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热词
    • 53. 发明公开
    • 직접 메모리 액세스 컨트롤러 및 직접 메모리 액세스 컨트롤러의 동작 방법
    • 直接存储器访问控制器及其操作方法
    • KR1020110062555A
    • 2011-06-10
    • KR1020090119317
    • 2009-12-03
    • 삼성전자주식회사
    • 권기석박재언김석진
    • G06F13/16G06F11/08G06F12/00
    • G06F13/28G11C15/00
    • PURPOSE: A DMA controller and operation method thereof are provided to shorten a total operation time of a system which needs search of the specific pattern by providing a function of specific pattern form a data during DMA transmission. CONSTITUTION: A pattern register(250) stores a pattern value. A pattern detector(260) compares data and the same pattern value transmitted through a DMA(Direct Memory Access) controller. If data coinciding with the pattern value is detected, the pattern detecting unit generates a detection signal. An address register(270) stores address of data coinciding with the pattern value to the detection signal. The operation of the DMA operation and a pattern detection unit is performed.
    • 目的:提供DMA控制器及其操作方法,通过在DMA传输期间提供数据形式的特定模式的功能来缩短需要搜索特定模式的系统的总操作时间。 构成:模式寄存器(250)存储模式值。 模式检测器(260)比较通过DMA(直接存储器访问)控制器传输的数据和相同的模式值。 如果检测到与图案值一致的数据,则图案检测单元产生检测信号。 地址寄存器(270)将与模式值一致的数据的地址存储到检测信号。 执行DMA操作和图案检测单元。
    • 55. 发明授权
    • 원자층 증착 기술을 이용한 금속 실리케이트막 형성 방법
    • 使用原子层沉积技术制造金属硅酸盐层的方法
    • KR100689824B1
    • 2007-03-08
    • KR1020040099511
    • 2004-11-30
    • 삼성전자주식회사
    • 김윤석김종표임하진이종호박재언정형석양종호
    • H01L21/205
    • 원자층 증착 기술을 이용한 금속 실리케이트막 형성 방법들을 제공한다. 이 방법들은 금속 실리케이트막 형성 사이클을 적어도 1회 실시하여 원하는 두께의 상기 금속 실리케이트막을 형성한다. 상기 금속 실리케이트막 형성 사이클은 금속 산화막 형성 사이클을 K회 반복하는 단계 및 실리콘산화막 형성 사이클을 Q회 반복하는 단계를 구비한다. 상기 K 및 상기 Q 중 선택된 하나는 2 이상 10 이하의 정수이고, 상기 K 및 상기 Q 중 다른 하나는 1 이상 10 이하의 정수이다. 상기 금속 산화막 형성 사이클은 금속 원료 가스를 주입하고, 반응기 내에 잔류하는 상기 금속 원료 가스를 배출하여 상기 반응기 내부를 정화하고, 상기 반응기에 산화 가스를 주입하고, 상기 반응기 내부를 정화하는 단계를 구비한다. 상기 실리콘산화막 형성 사이클은 실리콘 원료 가스를 주입하고, 반응기 내에 잔류하는 상기 실리콘 원료 가스를 배출하여 상기 반응기 내부를 정화하고, 상기 반응기에 산화 가스를 주입하고, 상기 반응기 내부를 정화하는 단계를 구비한다.
    • 56. 发明授权
    • 반도체 소자의 제조방법
    • 制造半导体器件的方法
    • KR100598051B1
    • 2006-07-10
    • KR1020050011457
    • 2005-02-07
    • 삼성전자주식회사
    • 정형석이종호박재언한성기김민주
    • H01L21/335
    • 고유전막과 반응하지 않고 전극을 패터닝할 때 기판에 손상을 주지 않는 반도체 소자의 제조 방법이 제공된다. 반도체 소자의 제조 방법은 기판 상에 고유전막 및 도전막을 형성하는 단계와, 도전막의 일부를 건식 식각하는 단계와, 도전막 중 미식각된 영역에 플라즈마 처리 또는 이온 주입을 하는 단계와, 플라즈마 처리 또는 이온 주입된 미식각된 영역을 습식 식각하여 고유전막을 노출시키는 도전막 패턴을 완성하는 단계를 포함한다.
      고유전막, 전극, 패터닝, 비정질
    • 提供了一种制造半导体器件的方法,该方法在电极被图案化而不与高介电常数膜反应时不会损坏衬底。 和用于制造半导体器件的方法,包括:在一个特定的导体膜的等离子体处理或离子注入,并且形成导电膜和导电膜一部分的干蚀刻步骤,导电膜的未蚀刻区域在所述衬底上,等离子体处理的,或 并且湿法蚀刻离子注入的辉光角区域以完成暴露高k膜的导电膜图案。
    • 59. 发明授权
    • LDD 구조를 가지는 반도체 소자 제조 방법
    • 制造具有轻掺杂漏极结构的CMOS晶体管的方法
    • KR100505676B1
    • 2005-08-03
    • KR1020030014779
    • 2003-03-10
    • 삼성전자주식회사
    • 박재언추강수이주원양종호
    • H01L21/8238
    • H01L21/823814
    • 포토리소그래피 공정에 의한 마스크 패터닝 횟수가 감소된 LDD 구조를 가지는 반도체 소자 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 반도체 소자 제조 방법에서는 반도체 기판에 LDD 영역을 형성하기 위하여 게이트 전극의 측벽이 노출된 상태에서 게이트 전극을 마스크로 하여 반도체 기판에 저농도의 불순물 이온을 주입한다. 소스/드레인 영역을 형성하기 위하여 게이트 전극의 상면 및 측벽과 반도체 기판의 상면을 각각 균일한 두께로 덮는 희생 마스킹층을 마스크로 하여 상기 반도체 기판에 고농도의 불순물 이온을 주입한다. 고농도의 불순물 이온 주입 단계는 저농도의 불순물 이온 주입 단계 전 또는 그 후에 행할 수 있다. CMOS 트랜지스터를 제조하는 데 있어서 n채널 트랜지스터 영역 및 p채널 트랜지스터 영역에서 각각 소스/드레인 영역을 형성을 위한 고농도 불순물 이온주입 마스크로서 별도의 마스크 패턴을 형성하지 않으므로 마스크 패터닝 횟수가 줄어들어 공정 단가를 낮출 수 있다.