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热词
    • 26. 发明公开
    • 탄소나노튜브를 이용한 압력센서 및 그 제조방법
    • 使用碳纳米管的压力传感器及其制造方法
    • KR1020140057736A
    • 2014-05-14
    • KR1020120123792
    • 2012-11-02
    • 한국에너지기술연구원
    • 한상도
    • G01L11/00G01L9/02B82Y25/00
    • The present invention relates to a pressure sensor using carbon nanotubes and a manufacturing method thereof and, more specifically, to a manufacturing method of a high-sensitive pressure sensor for measuring the pressure or weight using carbon nanotubes, and the pressure sensor manufactured by the manufacturing method. The present invention can evenly disperse the carbon nanotubes using a dispersion solution with an optimal component ratio, and improve sensor sensitivity by applying the dispersed carbon nanotubes. Also, the present invention can improve a reaction speed by making the pressure sensor ultra-thin, be economical with a simple manufacturing process, and have a large area using a filtering method due to solution dispersion.
    • 本发明涉及使用碳纳米管的压力传感器及其制造方法,更具体地,涉及使用碳纳米管测量压力或重量的高灵敏度压力传感器的制造方法,以及由制造商制造的压力传感器 方法。 本发明可以使用最佳组分比的分散溶液均匀分散碳纳米管,并通过涂布分散的碳纳米管来提高传感器的灵敏度。 此外,本发明通过使压力传感器超薄,可以通过简单的制造工艺而经济,并且由于溶液分散而使用过滤方法具有大的面积,可以提高反应速度。
    • 27. 发明授权
    • 신축성 촉각센서의 제조방법
    • 制造弹性触觉传感器的方法
    • KR101222028B1
    • 2013-01-14
    • KR1020100069958
    • 2010-07-20
    • 한국표준과학연구원
    • 김종호
    • G01L9/02G01L1/20G01N27/04G01R27/00
    • 본 발명은 신축성 있는 전극층을 구비함으로써 촉각센서가 유연한 신축성 촉각센서와 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 외부의 작용힘(Fin)이 인가되며, 신축성을 갖는 제 1 고분자층(110); 제 1 고분자층(110) 일면에 신호선을 형성하는 제 1 신호선(120); 제 1 신호선(120)과 연결되어 전극을 형성하는 제 1 전극층(130); 및 제 1 전극층(130)의 일면에 증착되어 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 1 저항층(140);으로 이루어진 하판(100); 제 1 고분자층(110)과 대향하는 방향에 구비되어 신축성을 갖는 제 2 고분자층(210); 제 2 고분자층(210) 일면에 신호선을 형성하는 제 2 신호선(220); 제 2 신호선(220)과 연결되어 전극을 형성하는 제 2 전극층(230); 및 제 2 전극층(230) 일면에 증착되어 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 2 저항층(240);으로 이루어진 상판(200); 및 하판(100)과 상판(200)을 결합하는 결합층(300);을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서가 개시된다.
    • 28. 发明授权
    • 자동차용 압력센서 구조체 및 그 압력센서의 패키징 방법
    • 汽车压力传感器结构体和包装方法
    • KR101200837B1
    • 2012-11-13
    • KR1020100060606
    • 2010-06-25
    • 대양전기공업 주식회사
    • 서영우노상수서정환이응안
    • G01L9/02G01L7/08G01L19/00
    • 본 발명은 자동차용 압력센서 구조체 및 그 압력센서의 패키징 방법에 관한 것으로, 금속다이아프램의 압력감지막에 형성되는 패턴저항의 설계시 휘스톤 브릿지의 연결을 적용하여 전극패드를 간소화하게 형성하며 서포터의 상부에 전극패드와 전극핀을 일체화로 형성하여 상기 서포터의 전극패드와 상기 압력감지부의 전극패드와 리드와이어를 통해 연결되고 상기 서포터의 전극핀과 인쇄회로기판이 솔더링을 통해 동시에 용이하게 전기적으로 연결되어 구조적으로 안정하게 고정되며 인쇄회로기판을 지지하는 역할을 동시에 하게 되어 소형화가 가능하고 상기 금속다이아프램에 상기 서포터의 하부에 형성된 화살촉 모형의 핀이 삽입 결합되어 조립이 쉽고 단순하게 이루어지며 외부 케이스의 조립 시 용접 및 접합공정이 불필요하게 되어 작업시간이 단축될 뿐만 아니라 분리 탈착이 어렵게 형성되며 부품의 수와 종류를 줄여 구조와 조립공정을 단순화시키는 것이 가능하며 제조단가를 줄여 저렴한 가격으로 제품의 생산이 가능하고 우수한 신뢰성과 생산성을 갖는 자동차용 압력센서 구조체 및 그 압력센서의 패키징 방법에 관한 것이다.
    • 29. 发明公开
    • 압저항형 압력센서 및 그의 제조방법
    • PIEZORESISTOR型压力传感器及其制造方法
    • KR1020120016426A
    • 2012-02-24
    • KR1020100078776
    • 2010-08-16
    • 전자부품연구원
    • 황학인이대성신규식조남규
    • G01L9/02H01L29/84
    • G01L9/06G01L9/0042G01L9/0051H01L29/84
    • PURPOSE: A piezo-resistance pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size of a cavity by forming the cavity through an etching process with xenon fluoride gas, which has an excellent etching selection ratio. CONSTITUTION: A piezo-resistance pressure sensor comprises a substrate(110), an etching barrier layer(118), a cavity(121), a sealing film, an upper electrode(115), and a first electrode terminal(125). The substrate holds a first semiconductor layer working as a lower electrode, a dielectric layer and a second semiconductor layer. The etching barrier layer is expanded into the first semiconductor layer through the second semiconductor layer and the dielectric layer. The cavity is defined by the etching barrier layer to be formed in the first semiconductor layer. The sealing film buries an opening expanded to the cavity through the second semiconductor layer and the dielectric layer.
    • 目的:提供一种压电阻压力传感器及其制造方法,通过利用具有优异的蚀刻选择比的氙氟化物气体的蚀刻工艺形成空腔来容易地控制空腔的尺寸。 构成:压电阻压力传感器包括基板(110),蚀刻阻挡层(118),空腔(121),密封膜,上电极(115)和第一电极端子(125)。 衬底保持用作下电极,电介质层和第二半导体层的第一半导体层。 蚀刻阻挡层通过第二半导体层和电介质层扩展到第一半导体层。 空腔由要在第一半导体层中形成的蚀刻阻挡层限定。 密封膜通过第二半导体层和电介质层埋入扩大到空腔的开口。
    • 30. 发明公开
    • 배선형 및 접점형 개폐기를 이용한 압력검출장치 및 그 방법
    • 压力检测装置及使用接线开关的方法
    • KR1020080077428A
    • 2008-08-25
    • KR1020070016914
    • 2007-02-20
    • 이시우
    • 이시우
    • G01L9/02G01L9/08G01L1/14
    • A pressure detector using an interconnection type switch and a method thereof are provided to easily check changes of a position and a situation of an object for security. A pressure detector using an interconnection type switch includes an interconnection type switch(10), a detecting unit(20), a micom controller(30), and a wireless communication unit(40). The interconnection type switch includes a pair of conductors, an insulator, and a protective tube. The insulator insulates the conductors. The protective tube protects the conductors and the insulator from water. The detecting unit consists of a current detector(21) and a waveform delay detector(22). The current detector and the waveform delay detector are connected with the interconnection type switch and detect current and waveform delay according to pressure applied position. The micom controller receives the current and the waveform delay for calculating the pressure applied position. The wireless communication unit wirelessly transmits information about the pressure applied position to a central control center.
    • 提供一种使用互连式开关的压力检测器及其方法,以便于检查物体的位置和状况的变化以便于安全。 使用互连型开关的压力检测器包括互连型开关(10),检测单元(20),微计算机控制器(30)和无线通信单元(40)。 互连型开关包括一对导体,绝缘体和保护管。 绝缘体绝缘导体。 保护管保护导体和绝缘体免受水污染。 检测单元由电流检测器(21)和波形延迟检测器(22)组成。 电流检测器和波形延迟检测器与互连型开关连接,根据施加位置检测电流和波形延迟。 微机控制器接收电流和波形延迟来计算压力施加位置。 无线通信单元将关于压力施加位置的信息无线地发送到中央控制中心。