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31. 发明授权

KR101599147B1 디지털 광 단일 채널 위상 공액 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于共通道数字光学相位的装置和方法
公开(公告)号：KR101599147B1
公开(公告)日：2016-03-04
申请号：KR1020140124924
申请日：2014-09-19
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박용근 , 이겨레
IPC分类号： G02B26/06 , H01S3/13
CPC分类号： G02B27/0012 , G02B26/06 , G02F2203/18 , G02F2203/50 , G03H1/10 , G03H1/16 , G03H2225/32 , H04B10/50577 , H04B10/508 , H04B10/516 , H04B10/524 , H04B10/548 , F41H11/02 , G01J1/58 , G01J3/44 , G02B6/06 , G02B6/26 , G06K9/00 , H01S3/10 , H01S3/13
摘要： 광파면제어부(Spatial Light Modulator: SLM)를이용하여위상공액을발생시키는광 단일채널위상공액장치및 방법이개시된다. 광단일채널위상공액장치는, 산란체에서산란된파면을갖는광이입사되는광 파면제어부(Spatial Light Modulator: SLM), 및상기광 파면제어부에서집약되어출사된광의위상제어파면을감지하고, 상기위상제어파면에기초하여상기출사된광의방향을역방향으로변경함에따라위상공액파면을갖는광을출력하는단일채널광 감지및 발생부를포함할수 있다.
摘要翻译：公开了使用空间光调制器（SLM）产生相位共轭的单通道光学相位共轭装置及其方法。单通道光相位共轭装置包括：SLM，其中接收从散射体散射的波前的光; 以及用于检测在SLM中收集并发射的光的相位控制波前的单通道光检测和生成单元，并且用于输出通过将输出光的方向改变为基于相位控制波前的逆方向。

32. 发明授权

KR101390217B1 ＤＵＶ 광원의 액티브 스펙트럼 컨트롤 有权
标题翻译： DUV光源的主动式SEPCTRAL控制
公开(公告)号：KR101390217B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020087021234
申请日：2007-01-22
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 던스탄웨인제이. , 자크로버트엔. , 라오라자세크하르엠. , 트린초우크표도르비.
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01S3/13 , G03F7/70575 , H01S3/134 , H01S3/136
摘要： 개시된 본 발명의 한 실시예의 형태에 따라, 라인 내로우드, 높은 평균 파워, 높은 펄스 반복률의 레이저 마이크로-포토리소그래피 광원의 대역폭 컨트롤 시스템이 개시되고, 본 시스템은 광원에 의해 산출된 레이저 출력 광 펄스 빔의 대역폭을 측정하고, 대역폭 측정치를 제공하는 대역폭 측정 모듈; 대역폭 측정치, 및 대역폭 세트포인트를 수신하고, 대역폭 에러 신호를 제공하는 대역폭 에러 신호 제너레이터; 및 대역폭 에러에 응답하여 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 및 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호를 제공하는 액티브 대역폭 컨트롤러를 포함한다. 미세 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 거친 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 대역폭 에러를 감소하는 상기 광원 행동의 개별적인 조절을 유도할 수 있다. 거친 대역폭 보정 액츄에이터, 및 상기 미세 대역폭 보정 액츄에이터는 각각 복수의 대역폭 보정 액츄에이터를 포함할 수 있다.
대역폭 컨트롤 시스템, 대역폭 측정 모듈, 대역폭 에러 신호 제너레이터, 액티브 대역폭 컨트롤러, 미세 대역폭 보정 액츄에이터 신호, 거친 대역폭 보정 액츄에이터 신호.

33. 发明授权

KR101356386B1 파이버 타입 펨토초 레이저의 펄스 안정화 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：光纤型飞秒激光器稳定脉冲的装置和方法
公开(公告)号：KR101356386B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120036511
申请日：2012-04-09
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김수현 , 김경수 , 류성윤 , 권원식 , 이협 , 김진환 , 최진두 , 조승환 , 이상욱 , 오승렬
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/06791 , H01S3/1061 , H01S3/1118 , H01S3/136 , H01S3/139
摘要： 본 발명은 파이버 타입 펨토초 레이저의 펄스 안정화 장치 및 그 안정화 방법에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 펨토초 레이저의 포화흡수체와 광파이버 연결부의 거리를 조절함으로써 자동적으로 모드 잠금을 시행하여 장기간 안정화된 레이저 펄스를 얻을 수 있도록 한 파이버 타입 펨토초 레이저의 펄스 안정화 장치 및 그 안정화 방법에 관한 것이다.
본 발명은 펌프 레이저(100) 및 파이버 공진기(200)를 포함하는 파이버 타입 펨토초 레이저 시스템에 있어서, 파이버 공진기(200) 내에 포화흡수체(700)와 광파이버(310) 연결부 사이의 거리(d)를 조절하는 거리 조절기(300)를 포함하는 것이 특징인 파이버 타입 펨토초 레이저의 펄스 안정화 장치를 제공한다.

34. 发明授权

KR101329142B1 펄스 레이저 출력 안정화 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：脉冲激光输出稳定装置及其方法
公开(公告)号：KR101329142B1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：KR1020120110099
申请日：2012-10-04
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 홍기석 , 이동훈 , 김승관 , 박성종 , 박승남
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/1305 , G02B6/14 , G02F1/125 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/10 , H01S3/13 , H01S3/1306
摘要： The present invention is to provide a pulse laser output device and method thereof. The pulse laser output device comprises the first optical path and the output light of the pulse laser received, the directional coupler branching off to the second optical path of the optical detector which outputs the current according to the light-intensity of the light branched to the first optical path and received the current-to-voltage converter, it outputs and converts the output current of the optical detector into the voltage of the function generator providing the output proportional of the output signal to the current-to-voltage converter with the predetermined frequency, and the time delaying unit, which is located opposed to the second optical path, provides the predetermined time delay for the feedback control, and the anastomotic variable modulator in which the optical signal provided from the output signal and time delaying unit of the function generator are received to the input and modulates the optical signal provided from the time delaying unit according to the size of the output signal of the function generator are outputted. [Reference numerals] (AA) Input;(BB,CC) Second optical path;(DD) First optical path;(EE) Feedback;(FF) Output
摘要翻译：本发明提供一种脉冲激光输出装置及其方法。脉冲激光输出装置包括第一光路和接收到的脉冲激光的输出光，定向耦合器分支到光检测器的第二光路，该光检测器根据光分支的光强度输出电流第一光路并接收电流 - 电压转换器，其输出并将光学检测器的输出电流转换成功能发生器的电压，其将输出信号的输出成比例地与电流 - 电压转换器以预定的频率和与第二光路相对的时间延迟单元为反馈控制提供预定的时间延迟，以及吻合可变调制器，其中从输出信号提供的光信号和功能的延时单元发生器被接收到输入端，并根据该时间延迟单元调制提供的光信号 e输出功能发生器的输出信号。（标号）（AA）输入;（BB，CC）第二光路;（DD）第一光路;（EE）反馈;（FF）输出

35. 发明公开

KR1020130114299A 파이버 타입 펨토초 레이저의 펄스 안정화 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：用于稳定光纤类型激光器的脉冲的装置和方法
公开(公告)号：KR1020130114299A
公开(公告)日：2013-10-18
申请号：KR1020120036511
申请日：2012-04-09
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김수현 , 김경수 , 류성윤 , 권원식 , 이협 , 김진환 , 최진두 , 조승환 , 이상욱 , 오승렬
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/06791 , H01S3/1061 , H01S3/1118 , H01S3/136 , H01S3/139
摘要： PURPOSE: A pulse stabilization device of a fiber type femto second laser and a method thereof are provided to obtain stabilized laser pulses by automatically executing a locking mode. CONSTITUTION: A fiber type femto second laser system comprises a pump laser (100), a fiber resonator (200), and a distance controller (300). The distance controller controls a distance (d) between a saturable absorber and an optical fiber connector. The distance controller comprises a base (360), a first fiber (210), a second fiber (320), a moving unit (330), and a driving unit (340). The second optical fiber holds the saturable absorber. The moving unit relatively moves the base in order to control the distance between the saturable absorber and the first fiber. The driving unit relatively moves the moving unit. [Reference numerals] (500) Detector; (600) Operation controller unit; (800) Display unit
摘要翻译：目的：提供光纤式毫微微秒激光器的脉冲稳定装置及其方法，以通过自动执行锁定模式来获得稳定的激光脉冲。构成：纤维型毫微微第二激光系统包括泵浦激光器（100），光纤谐振器（200）和距离控制器（300）。距离控制器控制可饱和吸收器和光纤连接器之间的距离（d）。距离控制器包括基座（360），第一光纤（210），第二光纤（320），移动单元（330）和驱动单元（340）。第二光纤保持可饱和吸收体。移动单元相对移动底座以便控制可饱和吸收体和第一纤维之间的距离。驱动单元相对移动移动单元。（附图标记）（500）检测器; （600）操作控制器单元; （800）显示单元

36. 发明授权

KR100913349B1 만곡 격자 마운트를 구비한 라인 내로우잉 유닛 有权
标题翻译：带有柔性砂光装置的线性单元
公开(公告)号：KR100913349B1
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：KR1020037016873
申请日：2002-06-05
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 타이터스클레이씨. , 헐버드윌리엄쥐. , 사이벌스키레이몬드에프. , 알고츠존엠. , 라이식마이클에스.
IPC分类号： G02B5/06
CPC分类号： H01S3/036 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/0401 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： 고 에너지 레이저 빔을 산출하는 레이저를 라인 내로우잉하기 위한, 격자 기반 라인 내로우잉 디바이스가 개시된다. 격자와 하우징 구조 사이의 상이한 열 팽창에 의해 유발된 격자상의 응력을 사실상 제거하는 만곡 격자 마운트가 제공된다. 두껍고 극히 낮은 열 팽창의 유리 기판상의 매우 얇은 알루미늄으로 구성된 격자가 만곡 격자 마운트를 사용하여 알루미늄 하우징 구조에 부착되어 있다. 적어도 하나의 만곡 조인트가 기판의 열 팽창 및 수축을 허용하는 격자 마운트내에 제공된다. 특정 실시예에서, 마운트는 금속 플레이트를 포함하고 만곡 조인트는 금속 플레이트내에 기계가공된 4개의 레그(126)를 구비한 H-만곡 조인트(124)이다. 다른 실시예에서, 2개의 H-만곡 조인트가 제공된다. 다른 실시예에서, 만곡 조인트는 마운트의 일단부가 타단부에 대하여 슬립핑될 수 있도록 하는 도브테일 조인트이다.
격자, 라인 내로우잉 디바이스, 만곡 격자 마운트, 열팽창계수, 금속 플레이트, H-만곡 조인트, 도브테일 조인트

37. 发明授权

KR100768689B1 레이저빔 균일 조사 제어가 가능한 의료용 레이저스캐너발진 제어 시스템 및 그에 의한 발진 제어 방법 有权
标题翻译：医用激光扫描仪发射控制装置控制均质辐射激光束及其方法
公开(公告)号：KR100768689B1
公开(公告)日：2007-10-19
申请号：KR1020070063530
申请日：2007-06-27
申请人： 주식회사 루트로닉
发明人： 황해령 , 공승환 , 하태호 , 이을재
IPC分类号： A61B17/00 , A61B5/00
CPC分类号： A61B5/0059 , G02B26/00 , H01S3/101 , H01S3/13
摘要： A medical laser scanner oscillation control system uniformly irradiating a laser beam and a method thereof are provided to improve accuracy of speed data of a laser scanner by calculating the speed data based on a space point and posture data of a scanner. A medical laser scanner oscillation control system uniformly irradiating a laser beam includes a reference point generator(120), a laser scanner(110), a magnetic sensor(130), a speed meter(140), and a laser oscillation controller(150). The reference point generator(120) decides an absolute origin of space(O=[0, 0, 0]^t) and an absolute reference base(beta={e1, e2, e3}). The absolute origin of space and the absolute reference base is fixed during an operation. The laser scanner(110) irradiates the laser beam on each point of skin of a subject(S) for the operation based on a laser beam oscillation control signal inputted from the laser oscillation controller(150). The magnetic sensor(130) is installed on the laser scanner(110) for detecting movement of the laser scanner(110) and continuously outputs point and posture data. The speed meter(140) calculates a moving speed of the laser scanner(110) in real time based on the point and posture data. The laser oscillation controller(150) receives speed data from the speed meter(140) and outputs a laser beam oscillation control signal.
摘要翻译：提供均匀照射激光束的医用激光扫描器振荡控制系统及其方法，其方法是通过基于扫描器的空间点和姿势数据计算速度数据来提高激光扫描仪的速度数据的精度。一种均匀照射激光束的医用激光扫描器振荡控制系统包括参考点发生器（120），激光扫描器（110），磁传感器（130），速度计（140）和激光振荡控制器（150）。参考点发生器（120）决定空间的绝对原点（O = [0,0,0] ^ t）和绝对参考基准（β= {e1，e2，e3}）。空间的绝对原点和绝对参考基准在操作期间是固定的。激光扫描器（110）基于从激光振荡控制器（150）输入的激光束振荡控制信号，将激光束照射到被摄体（S）的皮肤的每个皮肤点上。磁传感器（130）安装在激光扫描器（110）上，用于检测激光扫描器（110）的移动，并连续输出点和姿势数据。速度计（140）基于点和姿势数据实时计算激光扫描仪（110）的移动速度。激光振荡控制器（150）从速度计（140）接收速度数据并输出激光束振荡控制信号。

38. 发明公开

KR1020060104946A 능동적으로 큐 스위치된 레이저의 안정화 有权
标题翻译：激光Q开关激光器的稳定性
公开(公告)号：KR1020060104946A
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020060028509
申请日：2006-03-29
申请人： 비아비 솔루션즈 아이엔씨.
发明人： 아이레스로렌 , 그레그제프리 , 비흐만베르너하. , 모어헤드제임스제이.
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/117 , H01S3/0815 , H01S3/0941 , H01S3/10038 , H01S3/109 , H01S3/115 , H01S3/13 , H01S3/1306 , H01S3/1611 , H01S3/1643
摘要： 본 발명은 안정한 광학 주파수 변환 출력이 생성되는, 공강내 비선형 커플러를 가진 능동적으로 Q 스위치된 레이저에 관한 것이다. 이득 변동 비반응성 조건이 정의되어 몇몇 예들에 대하여 설명된다. 이 조건을 만족시키는 커플링 레벨을 가진 비선형 출력 커플러는, 펄스들이 Q 스위치에 의하여 클리핑된 경우에도 펄스들이 최소로 상호작용하도록 안정적으로 레이저를 조작하는 것을 가능하게 한다. 따라서, 개시된 레이저의 출력 펄스 지속시간 및 반복 주파수가 레이저 이득 레벨 및 동역학에 관계없이 실질적으로 광범위한 범위에 걸쳐 변화될 수 있다. 비록 2차 및 3차 고조파 광학 주파수 변환이 증명되지만, 개시된 레이저는 다른 광학 주파수 변환 영역에서도 적용가능함은 물론이다.

39. 发明公开

KR1020010030108A 자동으로 빔특성을 제어하는 스마트 레이저 无效
标题翻译：具有自动光束质量控制的智能激光
公开(公告)号：KR1020010030108A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000048302
申请日：2000-08-21
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에리프레더릭지. , 벅제세디. , 다스팔라시피.
IPC分类号： H01S3/225
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： PURPOSE: A smart laser with automated beam quality control is provided, which has a computer automatically controlling wavelength and bandwidth by using a feed back signal from a wavemeter. CONSTITUTION: A smart laser having automatic computer control of pulse energy, wavelength and bandwidth using feedback signals from a wavemeter. Pulse energy is controlled by controlling discharge voltage, wavelength by controlling the position of an RMAX mirror in a line narrowing module and bandwidth is controller by adjusting the curvature of a grating in the line narrowing module. Preferred embodiments include automatic feedback control of horizontal and vertical beam profile by automatic adjustment of a prism plate on which beam expander prisms are located and automatic adjustment of the RMAX tilt.
摘要翻译：目的：提供具有自动光束质量控制的智能激光器，其具有通过使用波形计的反馈信号自动控制波长和带宽的计算机。规定：智能激光器可以使用波形计的反馈信号自动计算机脉冲能量，波长和带宽。脉冲能量通过控制放电电压，波长控制，通过控制线窄线模块中的RMAX反射镜的位置，并通过调整线窄化模块中的光栅的曲率来控制带宽。优选实施例包括通过自动调节光束扩展器棱镜所在的棱镜板和自动调整RMAX倾斜来自动反馈水平和垂直光束轮廓。

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