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41. 发明公开

KR1020110032172A 바이오 센서 및 그의 구동 방법 失效
标题翻译：生物传感器及其驱动方法
公开(公告)号：KR1020110032172A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：KR1020090089537
申请日：2009-09-22
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 박찬우 , 안창근 , 아칠성 , 김태엽 , 김안순 , 양종헌 , 성건용
IPC分类号： G01N27/416 , G01N27/414 , G01N33/48
CPC分类号： G01N27/4145
摘要： PURPOSE: A biosensor and a driving method thereof are provided to remarkably improve sensitivity and reaction velocity by forming a probe molecule on a reference electrode. CONSTITUTION: A biosensor comprises a transistor, a fluid pipe(250), a reference electrode(260), and a probe molecular layer(320). The transistor has a substrate(200), a gate insulator film(217), and a source/drain electrode(215). The substrate has a channel formed in a source, a drain, and a gap between the source and the drain. The gate insulator film is formed on the channel. The source/drain electrode is connected to the source and the drain. The fluid pipe covers the transistor and moves a sample solution with target molecules. The reference electrode is formed in the inner wall of the fluid pipe. The probe molecule layer is attached on the top of the reference electrode and reacts with the target molecules.
摘要翻译：目的：提供生物传感器及其驱动方法，通过在参比电极上形成探针分子来显着提高灵敏度和反应速度。构成：生物传感器包括晶体管，流体管（250），参比电极（260）和探针分子层（320）。晶体管具有基板（200），栅极绝缘膜（217）和源极/漏极（215）。衬底具有形成在源极，漏极和源极和漏极之间的间隙的沟道。栅极绝缘膜形成在沟道上。源极/漏极连接到源极和漏极。流体管覆盖晶体管并移动具有目标分子的样品溶液。参考电极形成在流体管的内壁中。探针分子层附着在参比电极的顶部并与目标分子反应。

42. 发明公开

KR1020090128610A 복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：具有多种金属板的生物分子传感器及其生产方法
公开(公告)号：KR1020090128610A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：KR1020080054438
申请日：2008-06-11
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김용협 , 박영준 , 고정우 , 강태준 , 김석향 , 임재흥
IPC分类号： G01N27/26 , G01N27/30
CPC分类号： B82Y15/00 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , Y10S977/957
摘要： PURPOSE: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity and detection sensitivity. CONSTITUTION: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates comprises a substrate(110), a first electrode(120), a second electrode(130), a nanostructure(140), and a metal plate(150). The first electrode and the second electrode are apart from each other and are arranged on the substrate. The nanostructure is arranged on the substrate. The nanostructure connects the first electrode and the second electrode. The metal plate diversifies the electrical characteristic of a plurality of nanostructures according to the attachment of the bio molecular. The nanostructure comprises a carbon nanotube. The metal plate comprises gold.
摘要翻译：目的：提供具有多个金属板的生物分子传感器及其制造方法，以提高生产率和检测灵敏度。构成：具有多个金属板的生物分子传感器包括基底（110），第一电极（120），第二电极（130），纳米结构（140）和金属板（150）。第一电极和第二电极彼此分开并且布置在基板上。纳米结构布置在基底上。纳米结构连接第一电极和第二电极。金属板根据生物分子的附着使多个纳米结构的电特性多样化。纳米结构包括碳纳米管。金属板包括金。

43. 发明公开

KR1020090065272A 바이오 센서 및 그 제조 방법 无效
标题翻译：生物传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090065272A
公开(公告)日：2009-06-22
申请号：KR1020070132758
申请日：2007-12-17
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김태엽 , 박래만 , 유한영 , 장문규 , 양종헌
IPC分类号： G01N33/48 , G01N23/00 , G01N23/08
CPC分类号： G01N27/4146 , G01N27/4145 , Y10S977/71 , Y10S977/742 , Y10S977/963 , G01N33/48 , G01N23/00
摘要： A biosensor is provided to lower operation current in sensing part of biomass lowering contact resistance between silicon nanowire and metal electrode. A biosensor comprises a silicon plate(200), source area(210), drain area(220), insulating layer(230) and silicon nano wire(240). The source area and drain area is arranged on the silicon plate. The insulating layer is arranged between source area and drain area. The silicon nano wire comprises defect area(241) and is arranged on the source area and drain area. A method for manufacturing the biosensor comprises: a step of preparing the silicon plate; a step of forming source area and drain area on the silicon plate; a step of arranging the silicon nano wire on the source area and drain area; and a step of irradiating electronic beam in one area of the silicon nano wire to form the defect area.
摘要翻译：提供生物传感器来降低操作电流，以感测部分生物质降低硅纳米线与金属电极之间的接触电阻。生物传感器包括硅板（200），源区（210），漏区（220），绝缘层（230）和硅纳米线（240）。源极区域和漏极区域布置在硅板上。绝缘层布置在源区和漏区之间。硅纳米线包括缺陷区（241），并且布置在源区和漏区上。制造所述生物传感器的方法包括：制备所述硅板的步骤; 在硅板上形成源区和漏区的步骤; 将硅纳米线布置在源极区域和漏极区域上的步骤; 以及在硅纳米线的一个区域中照射电子束以形成缺陷区域的步骤。

44. 发明公开

KR1020090062373A 고감도 반도체 ＦＥＴ 센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：高灵敏度FET传感器和FET传感器的制造方法
公开(公告)号：KR1020090062373A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070129581
申请日：2007-12-13
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 양종헌 , 백인복 , 안창근 , 박찬우 , 김안순 , 유한영 , 아칠성 , 김태엽 , 전명심 , 장문규
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/78
CPC分类号： G01N27/4145 , H01L29/66818 , H01L29/7853
摘要： A high sensitive sensor and a manufacturing method thereof are provided to obtain a high signal by controlling depletion and accumulation of a channel by combining a target material and a sensing material in both sides. An SOI(Silicon On Insulator) substrate is formed in an upper part of a semiconductor substrate. A mask pattern is formed by performing a lithography process in the upper part of the SOI substrate. The structure of a pin shape is formed by etching a silicon layer in the upper part of the SOI substrate. The sensor structure with a pin shaped structure is formed on the semiconductor substrate. A metal electrode is deposited by implanting the ion for electrical ohmic contact to the sensor structure. A sensing material combined in a target material is fixed in both sidewalls of the pin shaped structure. The path for penetrating the target material through the pin-shaped structure is formed on the sensor structure.
摘要翻译：提供了一种高灵敏度传感器及其制造方法，以通过在两侧组合目标材料和感测材料来控制通道的耗尽和累积来获得高信号。在半导体衬底的上部形成SOI（绝缘体上硅）衬底。通过在SOI衬底的上部进行光刻工艺来形成掩模图案。针状结构通过在SOI衬底的上部蚀刻硅层而形成。具有针状结构的传感器结构形成在半导体衬底上。通过将用于电欧姆接触的离子注入传感器结构来沉积金属电极。组合在目标材料中的感测材料固定在销形结构的两个侧壁中。在传感器结构上形成穿过针状结构穿透目标材料的路径。

45. 发明授权

KR100882554B1 생분자 동정 방법 有权
标题翻译：一种生物分子标记方法
公开(公告)号：KR100882554B1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：KR1020070113958
申请日：2007-11-08
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한정임 , 심저영 , 정원석 , 남궁각
IPC分类号： G01N33/48 , G01N27/26 , G01N27/00
CPC分类号： G01N27/4145
摘要： A method for indentifying a biomolecule is provided to indentify each DNA from one sample although various kinds of DNAs are PCR-amplified at the same time by indentifying A and B which are PCR products by utilizing transition temperature property. A biomolecule detecting apparatus having a field effect transistor(FET) is used in order to indentify a biomolecule. A method for indentifying a biomolecule comprises steps of: (a) heating a sample including the biomolecule into a biomolecule detecting apparatus in which the sample is injected; (b) measuring current flowing to a channel formed between a source region and a drain region of the field effect transistor; (c) calculating transition temperature which is temperature when current change amount is maximum from current data measured in the step (b); and (d) indentifying the biomolecule using the transition temperature.
摘要翻译：提供了用于鉴定生物分子的方法，虽然通过利用转变温度性质通过鉴定作为PCR产物的A和B同时PCR扩增各种DNA，但是从一个样品中鉴定每个DNA。使用具有场效应晶体管（FET）的生物分子检测装置，以识别生物分子。用于鉴定生物分子的方法包括以下步骤：（a）将包含生物分子的样品加热到注射样品的生物分子检测装置中; （b）测量流向形成在场效应晶体管的源极区域和漏极区域之间的沟道的电流; （c）计算当在所述步骤（b）中测量的当前数据当前变化量最大时的温度的转变温度; 和（d）使用转化温度鉴定生物分子。

46. 发明公开

KR1020080111672A 표준 전극이 포함된 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이용한생체 분자의 검출 장치 및 방법 有权
标题翻译：基于包含参考电极的场效应晶体管阵列的生物分子检测器和使用该参考电极的生物分子的检测方法
公开(公告)号：KR1020080111672A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：KR1020070059907
申请日：2007-06-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정원석 , 유규태 , 심저영 , 한정임
IPC分类号： G01N27/414 , G01N27/00
CPC分类号： B01L3/502761 , B01L2300/0645 , B01L2300/0654 , B01L2400/0415 , G01N27/4145
摘要： A device and a method for detecting biomolecules by using an FET(Field Effect Transistor) array including standard electrodes are provided to find an optimum position for detecting biomolecular samples normally by an FET-based biosensor in a space applied with external electric fields. A biomolecular liquid phase sample moves through a moving path by an element, which applies an external voltage to the moving path. An FET array contacts the liquid phase sample which moves along the moving path. At least one or more standard electrodes are able to apply a standard voltage to the FET array to move the liquid phase sample via the moving path.
摘要翻译：提供了通过使用包括标准电极的FET（场效应晶体管）阵列来检测生物分子的装置和方法，以找到通过基于FET的生物传感器在施加外部电场的空间中通常检测生物分子样品的最佳位置。生物分子液相样品通过元件移动通过移动路径，该元件向移动路径施加外部电压。 FET阵列接触沿着移动路径移动的液相样品。至少一个或多个标准电极能够将标准电压施加到FET阵列以通过移动路径移动液相样品。

47. 发明公开

KR1020080109478A 흡착 매개체를 이용하는 전계 효과 트랜지스터 기반 생분자검출 장치와 그 방법 有权
标题翻译：用于含有吸收介质的生物分子的基于场效应晶体管的检测装置和使用其的检测方法
公开(公告)号：KR1020080109478A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：KR1020070057859
申请日：2007-06-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 심저영 , 유규태 , 정원석 , 한정임
IPC分类号： G01N27/22 , G01N31/00 , H01L29/78
CPC分类号： G01N27/4145
摘要： An FET(Field Effect Transistor)-based detection device for biomolecules and a method thereof are provided to detect the biomolecules through non-covalent bonds of adsorption media without fixing or pre-processing the biomolecules. An FET-based detection device for biomolecules includes source and drain areas formed on a semiconductor substrate with a distance from each other, adsorption media having adsorption sites for biomolecules to detect on the surface thereof, standard electrodes for applying a predetermined voltage between the source or drain areas and the substrate, and an electric signal detecting element for detecting electric signals generated by the applied voltage. The adsorption media are selected from a group consisting of glass, silicon, and plastics.
摘要翻译：提供一种用于生物分子的FET（场效应晶体管）检测装置及其方法，用于通过吸附介质的非共价键检测生物分子，而不固定或预处理生物分子。用于生物分子的基于FET的检测装置包括在半导体衬底上形成的彼此间隔一定距离的源极和漏极区域，吸附介质具有用于生物分子的吸附位点以在其表面上检测用于在源极或源极之间施加预定电压的标准电极漏极区域和衬底，以及用于检测由所施加的电压产生的电信号的电信号检测元件。吸附介质选自玻璃，硅和塑料。

48. 发明公开

KR1020080067276A 유전율-변화 전계효과 트랜지스터 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：电介质调制场效应晶体管及其制造方法
公开(公告)号：KR1020080067276A
公开(公告)日：2008-07-18
申请号：KR1020070096674
申请日：2007-09-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 최양규 , 임형순 , 구본상
IPC分类号： H01L29/772 , H01L21/335
CPC分类号： G01N27/4145 , G01N27/4146 , H01L29/4908
摘要： A dielectric-modulated field effect transistor and a method for fabricating the same are provided to detect improved bio materials by increasing a degree of sensitivity to a change of electrical changes. A source(130) and a drain(140) are formed separately from each other on a substrate(110). A dielectric layer(150) including bio molecules is formed on a region between the source and the drain on the substrate. A gate is formed on the dielectric layer. The gate is composed of metal or polysilicon. In a method for fabricating a dielectric-modulated field effect transistor, a sacrificial layer is formed on the substrate. A gate layer(120) is formed on the sacrificial layer. The sacrificial layer is removed. A dielectric layer including bio particles is formed on the removed part of the sacrificial layer.
摘要翻译：提供介质调制场效应晶体管及其制造方法，通过增加对电变化的变化的灵敏度来检测改进的生物材料。源极（130）和漏极（140）在衬底（110）上彼此分开地形成。在衬底上的源极和漏极之间的区域上形成包括生物分子的电介质层（150）。在电介质层上形成栅极。门由金属或多晶硅组成。在制造介质调制场效应晶体管的方法中，在衬底上形成牺牲层。在牺牲层上形成栅极层（120）。牺牲层被去除。在牺牲层的去除部分上形成包括生物颗粒的电介质层。

49. 发明授权

KR100746863B1 전계 효과 트랜지스터 및 단일 전자 트랜지스터 그리고그것을 사용한 센서 有权
标题翻译：场效应晶体管，单电子晶体管和使用相同的传感器
公开(公告)号：KR100746863B1
公开(公告)日：2007-08-07
申请号：KR1020067004025
申请日：2004-08-27
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코
发明人： 마츠모토가즈히코 , 고지마아츠히코 , 나가오사토루 , 카토우마사노리 , 야마다유타카 , 나가이케가즈히로 , 이후쿠야스오 , 미타니히로시
IPC分类号： H01L21/335 , B82Y40/00
CPC分类号： G01N27/4145 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , G01N27/4146 , H01L29/068 , H01L29/42364 , H01L29/7613
摘要： 기판 (2) 과 기판 (2) 에 형성된 소스 전극 (4) 및 드레인 전극 (5) 과 소스 전극 (4) 및 드레인 전극 (5) 사이의 전류 통로가 되는 채널 (6) 을 구비한 전계 효과 트랜지스터 (1A) 를 가지고 검출대상물질을 검출하기 위한 센서에 있어서, 전계 효과 트랜지스터 (1A) 가 검출대상물질과 선택적으로 상호작용을 하는 특정 물질 (10) 을 고정시키기 위한 상호작용 감지 게이트 (9) 와 상호작용을 전계 효과 트랜지스터 (1A) 의 특성의 변화로서 검출하기 위해 전압이 인가되는 게이트 (7) 를 갖도록 구성함으로써, 고감도의 검출 감도가 요구되는 검출대상물질의 검출을 가능하게 하는 센서를 제공한다.
전계효과 트랜지스터, 단일 전자 트랜지스터, 센서, 분석 센서, 의료용 센서, 바이오 센서

50. 发明公开

KR1020070054021A 무기막을 구비하는 ＦＥＴ 기반 바이오 센서, 그의 제조방법 및 그를 이용한 생분자 검출 방법 失效
标题翻译：具有无机膜的基于FET的生物传感器，其制备方法以及使用基于FET的生物传感器检测生物分子的方法
公开(公告)号：KR1020070054021A
公开(公告)日：2007-05-28
申请号：KR1020050111975
申请日：2005-11-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 심저영 , 이규상 , 유창은 , 황규연 , 김영아 , 조연자 , 유규태
IPC分类号： G01N33/50 , C12Q1/68
CPC分类号： G01N33/54373 , B01J2219/00529 , B01J2219/00596 , B01J2219/00612 , B01J2219/00617 , B01J2219/00621 , B01J2219/00637 , B01J2219/00653 , B01J2219/00659 , B01J2219/00722 , G01N27/4145
摘要： 본 발명은 기판, 상기 기판의 양측에 형성되고 상기 기판과 반대 극성으로 각각 도핑된 소스 및 드레인, 상기 소스 및 드레인과 접촉하고 상기 기판 상에 형성된 게이트를 포함하는 FET 기반 바이오 센서에 있어서, 상기 게이트 표면에 생분자가 결합 가능한 무기막이 구비되는 것을 특징으로 하는 FET 기반 바이오 센서를 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 FET 기반 바이오 센서의 제조 방법 및 상기 FET 기반 바이오 센서를 이용한 생분자 검출 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 무기막을 구비하는 FET 기반 바이오 센서는 별도의 추가적인 공정 없이 반도체 제조 공정만으로 제조가 가능하므로 패터닝이 가능하다. 따라서 하나의 FET에 있어서 게이트 표면에만 무기막을 선택적으로 증착하거나 복수의 FET에 있어서 일부의 게이트 표면에만 무기막을 선택적으로 증착할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면 미량의 타겟 생분자도 효과적으로 검출할 수 있고, 상기 무기막의 두께는 매우 얇게 조절될 수 있어 FET의 검출 가능 거리인 debye length 내에 생분자가 결합할 수 있다.
FET, 바이오 센서, 무기막, 게이트, 보에마이트(boehmite)

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