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热词
    • 33. 发明授权
    • 기판 검사 장치
    • 检查玻璃基板的装置
    • KR100965409B1
    • 2010-06-24
    • KR1020060037736
    • 2006-04-26
    • 인베니아 주식회사
    • 김남희박장완홍지중
    • G01N21/88G01N21/892
    • 본 발명은 LCD 기판의 결함을 검사하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광원부와 반사부 사이에 빛의 조사 면적과 조도를 조절할 수 있는 렌즈부를 더 구비하여 다양한 결함 검사에 대응할 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다.
      본 발명은, 기판의 표면 검사에 사용되는 빛을 최초로 조사하는 광원부; 상기 광원부로부터 조사되는 빛의 경로를 검사 대상 기판이 위치된 방향으로 변경시키는 반사부; 상기 반사부로부터 반사되는 빛을 집광시키는 집광부; 상기 집광부와 인접한 위치에 평행하게 설치되며, 상기 집광부를 통과한 빛을 산란시키는 산란부; 상기 광원부와 반사부 사이에 배치되며, 상기 광원부에서 조사되는 빛의 조사면적과 조도를 조절하는 렌즈부;를 포함하여 구성되는 기판 검사 장치를 제공한다.
      엘시디, 기판, 검사, 렌즈
    • 36. 发明公开
    • 필름검사장치 및 필름검사방법
    • FLLM LNSPECTION设备和方法
    • KR1020080028922A
    • 2008-04-02
    • KR1020087000756
    • 2006-06-20
    • 군제 가부시키가이샤
    • 우에하라오사무호리가쓰히로후나자키고지
    • G01N21/892G01N21/958G01B11/02
    • G01N21/892
    • [PROBLEMS] To provide an apparatus and a method for inspecting flaws occurring during production of a film and utilizing data effectively after inspection. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A film inspection apparatus (10) comprises cameras (12) each having a light source and a sensor arranged with a plurality of light receiving portions to scan a film, a means (14) for converting a charge signal obtained by scanning into a voltage signal and analyzing a defective part of the film from the voltage signal, a means (16) for storing a plurality of thresholds of magnitude for discriminating the size at the defective part of the film, and a comparator (18) for comparing an analyzed voltage signal with the plurality of thresholds of magnitude and determining with which threshold of magnitude the voltage signal matches.
    • [问题]提供一种用于检查在制造薄膜期间发生的缺陷并在检查之后有效利用数据的装置和方法。 解决问题的手段电影检查装置(10)包括:具有光源的摄像机(12)和布置有多个用于扫描胶片的光接收部分的传感器;用于转换获得的电荷信号的装置(14) 通过扫描电压信号并从电压信号中分析薄膜的缺陷部分;一个用于存储多个阈值阈值的装置(16),用于识别胶片缺陷部分的尺寸;以及比较器(18), 用于将所分析的电压信号与所述多个阈值阈值进行比较,并确定所述电压信号与哪个阈值大小匹配。
    • 40. 发明公开
    • 피복와이어의 검사장치 및 방법
    • 用于检查覆盖线的装置和方法
    • KR1020010106749A
    • 2001-12-07
    • KR1020000027691
    • 2000-05-23
    • 주식회사 유비트론
    • 홍재윤
    • G01N21/892
    • 본 발명은 피복와이어의 검사장치 및 방법에 관한 것으로서, 검사 대상의 피복와이어(W)를 급송하는 와이어급송수단(F)의 구동부, 상기 급송되는 피복와이어(W)에 대한 검사용 광을 생성하는 검사광발생부(L), 상기 검사광을 반사하고 수광하는 수광소자를 가지는 반사광수광부(R), 상기 수광소자로부터의 수광된 광신호를 증폭 및 분석하는 함수해석기 등의 신호분석기(A), 상기 신호분석기의 신호분석에 따라 이를 고지하는 고지수단(AL) 및 상기 급송수단 등을 제어하는 제어부(CL)를 포함하는 피복와이어의 검사장치와,
      상기 장치로서 구현되며, 상기 검사광발생부(L)에서의 상기 반사광수광부(R)의 반사경으로 조사된 광의 상기 피복와이어(W)에 대한 반사광 신호로서 와이어의 피복상태를 검사하고 상기 제어부(CL)를 제어하는 것을 특징으로 하는 피복와이어의 검사방법을 가짐으로서; 종래와 같은 샘플링 검사가 아닌 전수검사를 와이어의 권취단부 공정에 부가하여 행함으로서 전체 와이어의 품질을 보장할 수 있고, 그 검사속도 또한 대단히 고속으로 행할 수 있어 드럼으로의 와이어 권취와 동시에 행할 수 있는 장점을 가진다.