에 지방족 단환 구조를 갖는 중합체로서, 구조 단위 M1을 1 내지 99 몰％, 구조 단위 M2a를 1 내지 99 몰％, 구조 단위 N을 0 내지 98 몰％ 포함하는, 수평균 분자량이 500 내지 1000000인 불소 함유 공중합체를 제공하다. 이 불소 함유 공중합체는 우수한 건식 에칭 내성과 진공 자외 영역에서의 투명성을 갖는다.

식 중, 구조 단위 M1은 탄소수 2 또는 3의 에틸렌성 단량체로서, 1개 이상의 불소 원자를 갖는 단량체로부터 유래하는 구조 단위이고, 구조 단위 M2a는 하기 화학식 a로 표시되는 주쇄 중에 지방족 단환 구조를 형성하는 1종 이상의 구조 단위이며, 구조 단위 N은 구조 단위 M1, M2a와 공중합 가능한 단량체로부터 유래하는 구조 단위이다.

식 중, R
1 은 탄화수소기 또는 불소 함유 알킬기로 치환될 수도 있는 환을 형성하는 탄소수 1 내지 8의 2가 탄화수소기, 탄화수소기 또는 불소 함유 알킬기로치환될 수도 있는 환을 형성하는 탄소수와 산소수의 합계가 2 내지 8인 에테르 결합을 갖는 2가 탄화수소기로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 탄화수소기이고, R
2 는 환을 형성하는 탄소수가 1 내지 3인 알킬렌기이며, R
3 및 R
4 는 동일하거나 또는 상이하며, 모두 탄소수가 1 또는 2인 2가 알킬렌기이고, n1, n2, n3은 동일하거나 또는 상이하며 모두 0 또는 1이다.
摘要翻译：本发明提供一种聚合物主链中具有脂肪族单环结构的含氟共聚物，其数均分子量为500〜1,000,000，由式（Ma）表示： - （M1） - （M2a） - （ N） - 其中结构单元M1是衍生自具有2或3个碳原子和至少一个氟原子的烯基单体的结构单元，结构单元M2a是至少一个在聚合物中引入脂族单环结构的结构单元主链，并由式（a）表示：＆lt; CHEM＆gt; 其中R 1是氢。是选自具有1至8个碳原子的二价烃基并且构成可以进一步被烃基或含氟烷基和具有醚键的二价烃基取代的环的烃基中的至少一种烃基其中碳原子和氧原子之和为2至8的烷基构成环并可以进一步被烃基或含氟烷基取代; 为r 2 - ; 是具有1至3个碳原子并构成环的亚烷基; R＆LT 3的密度; 和R 4。相同或不同，且各自为具有1或2个碳原子并构成环的二价亚烷基; n1，n2和n3相同或不同，并且各自为0或1，结构单元N为衍生自可与引入结构单元M1和M2a的单体共聚的单体的结构单元，并且结构单元M1，M2a和 N的含量分别为1-99摩尔％，1-99摩尔％和0-98摩尔％。含氟聚合物在真空紫外区具有优异的耐干蚀性和透明性。＆lt;图像＆GT;

55. 发明公开

KR1020040025879A ＡＢＣＡ-1 상승 화합물 失效
公开(公告)号：KR1020040025879A
公开(公告)日：2004-03-26
申请号：KR1020037007637
申请日：2001-12-06
申请人： 씨브이 쎄러퓨틱스, 인코포레이티드
发明人： 캠벨마이클 , 이브라힘프라바엔 , 자블록키제프에이 , 런리차드
IPC分类号： A61K31/357 , A61P9/00
CPC分类号： C07D319/08 , A61K31/53 , A61K45/06 , C07C237/06 , C07C237/22 , C07C237/40 , C07C275/26 , C07C311/20 , C07C323/36 , C07C323/40 , C07C323/60 , C07C327/42 , C07C327/48 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2602/10 , C07C2602/40 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D251/16 , C07D251/52 , C07D409/12 , A61K2300/00
摘要： 본 발명은 ABCA-1 유전자의 세포성 발현을 증가시켜, 세포로부터 콜레스테롤 유출을 촉진시키고, 포유동물, 특히 인간의 혈장에서 HDL 수준을 증가시키는 화합물을 제공한다. 화합물은 관상동맥 질환의 치료에 유용하다.

56. 发明公开

KR1020040017284A 불소 함유 노르보르넨 유도체의 제조 방법 有权
标题翻译： 불소함유노르보르넨유도체의제조방법
公开(公告)号：KR1020040017284A
公开(公告)日：2004-02-26
申请号：KR1020047000288
申请日：2002-07-12
申请人： 다이킨 고교 가부시키가이샤
发明人： 아라끼,다까유끼 , 이시까와,다꾸지 , 구메,다꾸지 , 야마모또,아끼노리
IPC分类号： C07C45/68 , C07C29/64
CPC分类号： G03F7/0395 , C07C33/44 , C07C43/313 , C07C45/45 , C07C49/567 , C07C61/28 , C07C69/96 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , G03F7/0046 , G03F7/0382
摘要： 본 발명은 투명성이 우수하고, 건식 에칭 내성이 개선되어 있으며, F
2 레이저용인 화학 증폭형 포토레지스트용 재료로서, 노르보르넨 골격에 직접 불소 함유 케톤 부위 또는 불소 함유 3급 알코올 부위가 결합된 신규 노르보르넨 유도체, 그것을 공중합 단량체로 하여 얻어지는 불소 함유 중합체, 이 불소 함유 중합체와 광산발생제 및 용제를 포함하는 화학 증폭형 포토레지스트 조성물을 제공한다.
摘要翻译：提供了一种新型降冰片烯衍生物，它是用于F2激光器的化学放大型光致抗蚀剂的材料，具有优异的透明性和改进的干蚀刻电阻率，并具有直接键合到降冰片烯主链上的含氟酮单元或含氟叔醇单元 ; 通过使用降冰片烯衍生物作为可共聚单体获得的含氟聚合物; 以及包含该含氟聚合物，光酸产生剂和溶剂的化学放大型光致抗蚀剂组合物。

57. 发明公开

KR1020030023462A 산발생제, 술폰산, 술폰산 유도체 및 감방사선성 수지조성물 有权
标题翻译：酸发生器，磺酸衍生物和辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：KR1020030023462A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：KR1020020036602
申请日：2002-06-28
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 에바따,사또시 , 요네다,에이지 , 나가이,도모끼 , 도네리,다쯔야 , 왕,용 , 이와사와,하루오 , 니시무라,유끼오
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： C07C309/23 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C07D333/46 , C07D333/78 , C07D335/02 , C07D347/00 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , Y10S430/114 , Y10S430/115
摘要： PURPOSE: Provided are an acid generator suitable for use in a radiation-sensitive resin composition which is used as a chemically amplified resist for microfabrication utilizing various types of radiation, a sulfonic acid derivative, and a radiation sensitive resin composition. CONSTITUTION: The acid generator has a structure of the following formula 1(wherein R is a monovalent organic group with a fluorine content of 50 wt % or less, a nitro group, a cyano group, or a hydrogen atom, and Z1 and Z2 individually represent a fluorine atom or a linear or branched perfluoroalkyl group having 1-10 carbon atoms). The radiation-sensitive resin composition comprises (A) the acid generator and (B) an alkali soluble or alkali low soluble resin comprising an acid-cleavable group that becomes soluble in alkali when the acid-cleavable group dissociates.
摘要翻译：目的：提供一种适用于辐射敏感性树脂组合物的酸发生剂，其用作利用各种类型的辐射，磺酸衍生物和辐射敏感性树脂组合物的微加工的化学放大抗蚀剂。构成：酸产生剂具有下式1的结构（其中R为氟含量为50重量％以下的一价有机基团，硝基，氰基或氢原子，Z1和Z2分别为表示氟原子或具有1-10个碳原子的直链或支链全氟烷基）。辐射敏感性树脂组合物包含（A）酸产生剂和（B）碱溶性或碱性低可溶性树脂，其包含当酸可裂解基团解离时变得可溶于碱的酸可裂解基团。

58. 发明公开

KR1020030007768A 치료제 및 진단제로서 새로운 폴리아민 유사체 失效
标题翻译：请注意，请确保您的设备符合您的要求
公开(公告)号：KR1020030007768A
公开(公告)日：2003-01-23
申请号：KR1020027016255
申请日：2001-05-31
申请人： 메디퀘스트 세라퓨틱스 아이엔씨
发明人： 크리스틴,엘.오데이 , 헤더,케이.웹 , 마크,알.번스 , 도날드,이.벅스트롬 , 니콜라스,엠.,제이.버머린
IPC分类号： C07C311/00
CPC分类号： C07D213/82 , A61K47/50 , C07C211/13 , C07C211/52 , C07C211/54 , C07C233/36 , C07C233/39 , C07C233/40 , C07C233/62 , C07C233/78 , C07C235/20 , C07C235/34 , C07C235/50 , C07C235/74 , C07C237/10 , C07C237/20 , C07C237/22 , C07C237/42 , C07C239/16 , C07C271/20 , C07C271/22 , C07C275/28 , C07C275/40 , C07C279/14 , C07C311/05 , C07C311/06 , C07C311/10 , C07C311/18 , C07C311/19 , C07C311/24 , C07C311/29 , C07C311/41 , C07C311/42 , C07C323/60 , C07C327/42 , C07C2601/02 , C07C2601/14 , C07C2601/16 , C07C2602/42 , C07C2603/24 , C07C2603/26 , C07C2603/40 , C07C2603/42 , C07C2603/50 , C07C2603/74 , C07D207/16 , C07D209/20 , C07D209/22 , C07D213/81 , C07D215/36 , C07D215/52 , C07D219/04 , C07D231/14 , C07D233/84 , C07D261/18 , C07D285/14 , C07D285/22 , C07D307/68 , C07D307/91 , C07D333/24 , C07D333/34 , C07D333/38 , C07D401/04 , C07D409/04 , C07D409/12 , C07D417/04 , C07F9/645 , G01N33/5308
摘要： 새로운 폴리아민 운반의 "비스폴리아민" 억제 화합물이 개시된다. 이러한 화합물은 폴리아민 운반 또는 다른 폴리아민 결합 단백질을 억제하는 것이 필요한 질병을 치료하기 위한 유용한 약제로서, 예를 들어 암 또는 후기-안지오플라스티 상해를 치료하는데 유용하다. 이러한 화합물은 진단적 또는 조사 연구 분석 및 치료의 양쪽 모두를 위하여 필요한 활성을 나타낸다.
摘要翻译：新型“双多元胺” 公开了多胺转运的抑制剂化合物。这些化合物是用于治疗期望抑制多胺转运或其他多胺结合蛋白例如癌症和血管成形术后损伤的疾病的有用的药剂。这些化合物对于诊断和研究测定以及治疗都显示出期望的活性。

59. 发明公开

KR1020020062164A 에테르 화합물, 고분자 화합물, 레지스트 재료 및 패턴형성 방법 有权
标题翻译：醚化合物，聚合物化合物，耐腐蚀材料和图案形成方法
公开(公告)号：KR1020020062164A
公开(公告)日：2002-07-25
申请号：KR1020020002451
申请日：2002-01-16
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 다찌바나,세이이찌로 , 나까시마,므쯔오 , 니시,쯔네히로
IPC分类号： G03F7/027 , G03F7/004
CPC分类号： C07C69/14 , C07C43/1781 , C07C69/007 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C08F232/08
摘要： PURPOSE: An ether compound, a polymer compound, a resist material containing the polymer compound and a method for forming pattern using the resist material are provided, to improve sensitivity, resolution and etching resistance of the resist material. CONSTITUTION: The ether compound is represented by the formula 1. The polymer compound contains the repeating unit represented by the formula 1-1 or 1-2, and has a mass average molecular weight of 1,000-500,000. In the formulas 1, 1-1 and 1-2, R1 is H or a straight, branched or cyclic alkyl group of C1-C6; R2 is a straight, branched or cyclic alkyl group of C1-C6; R3 is H, an acyl group of C1-C15 or an alkoxycarbonyl group, wherein some or all hydrogens of the groups can be substituted with halogens; k is 0 or 1; m is an integer of 0-3; and n is an integer of 3-6.
摘要翻译：目的：提供醚化合物，高分子化合物，含有高分子化合物的抗蚀剂材料和使用抗蚀剂材料形成图案的方法，以提高抗蚀剂材料的灵敏度，分辨率和抗蚀刻性。构成：醚化合物由式1表示。高分子化合物含有由式1-1或1-2表示的重复单元，其质均分子量为1,000-500,000。在式1,1-1和1-2中，R 1是H或C 1 -C 6的直链，支链或环状烷基; R2是C1-C6的直链，支链或环状烷基; R3是H，C1-C15的酰基或烷氧基羰基，其中基团的一些或全部氢可以被卤素取代; k为0或1; m为0-3的整数; n为3-6的整数。

60. 发明公开

KR1020010081853A 2-알킬-2-아다만틸 5-노르보르넨-2-카르복실레이트 및 그제조방법 无效
标题翻译： 2-烷基-2-亚胺基5-异壬烯-2-羧酸酯及其制备方法
公开(公告)号：KR1020010081853A
公开(公告)日：2001-08-29
申请号：KR1020000008034
申请日：2000-02-19
申请人： 주식회사 켐써치
发明人： 정현진
IPC分类号： C07C61/135
CPC分类号： C07C69/753 , C07C67/14 , C07C67/347 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07C69/54
摘要： PURPOSE: A novel norbornene carboxylate compound, specifically, 2-alkyl-2-adamantyl 5-norbornene-2-carboxylate, is provided to improve productivity and applicability of the compound in a large scale using much easier process. CONSTITUTION: A method for manufacturing 2-alkyl-2-adamantyl 5-norbornene-2-carboxylate (Chemical Formula) is comprised the steps of: synthesizing 2-alkyl-2-adamantanol by having 2-adamantanone to be reacted with alkyl grignard indicator or alkyl lithium indicator to provide an alkyl functional group to the second position of the object compound; synthesizing 2-alkyl-2-adamantyl acrylate by having 2-alkyl-2-adamantanol to be reacted with acryloyl chloride obtained; and carrying out Diels-Alder reaction using 2-alkyl-2-adamantyl acrylate and cyclopentadiene.
摘要翻译：目的：提供一种新型降冰片烯羧酸酯化合物，特别是2-烷基-2-金刚烷基5-降冰片烯-2-羧酸酯，以便使用更容易的方法大规模提高化合物的生产率和适用性。构成：制备2-烷基-2-金刚烷基5-降冰片烯-2-羧酸酯（化学式）的方法包括以下步骤：通过使2-金刚烷酮与烷基格氏指示剂反应合成2-烷基-2-金刚烷醇或烷基锂指示剂，以提供目标化合物的第二位置的烷基官能团; 通过使2-烷基-2-金刚烷与得到的丙烯酰氯反应合成2-烷基-2-金刚烷基丙烯酸酯; 并使用2-烷基-2-金刚烷基丙烯酸酯和环戊二烯进行Diels-Alder反应。

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