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41. 发明授权

KR101427301B1 스크러버용 수분제거장치 및 이를 구비한 스크러버 有权
标题翻译：用于包括其的橡胶和橡胶的水分去除装置
公开(公告)号：KR101427301B1
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：KR1020130033757
申请日：2013-03-28
申请人： 영진아이엔디(주)
发明人： 이재명 , 성철현 , 서영원
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B08B7/0092 , B01D51/02 , H01L21/67034 , H01L21/67046
摘要： The present invention relates to a moisture removing apparatus for a scrubber and, more specifically, to a moisture removing apparatus for separating and removing the moisture contained in the exhaust gas and a scrubber comprising the same. The scrubber comprising the moisture removing apparatus according to the present invention includes an inlet pipe for inpouring toxic gases; a flame generator for forming a flame; a combustion chamber for handling burning purification by burning the toxic gases with the flame; and a moisture removal unit which is provided in the housing and cools the combustion gas by forming a through-hole in the central portion in order for the combustion gas to pass.
摘要翻译：本发明涉及一种用于洗涤器的除湿装置，更具体地说，涉及用于分离和除去废气中含有的水分的除湿装置和包括该除湿装置的洗涤器。包括根据本发明的除湿装置的洗涤器包括用于投入有毒气体的入口管; 用于形成火焰的火焰发生器; 用于通过用火焰燃烧有毒气体来处理燃烧净化的燃烧室; 以及除湿单元，其设置在壳体中并通过在中心部分形成通孔来冷却燃烧气体，以使燃烧气体通过。

42. 发明授权

KR100385432B1 표면 세정용 에어로졸 생성 시스템 有权
标题翻译： 표면세정용에어로졸생성시스템
公开(公告)号：KR100385432B1
公开(公告)日：2003-05-27
申请号：KR1020000054910
申请日：2000-09-19
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김세호 , 윤철남
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B7/0092 , B01F3/0092 , B01F3/022 , B01F2003/0057 , B24C1/003 , F25B1/00 , F25B7/00 , F25B2309/06
摘要： The present invention relates a cooling device of the reverse Carnot cycle-type using a refrigerant, and an aerosol generation system including it. The cooling device includes a refrigerator of the reverse Carnot cycle-type, a cleaning medium conduit, a temperature sensor, and a heater. The intermediate portion of the cleaning medium conduit and the evaporator are wound like a coil in the same configuration so as to maximize the contacting area therebetween. The temperature sensor measures the temperature of the carbon dioxide discharged from the cooling device, and the heater is arranged to contact the evaporator of the refrigerator and the intermediate portion of the cleaning medium conduit so as to precisely adjust the liquefying rate of the carbon dioxide according to the temperature measured by the temperature sensor. The carbon dioxide is refrigerated at a temperature in the range of -80° C. to -100° C. through the cooling device, transformed into liquid phase.
摘要翻译：本发明涉及一种使用制冷剂的逆卡诺循环型冷却装置以及包括它的气雾剂生成系统。该冷却装置包括逆卡诺循环式制冷机，清洁介质导管，温度传感器和加热器。清洁介质导管和蒸发器的中间部分以相同构造的线圈缠绕，以使它们之间的接触面积最大化。温度传感器测量从冷却装置排出的二氧化碳的温度，并且加热器布置成接触冰箱的蒸发器和清洁介质导管的中间部分，从而精确地调节二氧化碳的液化速率到由温度传感器测量的温度。二氧化碳在-80℃的温度下冷藏; C.至-100℃; C.通过冷却装置，转化为液相。

43. 发明公开

KR1020030036217A 이산화탄소 클리닝을 이용하여 스핀-온 재료로부터 엣지비드의 제거 방법 无效
标题翻译：使用二氧化碳清洁从旋涂材料去除边缘珠粒的方法
公开(公告)号：KR1020030036217A
公开(公告)日：2003-05-09
申请号：KR1020027016736
申请日：2001-06-05
申请人： 허니웰 인터내셔날 인코포레이티드
发明人： 엔디쉬,데니스
IPC分类号： B05D3/12
CPC分类号： H01L21/02096 , B08B7/0092 , H01L21/02087 , H01L21/02164 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02282 , H01L21/31105 , Y10S134/902
摘要： 스핀-온 박막으로부터 엣지 비드를 제거하는 방법이 제공된다. 스핀-온 박막(1)은 스핀 코팅된 기판(3)의 스핀에 의하여 표면(2)의 엣지(5)에 인접한 스핀 코팅된 기판(3)의 표면(2)의 영역(4)으로부터 제거되고, 극저온 에어로졸 스트림(11)을 형성하도록 노즐(10)을 통해 유체를 팽창시키며, 그리고 기판(3)이 스핀됨에 따라 영역(4)의 스핀-온 박막(1)으로 극저온 에어로졸 스트림(11)으로 안내한다. 박막은 알콕시실란과 저 휘발성 솔벤트를 포함할 수 있다. 유체는 본질적으로 액상 이산화탄소로 구성될 수 있다. 저 휘발성 솔벤트를 함유한 스핀-온 박막(1)은 박막이 제거된 곳으로부터 영역(4)으로 다시 성장하지 않으며, 엣지 비드 제거 처리 시간은 약 10초 이하로 감소될 수 있으며, 그리고 폐기 솔벤트의 양은 감소된다.

44. 发明公开

KR1020010109346A 기판 세척 장치 및 방법 无效
标题翻译：清洗基板的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010109346A
公开(公告)日：2001-12-08
申请号：KR1020017012819
申请日：2000-03-16
申请人： 에스씨피 저머니 게엠베하
发明人： 로뮐러,위르겐
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B3/10 , B08B7/0092 , B24C1/003 , B24C3/322 , Y10S134/902
摘要： 본발명은기판특히, 반도체웨이퍼(2) 세척하기위한방법및 장치(1)에관한것으로서, 그장치및 방법에서세척에앞서서또는세척중에유체가기판에도포된다. 본발명의목적은간단하고도저렴한방법으로기판을신뢰할수 있게세척하는것이다. 이러한목적을위해, 얼음결정이기판상에위치한유체내로도입된다.
摘要翻译：提供一种清洁基板的方法。在清洁过程之前，期间或之前和期间，将流体施加到基底表面以在其上形成流体膜。冰晶体被引入衬底表面上的流体膜中。冰晶的温度低于流体的温度，使得流体将冰晶变为气态，以形成在流体膜中产生的脉冲。控制冰晶体进入流体膜的深度，使得冰晶不会撞击基底表面。用脉冲清洗衬底表面。

45. 发明公开

KR1019980014102A 저온 꽃게 세척 및 분리장치 失效
公开(公告)号：KR1019980014102A
公开(公告)日：1998-05-15
申请号：KR1019960032927
申请日：1996-08-08
申请人： 임동현
发明人： 임동현
IPC分类号： A22C29/00
CPC分类号： A22C29/02 , B08B3/022 , B08B7/0092
摘要： 본 발명은 꽃게의 습성을 이용하여 용이하게 꽃게를 분리시키면서 세척할 수 있는 간단한 구조의 저온 꽃게 세척 및 분리방법과 그 세척 및 분리장치를 제공한다.
그 방법은, 8℃(바람직하게는 5℃)이하에서 일어나는 일종의 마취현상, 즉 꽃게가 자기들의 발들을 움츠리면서 힘이 빠지는 현상을 이용한 것이며, 그 저온 꽃게 세척 및 분리장치는, 내부바닥에 그 다수의 꽃게가 미끄러져 이송되는 경사판을 지니며, 그 경사판의 상단부의 상부에 상기 다수의 꽃게를 투입하기 위한 입구가 형성되고, 그 경사판의 하단부에 그 다수의 꽃게가 세척되고 분리되어 배출되는 출구가 형성된 세척 및 분리함. 상기 분리함의 내부의 경사판위로 미끄러져 이송되는 다수의 꽃게에 8℃이하의 저온수를 고압으로 분사시키기 위한 다수의 노즐이 각각 형성된 적어도 하나의 분사관그리고 그 분사관에 8℃이하의 저온수를 고압으로 공급하기 위해 공급관을 개재하여 상기 분사관에 유체적으로 연결되는 저온수공급장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 서로 물어 엉키는 상태를 세척하면서 용이하게 분리시킬 수 있을 뿐만 아니라, 오므려서 포장하는 경우 포장하기 쉽고 전혀 파손이 발생하지 아니한다.

46. 发明授权

KR1019890001502B1 반도체 웨이퍼 흐름 처리공정 및 그 장치 失效
标题翻译：用于处理半导体波形的装置
公开(公告)号：KR1019890001502B1
公开(公告)日：1989-05-06
申请号：KR1019870700149
申请日：1985-11-20
申请人： 씨.에프.엠테크늘러지즈인코포레이티드
发明人： 크리스토퍼에프.맥코넬 , 얼란이월터
IPC分类号： B08B3/04 , B05B3/04
CPC分类号： B08B3/04 , B05C3/109 , B08B7/0092 , B08B2203/002 , C23C16/54 , C30B33/00 , H01L21/67023 , H01L21/67028 , H01L21/67754 , H01L21/67781 , Y10S134/902
摘要： 내용 없음.

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