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    • 37. 发明授权
    • 적층체의 박리 장치 및 박리 방법, 그리고 전자 디바이스의 제조 방법
    • KR102471642B1
    • 2022-11-29
    • KR1020160020620
    • 2016-02-22
    • B32B43/00
    • 본발명은제1 기판과제2 기판을포함하고, 상기제1 기판과상기제2 기판이박리가능하게접합된적층체를, 상기제1 기판과상기제2 기판의계면에서일단부측으로부터타단부측을향하여순차박리하는적층체의박리장치에있어서, 상기적층체의상기제1 기판을지지하는지지부와, 상기적층체의상기제2 기판을그 흡착면에서진공흡착하는가요성판과, 상기가요성판의상기흡착면과는반대측의면에연결부재를통하여고정됨과함께, 상기지지부에대하여독립하여이동됨으로써상기가요성판을휨 변형시키고, 상기적층체를상기계면에서순차박리시키는가동체를구비하고, 상기연결부재는, 상기가요성판에구비된관통구멍에삽입관통하여배치되고, 상기관통구멍에의해상기가요성판에형성된공간부와상기가요성판에흡착된상기제2 기판사이에차폐부재가배치되고, 상기공간부에대한상기가요성판의진공흡인력이차폐부재에의해차단되는적층체의박리장치에관한것이다.