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    • 53. 发明公开
    • 그라핀 나노 필터 망, 그라핀 나노 필터 및 그 제조방법
    • 石墨纳米过滤器,石墨纳米过滤器和制造方法
    • KR1020120022164A
    • 2012-03-12
    • KR1020100085402
    • 2010-09-01
    • 연세대학교 산학협력단
    • 전성찬윤형서조준형황석주김환균정영모
    • B01D39/20B01D69/00B01D67/00B01D71/00
    • B01D39/2055B01D2239/10C01B32/186C01B32/19
    • PURPOSE: A graphene nano-filter net, a graphene nano-filter, and a method for manufacturing the same are provided to improve the reliability of filtering performance by cutting the connections of carbon atoms in graphene and forming pores. CONSTITUTION: A graphene nano-filter net(110) includes graphene(111) and pores(112). The graphene is formed into hexagonal grid structure. The size of the structure is 0.1nm or more to 0.2nm or less. The pores are generated by etching a part of the graphene. The sizes of the pores are 1nm or more to 100nm or less. A graphene nano-filter includes the graphene nano-filter net, a graphene frame, and a filter channel. The graphene frame fixes the graphene nano-filter net into a pre-set form. The filter channel forms inner flow path. The width of the inner flow path is 1um or more to 10cm or less. The graphene frame and the filter channel are based on polymeric materials such as polydimethylsiloxane.
    • 目的:提供石墨烯纳滤器网,石墨烯纳米过滤器及其制造方法,以通过切割石墨烯中碳原子的连接并形成孔来提高过滤性能的可靠性。 构成:石墨烯纳滤网(110)包括石墨烯(111)和孔(112)。 石墨烯形成六边形网格结构。 结构的尺寸为0.1nm以上至0.2nm以下。 通过蚀刻石墨烯的一部分来产生孔。 孔的尺寸为1nm以上至100nm以下。 石墨烯纳米过滤器包括石墨烯纳滤器网,石墨烯框架和过滤器通道。 石墨烯框架将石墨烯纳滤器网络固定成预设形式。 过滤通道形成内流路。 内流路的宽度为1um以上10cm以下。 石墨烯框架和过滤器通道基于聚合材料如聚二甲基硅氧烷。
    • 54. 发明公开
    • 나노공진기 제조방법
    • 纳米谐振器及其制作方法
    • KR1020110105584A
    • 2011-09-27
    • KR1020100024800
    • 2010-03-19
    • 연세대학교 산학협력단
    • 전성찬조준형정영모김환균황석주
    • H01P7/00H01P7/08
    • H01P7/08H01P7/065H01P11/008
    • 본 발명은 나노공진기 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 나노공진기는 베이스가 되는 실리콘기판(10); 상기 실리콘기판(10) 상면에 증착되는 희생층(20); 상기 희생층(20) 상면에 증착되는 공진부(30); 및 상기 공진부(30) 상면에 증착되는 금속층(40)을 포함하여 구성되고, 그 제조방법은 실리콘기판(10) 상면에 희생층(20)을 증착시키는 단계; 상기 희생층(20) 상면에 공진층(35)을 증착시키는 단계; 상기 공진층(35) 상면에 포토레지스트(37)를 도포하는 단계; 상기 포토레지스트(37) 상에서 공진부(30) 형상의 마스크(39)를 통해 리소그래피 방식으로 노광을 실시하여 공진부(30) 형상을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝 된 포토레지스트(37)를 현상하여 공진부(30) 형상이 드러나도록 하는 단계; 상기 공진부(30) 형상에 금속층(40)을 증착하는 단계; 상기 금속층(40)이 층착된 공진부(30) 형상을 갖도록 포토레지스트(37)를 완전히 제거하는 단계; 및 상기 금속층(40), 공진부(30) 및 희생층(20)에 대해 식각을 수행하는 단계를 포함하여 구성된다. 따라서, 공진기 구동시 에너지 손실을 최소화함은 물론 공진기의 작동 효율 및 공진기 주파수 특성의 안정성을 증가시킬 수 있도록 하는 등의 효과를 얻는다.