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    • 39. 发明公开
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    • 改进的衬底处理设备和方法
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    • 다수의고체입자로하나이상의기재를처리하기위해사용하는장치(10)로서, a) 드럼(40)이회전가능하게내장된하우징(20); b) 하나이상의기재를드럼내에투입할수 있는개방위치와장치가실질적으로밀봉되는폐쇄위치사이에서이동가능한도어(60); c) 도어에장착되는, 그리고천공부분을포함하는분리기(100); d) 하우징상에또는내에장착되는, 그리고출구(140)를포함하는유동경로파이프(110); 및 e) 처리액및 다수의고체입자를제 1 위치로부터유동경로파이프를통해출구로부터분리기를향해펌핑하도록구성된펌핑수단(210)을포함하고, 분리기는드럼내에다수의고체입자를안내하도록배치되고, 또한분리기는드럼이외의위치로처리액의일부를안내하도록배치된다.
    • 1。一种用于处理具有多个固体颗粒的一个或多个基板的装置(10),包括:a)壳体(20),所述滚筒(40)可旋转地安装在所述壳体中; b)门(60),其可在一个或多个衬底可被引入到所述滚筒中的打开位置和所述装置基本上被密封的关闭位置之间移动; c)安装在门上并包括穿孔部分的分离器(100) d)安装在壳体上或壳体内且包括出口(140)的流动路径管(110); 和e)泵送装置(210),该泵送装置构造成将处理液体和多个固体颗粒从第一位置通过流动路径管从出口泵送到分离器,分离器布置成在滚筒内引导多个固体颗粒 并且分离器布置成将一部分处理液引导至滚筒外部的位置。