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41. 发明公开

KR1020160129843A 중원자들을 함유하는 화합물들의 플라즈마 저감 审中-实审
标题翻译：包含重型化合物的等离子体吸收
公开(公告)号：KR1020160129843A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020167022238
申请日：2015-02-19
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 콕스,마이클에스. , 맥킨토시,모니크 , 디킨슨,콜린존 , 피셔,폴이. , 타나카,유타카 , 유안,청
IPC分类号： B01D53/32 , B01D53/64 , B01J19/08
CPC分类号： B01D53/32 , B01D53/54 , B01D53/64 , B01D53/70 , B01D53/76 , B01D2251/00 , B01D2251/10 , B01D2251/102 , B01D2251/104 , B01D2251/108 , B01D2251/20 , B01D2251/202 , B01D2251/204 , B01D2251/2062 , B01D2251/208 , B01D2251/502 , B01D2252/103 , B01D2257/55 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2257/60 , B01D2257/7025 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , B01J19/088 , B01J2219/0815 , B01J2219/0875 , B01J2219/0894 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32669 , H01J2237/002 , H01J2237/335 , Y02C20/20 , Y02C20/30
摘要： 프로세싱챔버로부터의, 화합물들을함유하는유출물을저감하기위한플라즈마저감프로세스가설명된다. 플라즈마저감프로세스는프로세싱챔버, 예컨대, 증착챔버로부터기체성(gaseous) 포어라인유출물을취하고(take), 포어라인경로에위치된플라즈마챔버내에서유출물들에반응을일으킨다. 플라즈마는유출물내의화합물들을해리하여, 유출물을더 온화한화합물들로변환한다. 저감시약들은화합물들의저감을도울수 있다. 저감프로세스는휘발또는응축저감프로세스일수 있다. 대표적인휘발저감시약들은, 예컨대, CH, HO, H, NF, SF, F, HCl, HF, Cl, 및 HBr 을포함한다. 대표적인응축저감시약들은, 예컨대, H, HO, O, N, O, CO, CO, NH, NO, CH, 및이들의조합들을포함한다.
摘要翻译：描述了用于从处理室中减少含有污染物的化合物的等离子体消除过程。等离子体消除过程采用来自诸如沉积室的处理室的气态前级流出物，并使排出物在放置在前级管路中的等离子体室内反应。血浆将流出物中的化合物解离，将流出物转化为更良性的化合物。减轻试剂可能有助于减轻化合物。减排过程可能是挥发或冷凝减排过程。代表性的挥发减压试剂包括例如CH 4，H 2 O，H 2，NF 3，SF 6，F 2，HCl，HF，Cl 2和HBr。代表性的减压剂包括例如H 2，H 2 O，O 2，N 2，O 3，CO，CO 2，NH 3，N 2 O，CH 4及其组合。

42. 发明公开

KR1020160066599A 마이크로파 플라즈마를 이용한 Ｓⅰ나노입자 제조장치 및 이를 이용한 Ｓⅰ나노입자의 제조방법 有权
标题翻译：使用微波等离子体制备纳米微粒的制造装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160066599A
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020140170346
申请日：2014-12-02
申请人： 한국에너지기술연구원
发明人： 장보윤 , 김준수 , 이진석 , 최선호 , 구정분
IPC分类号： C01B33/021 , B82B3/00 , B01J19/10
CPC分类号： C01B33/027 , B01J19/088 , B01J2219/0869 , B01J2219/0875 , B01J2219/0894 , H01M4/386 , H01M10/0525 , C01B33/021 , B01J19/10 , B82B3/00
摘要： 본발명은마이크로파플라즈마를이용한 Si 나노입자제조장치및 이를이용한 Si 나노입자의제조방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及使用微波等离子体的Si纳米粒子的制造装置及其制造方法。纳米颗粒的制造装置包括：反应单元（110）; 注入硅前体气体的前体气体注入单元（120）; 产生微波的输出供应单元（130）; 旋流气体注入单元（140）; 和反应气体注入单元（150）。

43. 发明公开

KR1020160034213A 오존 공급 장치, 오존 공급 방법, 및 하전 입자빔 묘화 시스템 无效
标题翻译：臭氧配置设备，臭氧提供方法和充电颗粒光束绘图系统
公开(公告)号：KR1020160034213A
公开(公告)日：2016-03-29
申请号：KR1020150131547
申请日：2015-09-17
申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
发明人： 타네다야스유키 , 야마나카요시로
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/3002 , B01J19/087 , B01J2219/0801 , B01J2219/085 , B01J2219/0869 , B01J2219/0875 , C01B13/10 , H01J37/045 , H01J37/147 , H01J37/3174 , H01J2237/006 , H01J2237/043 , H01J2237/15
摘要： 오존공급장치에있어서, 오존가스를생성하는오존발생기와, 상기오존발생기에의해생성된상기오존가스의유량을제어하는제1 유량제어기구와, 진공장치에공급되는상기오존가스의유량을제어하는제2 유량제어기구와, 상기제1 유량제어기구의이차측이고, 상기제2 유량제어기구의일차측에설치되고, 상기제1 유량제어기구에의해내부압력이대기압보다낮아지도록제어된유량으로상기오존가스가도입되는주배관을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的一个实施方案，提供了一种能够提供高浓度臭氧气体的臭氧提供装置，臭氧提供方法和使用该臭氧提供装置的带电粒子束描绘系统。臭氧提供装置包括：产生臭氧气体的臭氧发生器; 第一流量控制装置，其控制臭氧发生器产生的臭氧气体的流动; 第二流量控制装置，其控制提供给真空装置的臭氧气体的流量;以及主管，其安装在所述第一流量控制装置的次级端和所述第二流量控制装置的主端上，并且所述臭氧气体被引入其内部压力被第一流量控制装置控制到低于大气压力的流量。

44. 发明公开

KR1020150115207A 가스 합성 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于合成气体的装置和方法
公开(公告)号：KR1020150115207A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：KR1020140039853
申请日：2014-04-03
申请人： (주)그린사이언스
发明人： 신용욱 , 마노즈야다브 , 이봉주
IPC分类号： B01J19/08 , B01J12/00 , C01C1/02 , B01D53/02
CPC分类号： B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0875 , C01C1/0494 , B01J19/08 , B01D53/02 , B01J8/04 , B01J12/00 , C01C1/02 , C01C1/04
摘要： 개시되는실시예에따르면, 플라즈마블라스팅(plasma blasting)을위해전기에너지를인가하도록구성된제1 전극및 제2 전극을구비한프로브; 및가역발열반응에서반응하는반응가스(reactant gas)를수용하고, 또한블라스팅매질을수용하며, 상기가역발열반응을통해상기반응가스로부터합성가스(synthesis gas)가형성되는반응기를포함하고, 상기프로브는상기제1 전극의적어도일부및 상기제2 전극의적어도일부가상기블라스팅매질과접촉하도록배치되고, 상기반응기에서는상기제1 전극및 상기제2 전극을통해상기전기에너지가인가됨에따라상기블라스팅매질로부터플라즈마흐름(plasma stream)이생성되고상기플라즈마흐름의생성에따라상기반응가스로부터상기합성가스가형성되는, 가스합성장치가제공된다.
摘要翻译：根据所公开的实施例，提供了一种用于合成气体的装置，其包括：具有第一电极和第二电极的探针，所述第一电极和第二电极被配置为对等离子体喷砂施加电能; 以及反应器，其容纳在可逆放热反应中反应的反应气体，并且还容纳喷射介质，其中通过可逆放热反应从反应气体产生合成气。探针布置成使得第一电极的至少一部分和第二电极的至少一部分能够接触喷砂介质。在反应器中，当通过第一和第二电极施加电能时，从喷射介质产生等离子体流，并且根据等离子体流的产生从反应气体产生合成气体。

45. 发明授权

KR101560266B1 일산화탄소(CO) 및 수소(H2)를 함유하는 합성 가스를 생산하는 방법 有权
标题翻译： CO H2生产含有碳环氧基和氢原子的基团的方法
公开(公告)号：KR101560266B1
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：KR1020137021268
申请日：2011-11-30
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 함머,토마스
IPC分类号： C01B3/34 , C07C29/151 , B01J19/08
CPC分类号： C01B3/342 , B01J19/088 , B01J2219/00006 , B01J2219/00038 , B01J2219/0004 , B01J2219/0875 , B01J2219/0894 , C01B2203/0216 , C01B2203/0222 , C01B2203/0233 , C01B2203/0238 , C01B2203/06 , C01B2203/061 , C01B2203/0861 , C01B2203/0894 , C01B2203/141 , C07C29/1518 , C07C41/09 , Y02P20/129 , Y02P20/142 , C07C43/043 , C07C31/04
摘要： 본발명은이산화탄소(CO)로부터일산화탄소(CO) 및수소(H)를포함하는합성가스를생산하는방법으로서, 이산화탄소(CO)가플라즈마를통해흐르게함에따라이산화탄소(CO)를분해생성물로분해시키고, 이어서, 이러한분해생성물이탄화수소함유가스를통해흐르게함에따라분해생성물을가스성탄화수소와반응시킴으로써합성가스를생산하는방법에관한것이다.

46. 发明公开

KR1020150053779A H2O, CO2, O2, 및 미립자들의 소스를 사용하는 중금속 미립자를 봉쇄하는 방법 审中-实审
标题翻译：使用H 2 O，CO 2，O 2和A的颗粒物来测序重金属颗粒的方法
公开(公告)号：KR1020150053779A
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：KR1020157008603
申请日：2013-09-05
申请人： 파워다인, 인코포레이티드
发明人： 히어슨게프레이 , 슈즈거스에프.
IPC分类号： B01J12/00 , C01B3/04
CPC分类号： B01D21/01 , B01D21/0009 , B01J12/002 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0815 , B01J2219/0875 , B01J2219/0877 , B01J2219/0898 , B09B3/005 , C01B3/02 , C01B3/042 , C01B3/12 , C01B2203/062 , C01B2203/0861 , C07C1/04 , C10G2/32 , C10J3/00 , C10J2300/1238 , C10J2300/1671 , C10J2300/1675 , C10L1/00 , C10L1/06 , C10L1/08 , C10L3/101 , C10L2200/0415 , C10L2200/0423 , C10L2200/043 , C10L2200/0446 , C10L2290/38 , C10L2290/42 , F01D15/10 , F01K7/16 , F01K25/06 , F02C1/05 , F05D2220/31 , F05D2220/76 , H05H1/34 , H05H1/42 , H05H1/44 , Y02E50/32 , Y02E60/364 , Y02P20/13
摘要： 독소미립자를봉쇄하는방법이여기에설명되어있다. 제 1 처리챔버에서, 독소미립자의탄소소스는제 1 유체혼합물및 비트리파이드독소잔여물을형성하기위해 3개의플라즈마토치들로부터의플라즈마와결합될수 있다. 각각의토치는산소가스, 수증기, 및이산화탄소를포함하는작업가스를가질수 있다. 비트리파이드독소잔여물이제거된다. 제 1 유체혼합물은제 2 유체혼합물을형성하기위해제 1 열교환장치에서냉각될수 있다. 제 2 유체혼합물은습식스크러버와접촉할수 있다. 습식스크러버로부터의최종생성물은연료생성물로서사용될수 있다.

47. 发明公开

KR1020150052257A 플라즈마 소스들을 사용하여 수소가스를 발생시키기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：使用等离子体源生成氢气的方法
公开(公告)号：KR1020150052257A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：KR1020157008610
申请日：2013-09-05
申请人： 파워다인, 인코포레이티드
发明人： 히어슨게프레이 , 슈즈거스에프.
IPC分类号： B01J12/00 , C01B3/04
CPC分类号： F01K25/06 , B01D21/0009 , B01D21/01 , B01J12/002 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0815 , B01J2219/0875 , B01J2219/0877 , B01J2219/0898 , B09B3/005 , C01B3/02 , C01B3/042 , C01B3/12 , C01B2203/062 , C01B2203/0861 , C07C1/04 , C10G2/32 , C10L1/06 , C10L1/08 , C10L2200/0415 , C10L2200/0423 , C10L2200/043 , C10L2200/0446 , C10L2290/38 , C10L2290/42 , F02C1/05 , H05H1/34 , H05H1/42 , H05H1/44 , Y02E50/32 , Y02E60/364 , Y02P20/13 , Y02T50/678
摘要： 연료유체제조방법이개시된다. 제 1 작업유체및 제 2 작업유체가제공된다. 제 1 작업유체는제 1 유체플라즈마를생성하기위해제 1 고전압전기장에노출되고, 제 2 작업유체는제 2 유체플라즈마를생성하기위해제 2 고전압전기장에노출될수 있다. 제 1 유체플라즈마와제 2 유체플라즈마는열교환장치로이송되는유체플라즈마혼합물을형성하도록접촉될수 있다. 유체플라즈마혼합물은연료유체를형성하도록냉각되고, 연료유체는수집될수 있다.
摘要翻译：公开了制造燃料流体的方法。可以提供第一工作流体和第二工作流体。第一工作流体可以暴露于第一高压电场以产生第一流体等离子体，并且第二工作流体可以暴露于第二高压电场以产生第二流体等离子体。第一流体等离子体和第二流体等离子体可以接触以形成流体等离子体混合物，其被输送到热交换装置。流体等离子体混合物可以被冷却以形成燃料流体; 并且可以收集燃料流体。

48. 发明授权

KR101337146B1 고순도 사염화규소 또는 고순도 사염화게르마늄의 연속 제조를 위한 반응기, 플랜트 및 공업적 방법 有权
标题翻译：连续制备高纯度硅酮四氯化碳或高纯度德国四氯化碳的反应器，工厂和工业过程
公开(公告)号：KR101337146B1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：KR1020087004848
申请日：2006-06-06
申请人： 에보니크 데구사 게엠베하
发明人： 랑,위르겐 , 니콜라이,라이너 , 라울레더,하르트비크
IPC分类号： C01B33/00 , B01J19/08
CPC分类号： C01B33/10778 , B01J19/0093 , B01J19/088 , B01J2219/0002 , B01J2219/00033 , B01J2219/00788 , B01J2219/00822 , B01J2219/00853 , B01J2219/00867 , B01J2219/00869 , B01J2219/00871 , B01J2219/00873 , B01J2219/0093 , B01J2219/0807 , B01J2219/0828 , B01J2219/083 , B01J2219/0841 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B01J2219/0896 , C01G17/04 , C01P2006/80
摘要： 본 발명은 저온 플라스마를 이용하여 1종 이상의 수소-함유 화합물로 오염된 정제될 사염화규소 또는 사염화게르마늄을 처리하는 것, 및 분별 증류에 의해 생성된 처리 상으로부터 정제된 고순도의 사염화규소 또는 사염화게르마늄을 분리하는 것에 의해 고순도 사염화규소 또는 고순도 사염화게르마늄을 제조하기 위한 반응기, 플랜트 및 거기에서 수행되는 연속적인 산업적 공정에 관한 것으로서, 여기서 처리는 유전체 (4.4), 고전압 전극 (4.3) 및 접지된 금속제 열 교환기 (4.2)의 세로 축이 서로 평행한 동시에 중력 힘 벡터에 평행하게 배향된 플라스마 반응기 (4)에서 수행된다.
사염화규소, 사염화게르마늄, 플라스마, 반응기, 플랜트, 미세 유닛, 유전체

49. 发明公开

KR1020120063171A 광촉매반응장치 无效
标题翻译：光催化反应器
公开(公告)号：KR1020120063171A
公开(公告)日：2012-06-15
申请号：KR1020100124241
申请日：2010-12-07
申请人： 코웨이 주식회사 , 서울대학교산학협력단
发明人： 이종협 , 윤형진 , 이민재 , 윤성진
IPC分类号： C02F1/32 , A61L9/20 , B01J21/06
CPC分类号： C02F1/325 , B01D53/88 , B01D2255/20707 , B01D2255/802 , B01D2257/90 , B01D2258/06 , B01J19/123 , B01J35/004 , B01J2219/0875 , B01J2219/0877 , B01J2219/0892 , C02F1/725 , C02F2201/3223 , C02F2305/10
摘要： PURPOSE: A photo-catalytic apparatus is provided to increase the reactivity of photo-catalytic reaction by forming a pollutant inlet for forming turbulence in a reacting path. CONSTITUTION: A photo-catalytic apparatus includes an ultraviolet light source(1), non-woven fabric(6), and a reacting path(10). The non-woven fabric surrounds the ultraviolet light source. A photo-catalyst is applied on the non-woven fabric. The reactive path is formed between the ultraviolet light source and the non-woven fabric. Polluted fluid flows along the reacting path to be purified based on photo-catalytic reaction. The ultraviolet light source is cylindrically shaped. The non-woven fabric is cylindrically arranged at the external side of the ultraviolet light source.
摘要翻译：目的：提供光催化装置，通过形成反应路径中形成湍流的污染物入口来提高光催化反应的反应性。构成：光催化装置包括紫外光源（1），无纺布（6）和反应路径（10）。无纺布围绕着紫外光源。将光催化剂涂布在无纺布上。紫外光源和无纺布之间形成反应路径。污染流体沿着反应路径流动，基于光催化反应进行纯化。紫外光源为圆柱形。无纺布在紫外线光源的外侧是圆筒状的。

50. 发明授权

KR101129610B1 나노분말의 유도 플라즈마 합성 有权
标题翻译：诱导等离子体合成纳米ZnO
公开(公告)号：KR101129610B1
公开(公告)日：2012-05-15
申请号：KR1020077019604
申请日：2006-01-27
申请人： 테크나 플라즈마 시스템 인코포레이티드
发明人： 불로마허아이 , 주레윅저지 , 구오지아인
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y40/00
CPC分类号： C01G17/02 , B01J19/088 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B01J2219/0877 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B22F9/12 , B22F2999/00 , B82Y30/00 , C01B13/30 , C01B32/956 , C01G1/00 , C01G1/02 , C01P2004/64 , C01P2006/12 , H05H1/30 , B22F2202/13
摘要： 나노분말의 합성 방법 및 장치를 제공한다. 특히, 유도 플라즈마 기술을 이용하여, 전구체로서 유기금속성 화합물, 클로라이드, 브로마이드, 플루오라이드, 아이오다이드, 나이트라이트, 나이트레이트, 옥살레이트 및 카보네이트를 이용하는, 금속, 합금, 세라믹 및 복합물 등의 다양한 물질의 나노분말을 합성하는 방법이 개시된다. 본 방법은 반응 물질을, 상기 물질의 과열 증기를 수득할 수 있는 높은 온도를 가지는 플라즈마 흐름이 생성되는 플라즈마 토치로 공급하는 단계; 상기 증기를 상기 플라즈마 흐름에 의하여 급냉 구역으로 이동시키는 단계; 찬 급냉 기체를 급냉 구역 내의 플라즈마 흐름에 주입하여 재생가능한 기체상 콜드 프론트를 형성하는 단계; 및 상기 재생가능한 기체상 콜드 프론트와 상기 플라즈마 흐름 사이의 경계면에 나노분말을 형성하는 단계를 포함한다.
유도 플라즈마, 나노분말, 급냉, 콜드 프론트, 흐름, 전구체

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