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    • 32. 发明公开
    • 배선 기판의 검사 장치
    • 接线板检查装置
    • KR1019960032045A
    • 1996-09-17
    • KR1019960004775
    • 1996-02-27
    • 샤프 가부시키가이샤
    • 시마다요시노리
    • G02F1/13
    • 본 발명의 목적은, 배선기판의 검사 시간을 단축하는데 있다. 재치대(13)위에 재치된 기판 부재(12)의 소스 신호 배선에는 신호 공급 수단(17)으로부터 프레임(14)의 단자를 개재하여 고주파 신호가 인가된다. 기판 부재(12)의 주사 배선에는 전압의 절대값이 고주파 신호의 전압 진폭보다도 크고, 전압 극성이 정(+)인 신호가 인가된다. 신호가 인가된 상태의 기판부재(12)의 적외선 화상을 촬상수단(15)에서 촬상한다. 화상 처리수단(16)에서는, 촬성 수단(15)으로부터 제공된 화상 데이터로부터 적외선 방사량에 따라 콘트라스트가 변화한 적외선 화상을 형성하고, 상기 적외선 화상을 배선 패턴이 동등한 크기의 복수의 영역에 분할한다. 제어수단(18)에서는, 분할된 각 영역의 화상을 각각 인접하는 복수의 영역의 화상과 비교하여 상위점을 검출한다. 상위점이 검출된 경우 그 영역에는 결함이 있는 것으로 판단한다.