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    • 47. 发明公开
    • 패턴화된 탄소 재료의 무촉매 연속 제조 장치 및 방법
    • 非碳化物连续制造图形碳材料的装置与方法
    • KR1020140030982A
    • 2014-03-12
    • KR1020120097824
    • 2012-09-04
    • 한국과학기술연구원
    • 이성호조한익김태욱이재선
    • C01B31/02B01J19/12B05C1/08B05C9/14
    • C01B32/05B01J19/12B05C1/08B05C9/14B82B3/0004C01B32/184
    • The present invention provides a device and a method for the non-catalyst continuous manufacturing of patterned carbon materials which produce the carbon materials using a non-catalyst process not using a metallic catalyst for producing the carbon materials including graphene, and effectively provide the high quality carbon materials patterned on a substrate for an element by performing a patterning process before forming the carbon materials without a post process of patterning or a conventional complex transmitting process, and facilitate the patterning process, simplify overall production processes, and reduce the processing costs, thereby providing the device and the method for the non-catalyst continuous manufacturing of the patterned carbon materials suitable for mass-production.
    • 本发明提供了一种用于非催化剂连续制造图案化碳材料的装置和方法,其使用不使用金属催化剂生产包括石墨烯在内的碳材料的非催化剂方法生产碳材料,并且有效地提供高质量 通过在形成碳材料之前进行图案化工艺而不经过图案化的后处理或传统的复合物传输工艺,在元件的衬底上图案化的碳材料,并且便于图案化工艺,简化整个生产过程并降低加工成本,从而 提供了适用于批量生产的图案化碳材料的非催化剂连续制造的装置和方法。
    • 48. 发明公开
    • 그래핀의 제조방법
    • 制造石墨的方法
    • KR1020140005470A
    • 2014-01-15
    • KR1020120072730
    • 2012-07-04
    • 세종대학교산학협력단
    • 천승현김용승
    • C01B31/02B01J19/12H01L21/033
    • C01B32/186B01J19/12C01B2204/02C01B2204/04H01L21/033
    • The present invention relates to a manufacturing method for graphene. The manufacturing method for graphene is able to uniformly grow graphene at low temperatures without a catalyst by forming a graphene layer with a method which directly grows graphene on a substrate by supplying process gas containing carbon sources to the substrate after preprocessing the substrate by oxidative gas plasma. The manufacturing method is able to directly grow graphene on a flexible substrate without a catalyst, thereby being able to be applied to various flexible devices such as a flexible display recently receiving attention. The manufacturing method for graphene forms a mask pattern on a substrate after or before preprocessing the substrate by using oxidative gas plasma, grows graphene on the surface of the substrate exposed due to the mask by supplying process gas containing carbon sources to the substrate, and forms a graphene layer equipped with the pattern, thereby being able to easily and simply form the graphene layer equipped with the pattern by using a mask made of various materials with one step process without an additional lithographic process. [Reference numerals] (AA) Oxidative gas plasma
    • 本发明涉及石墨烯的制造方法。 石墨烯的制造方法能够在没有催化剂的情况下在低温下均匀地生长石墨烯,通过在通过氧化气体等离子体预处理基板之后,通过向衬底提供含有碳源的工艺气体直接生长石墨烯的方法,从而在基板上直接生长石墨烯 。 该制造方法能够在没有催化剂的情况下在柔性基板上直接生长石墨烯,从而能够应用于近来受到关注的柔性显示器等各种柔性装置。 石墨烯的制造方法在通过使用氧化气体等离子体对基板进行预处理之后或之后在基板上形成掩模图案,通过向基板供给含有碳源的工艺气体,在由于掩模暴露的基板的表面上生成石墨烯,并形成 具有图案的石墨烯层,从而能够通过使用由各种材料制成的掩模,通过一步加工而不需要附加的光刻工艺,容易且简单地形成配备有图案的石墨烯层。 (附图标记)(AA)氧化气体等离子体
    • 49. 发明授权
    • 자속 채널 결합 플라즈마 반응기
    • 磁场通道耦合等离子体反应器
    • KR101314667B1
    • 2013-10-04
    • KR1020120001247
    • 2012-01-04
    • 최대규
    • 최대규
    • H05H1/46H01L21/3065
    • B01J19/12H01J37/32082H01J37/32669H05H1/46H05H2001/4675
    • 본 발명의 자속 채널 결합 플라즈마 반응기는 자속 채널에 결합된 플라즈마 방전 공간을 갖는 중공의 반응기 몸체, 상기 자속 채널을 형성하는 둘 이상의 자속 출입구를 갖는 마그네틱 코어와 상기 마그네틱 코어에 권선되는 일차 권선 코일을 갖고 상기 플라즈마 방전 공간에 자속 채널 결합된 플라즈마를 발생시키는 자속 채널 결합 플라즈마 소스 및, 상기 일차 권선 코일과 상기 용량 결합 전극으로 플라즈마 발생 전력을 공급하는 교류 스위칭 전원 공급원을 포함한다. 자속 채널 결합 플라즈마 반응기는 반응기 몸체의 내부에서 자속 채널 결합 플라즈마를 단독적으로 발생하거나 용량 결합 전극 또는 유도 안테나 코일에 의해 하이브리드 플라즈마를 발생할 수도 있다. 본 발명의 자속 채널 결합 플라즈마 반응기는 복수개의 자속 채널을 반응기 몸체의 내부에 형성하여 자속 채널 결합 플라즈마를 발생함으로 플라즈마 이온 에너지에 대한 제어 능력이 높고, 대용량의 플라즈마를 발생할 수 있는 확장성이 용이한 구조를 갖는다. 또한 복수개의 자속 채널에 결합된 자속 채널 결합 플라즈마와 용량 결합 플라즈마 또는 유도 결합 플라즈마가 혼합된 하이브리드 플라즈마를 발생할 수 있어서 저압 영역에서 고압 영역까지 폭넓은 동작 영역을 갖는다.
    • 50. 发明公开
    • 벤젠가스 소거처리를 위한 저온플즈마반응기 유닛 및 그의 제조방법
    • BENZENE气体处理等离子体设备
    • KR1020130088255A
    • 2013-08-08
    • KR1020120009380
    • 2012-01-31
    • 김정일
    • 김정일
    • F23G5/027B01J19/12B09B3/00
    • F23G7/06B01J19/12B09B3/0083F23G2204/203F23G2209/14
    • PURPOSE: A low temperature plasma reactor unit, capable of removing benzene gas without using fossil fuels and a manufacturing method thereof are provided to protect the health and livelihood for the indoor operators by destroying a molecular binding of benzene generated in a specific indoor industrial process such as a sealed clean room and returning the water and harmless pure gas to its originality. CONSTITUTION: A low temperature plasma reactor unit capable of removing benzene gas without using fossil fuels and a manufacturing method thereof fix each electrode on a plate which is made of insulator to face each other with a gap of 10 mm after comprising two round bars to an electrode of one set without a division of cathode and anode. A metal net is fixed on the end of a lower plate and a plasma reaction area is extended by inducing an electron and a voltage and generating impact when a plasma generated between the electrodes occurs in a voltage state. After the voltage is prevented from being lost or flowed, the power is applied and the benzene gas is passed through a reaction container.
    • 目的:提供一种能够在不使用化石燃料的情况下除去苯气的低温等离子体反应器装置及其制造方法,以通过破坏在特定的室内工业过程中产生的苯的分子结合来保护室内操作者的健康和生活, 作为密封的洁净室,将水和无害的纯净气体返回到其原创性。 构成:能够在不使用化石燃料的情况下除去苯气体的低温等离子体反应器装置及其制造方法,其将每个电极固定在由绝缘体制成的板上,在将两个圆棒包围到 一组电极,不分阴极和阳极。 金属网固定在下板的端部,并且当在电极之间产生的等离子体处于电压状态时,通过产生电子和电压并产生冲击,等离子体反应区域被延伸。 在防止电压丢失或流动之后,施加电力并使苯气体通过反应容器。