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51. 发明公开

KR1020110047693A 평판표시장치의 유리기판용 세정제 조성물 有权
标题翻译：用于平板显示装置的玻璃基板的洗涤组合物
公开(公告)号：KR1020110047693A
公开(公告)日：2011-05-09
申请号：KR1020090104416
申请日：2009-10-30
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 윤효중 , 김성식 , 고경준
IPC分类号： C11D1/68
CPC分类号： C11D1/72 , C11D3/044 , C11D3/2065 , C11D11/0035 , C11D1/00
摘要： PURPOSE: A detergent composition is provided to ensure excellent removal power for organic contaminants and particles on the surface of a glass substrate and to avoid the residue after rinsing. CONSTITUTION: A detergent composition for a glass substrate of a flat panel display device includes, based on the total weight of the composition, 0.01-5 weight% of non-ionic surfactants in which alkylene oxide is added to terphene-based oil represented by chemical formula 1, 0.1-5 weight% of polyhydric alcohol-based compound, 0.05-5 weight% of alkali metal hydroxide, and the remaining amount of water. The pH of the detergent composition is 12-14. In chemical formula 1, AO is an oxyethylene group, oxypropylene group, or polyoxyethylene·polyoxypropylene block copolymer; and n is 1-40.
摘要翻译：目的：提供洗涤剂组合物以确保玻璃基材表面上有机污染物和颗粒的优异去除力，并避免漂洗后的残留物。构成：平板显示装置的玻璃基板用洗涤剂组合物，以组合物的总重量为基准，含有0.01-5重量％的非离子表面活性剂，其中环氧烷被加入化学物质所代表的噻吩类油中式1，0.1-5重量％的多元醇类化合物，0.05-5重量％碱金属氢氧化物和剩余量的水。洗涤剂组合物的pH为12-14。在化学式1中，AO是氧化乙烯基，氧化丙烯基或聚氧乙烯·聚氧丙烯嵌段共聚物; n为1-40。

52. 发明授权

KR102213779B1 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 레지스트의 박리방법 有权
公开(公告)号：KR102213779B1
公开(公告)日：2021-02-08
申请号：KR1020140111528
申请日：2014-08-26
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 최한영 , 고경준 , 김성식 , 백성호
IPC分类号： G03F7/42 , H01L21/02
摘要： 본발명은조성물총 중량에대하여, 화학식 1로표시되는아미드화합물 5~50 중량%, 화학식 2로표시되는글리콜아민 0.5~2미만중량%, 및화학식 3으로표시되는글리콜에테르잔량을포함하는레지스트박리액조성물및 이를이용한레지스트의박리방법을제공한다.

53. 发明公开

KR1020210012018A 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 레지스트의 박리방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210012018A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：KR1020210006756
申请日：2021-01-18
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 최한영 , 고경준 , 최선미 , 김병묵
IPC分类号： G03F7/42 , H01L21/02
摘要： 본발명은화학식 2로표시되는아미드화합물, 화학식 3으로표시되는글리콜아민, 및화학식 4로표시되는글리콜에테르를포함하는레지스트박리액조성물및 이를이용한레지스트의박리방법을제공한다.

54. 发明授权

KR102092922B1 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 레지스트의 박리방법 有权
公开(公告)号：KR102092922B1
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：KR1020140033222
申请日：2014-03-21
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 고경준 , 김정현 , 이유진
IPC分类号： G03F7/42 , H01L21/311 , G03F7/004

55. 发明授权

KR102009533B1 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102009533B1
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：KR1020130107257
申请日：2013-09-06
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 김성식 , 고경준 , 신혜라
IPC分类号： G03F7/42 , G03F7/027 , G03F7/09 , G03F7/11 , C07D215/56 , C07D405/12

56. 发明授权

KR101880303B1 포토레지스트 박리액 조성물 有权
公开(公告)号：KR101880303B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020110114677
申请日：2011-11-04
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 이유진 , 고경준 , 김성식
IPC分类号： G03F7/42 , G03F7/039 , C07D413/04 , C07D213/643
摘要： 본발명은플랫패널디스플레이기판의제조공정에있어서패턴형성시 건식/습식식각에의한레지스트의잔사제거능력이우수한레지스트박리액조성물에관한것이다.

57. 发明公开

KR1020160108109A 레지스트 박리액 조성물 审中-实审
标题翻译：耐腐蚀组合物
公开(公告)号：KR1020160108109A
公开(公告)日：2016-09-19
申请号：KR1020150131245
申请日：2015-09-16
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 이유진 , 고경준 , 김성식 , 김정현 , 최한영
IPC分类号： G03F7/42
摘要： 본발명은 (a) 화학식 1로표시되는 2차아민; (b) 비양자성유기용매화합물; 및 (c) 1차알코올화합물을포함하는레지스트박리액조성물에대한것이다.
摘要翻译：本发明涉及抗剥离液体组合物，其改善了剥离性能降低的问题。抗蚀剂剥离的液体组合物包含：（a）由化学式1表示的仲胺; （b）非质子有机溶剂化合物; 和（c）伯醇化合物。

58. 发明公开

KR1020160030835A 레지스트 박리액 조성물 审中-实审
标题翻译：耐腐蚀组合物
公开(公告)号：KR1020160030835A
公开(公告)日：2016-03-21
申请号：KR1020150095668
申请日：2015-07-06
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 이유진 , 고경준 , 김정현 , 김성식
IPC分类号： G03F7/42 , H01L21/311
摘要： 본발명은레지스트박리액조성물에관한것으로, 더욱상세하게는박리공정에서금속배선의부식을최소화하고, 레지스트제거능이뛰어나며, 기판의얼룩생성을방지하는레지스트박리액조성물및 이를이용한레지스트박리방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及抗蚀剂剥离剂组合物。更具体地说，本发明涉及一种抗剥离剂组合物，其使剥离过程中金属丝的腐蚀最小化，具有优异的抗蚀剂除去能力，并且防止在基材上形成污渍。本发明涉及一种剥离使用其的抗蚀剂的方法。为此，抗蚀剂剥离剂组合物包括：由化学式1表示的二醇醚化合物（A）; 由化学式2表示的化合物（B）碱类化合物（C）; 伯醇（D）; 和极性非质子溶剂（E）。

59. 发明公开

KR1020150109833A 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 레지스트의 박리방법 审中-实审
标题翻译：耐腐蚀剥离剂组合物和使用它的剥离材料的方法
公开(公告)号：KR1020150109833A
公开(公告)日：2015-10-02
申请号：KR1020140033222
申请日：2014-03-21
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 고경준 , 김정현 , 이유진
IPC分类号： G03F7/42
CPC分类号： G03F7/425 , G03F7/0041 , G03F7/422 , G03F7/423 , H01L21/31133
摘要： 본발명은옥사졸리딘-5-일메탄아민(oxazolidin-5-ylmethanamine)을포함하는레지스트박리액조성물에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及包含恶唑烷-5-基甲胺的抗蚀剂剥离剂组合物。

60. 发明公开

KR1020150052942A 레지스트 박리액 조성물 审中-实审
标题翻译：耐腐蚀组合物
公开(公告)号：KR1020150052942A
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130134490
申请日：2013-11-07
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 고경준 , 김정현 , 이유진
IPC分类号： G03F7/42 , G03F7/34 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/425 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/422
摘要： 본발명은레지스트박리액조성물에관한것으로, 보다상세하게는화학식 1의화합물및 알칼리화합물을포함함으로써, 휘발성이낮아, 박리공정중 박리액이휘발되어사라지는양을현저히줄일수 있으며, 레지스트고분자에대한박리력및 용해력이매우우수한레지스트박리액조성물에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物，更具体地说，涉及一种抗挥发物组合物，其具有低挥发性并且可以显着降低汽提塔在汽提过程中挥发和消失的量，并且具有优异的汽提功率和抗分解能力通过包含化学式1的化合物和碱性化合物的聚合物。

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