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热词
    • 36. 发明公开
    • 실리카함유 포토 레지스트를 이용한 반도체 및 광소자제조 방법
    • 使用含硅光电子器件的半导体器件和光学器件及其制造方法
    • KR1020020013107A
    • 2002-02-20
    • KR1020000046510
    • 2000-08-11
    • 삼성전자주식회사
    • 정선태김동수조성제
    • H01L21/027
    • PURPOSE: A method for forming a semiconductor using silica-containing photoresist is provided to enable a deep etch and shorten manufacturing time, by increasing selectivity of photoresist to silica in a silica etch process without using a metal mask. CONSTITUTION: The silica-containing photoresist is applied on a silicon wafer. Ultraviolet rays are irradiated into only a predetermined region on the silicon wafer on which the photoresist is coated. The exposed portion of the silicon wafer is reacted with developer and eliminated. Etch gas is supplied to the silicon wafer to remove the portion of the silicon wafer reacting with the etch gas.
    • 目的:提供使用含二氧化硅的光致抗蚀剂形成半导体的方法,通过在不使用金属掩模的情况下,通过增加二氧化硅蚀刻工艺中的光致抗蚀剂对二氧化硅的选择性,能够深刻蚀刻并缩短制造时间。 构成:将含二氧化硅的光致抗蚀剂施加在硅晶片上。 紫外线仅照射到其上涂覆有光致抗蚀剂的硅晶片上的预定区域。 硅晶片的暴露部分与显影剂反应并消除。 将蚀刻气体供应到硅晶片以去除与蚀刻气体反应的硅晶片的部分。
    • 37. 实用新型
    • 냉장고의 냉기공급장치
    • 冷藏机的冷空气供应装置
    • KR200117032Y1
    • 1998-06-15
    • KR2019940007073
    • 1994-04-04
    • 삼성전자주식회사
    • 정의철조성제
    • F25D17/08
    • F25D2317/0662
    • 본 고안은 냉장고의 냉장실에 공급되는 냉기량 및 냉기방향을 가변할 수 있는 냉장고의 냉기공급장치에 관한 것으로서, 냉장고본체와, 냉기를 발생하는 냉각기와, 상기 냉각기로부터 발생된 냉기를 냉장고 본체로 공급하도록 냉기공급닥트 및 냉기공급닥트에서 분기하여 냉장실에 인접하여 길이방향으로 설치된 분기닥트를 구비한 냉장고의 냉기공급장치에 있어서, 상기 분기닥트에는 원기둥의 일부가 길이방향을 따라 삭제된 회전댐퍼(65)가 배설되고, 이 회전댐퍼(65)를 편심시켜 회전자유롭게 지지하는 편심축부재(63)가 모터(67)에 연결되어 있어, 상기 회전댐퍼(65)가 회전함에 따라 상기 분기닥트내의 냉기통로 면적이 직접 변화하는 것을 특징으로 하며, 이와 같이 구성되어 있으므로, 냉장실내의 온도를 제어함과 동시에 냉장실내에 냉기를 균일하� �� 분포시켜 냉장실내의 온도분포를 균일하게 하여 냉장실내에 재치된 식품을 양호하게 냉장할 수 있다.