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    • 21. 发明授权
    • 복합 기판의 브레이크 방법 및 브레이크 장치
    • KR102362346B1
    • 2022-02-11
    • KR1020150063979
    • 2015-05-07
    • B28D5/00C03B33/02C03B33/10
    • [과제] 복합기판을분단잔류물이없는상태로확실또한효율적으로브레이크할수 있는브레이크방법및 브레이크장치를제공한다. [해결수단] 취성재료로이루어지는기판본체 (1) 의편면에접착층 (2) 을개재하여수지층 (3) 이형성되고, 기판본체 (1) 의표면에복수조의스크라이브라인 (S) 을형성한복합기판 (W) 의브레이크방법으로서, 복합기판 (W) 의기판본체 (1) 를하측으로하여점착테이프 (5) 에첩부하고, 수지층 (3) 의상면으로부터스크라이브라인 (S) 에브레이크바 (8) 를가압함으로써, 브레이크바 (8) 의날끝을수지층 (3) 과접착층 (2) 에절입하면서밀어넣음과함께, 기판본체 (1) 를하방으로휘게하여스크라이브라인 (S) 을따라기판본체 (1) 를브레이크하는제 1 브레이크공정과, 점착테이프 (5) 를상측으로하여복합기판 (W) 의상면전체폭에롤러 (13) 를가압전동시킴으로써, 제 1 브레이크공정에서브레이크된분단라인 (L) 을다시휘게하여분단잔류물부분을브레이크하는제 2 브레이크공정으로구성한다.
    • 22. 发明授权
    • 스크라이브 장치 및 홀더 유닛
    • KR102359869B1
    • 2022-02-09
    • KR1020170064913
    • 2017-05-25
    • B28D5/02B28D7/00
    • [과제] 스크라이브라인의형성위치를안정시키는것이가능한스크라이브장치및 홀더유닛을제공한다. [해결수단] 스크라이브장치(1)는, 홀더유닛(30)과, 홀더유닛(30)을유지하는스크라이브헤드를구비한다. 홀더유닛(30)은, 유지홈(63)과, 핀구멍(64a, 64b)과, 스크라이빙휠(40)의관통공(41)과핀 구멍(62a, 62b)에삽입되는핀 축(50)을구비한다. 스크라이빙휠(40)이기판표면에밀어붙여지면, 스크라이빙휠(40)의양측면이각각유지홈(63)의서로대향하는내측면(65a, 65b)에밀어붙여지도록, 관통공(41)과핀 축(50)과의사이의클리어런스와, 유지홈(63)의내측면(65a, 65b)과스크라이빙휠(40)의측면과의사이의클리어런스와, 유지홈(63)의내측면(65a, 65b)에대한핀 축(50)의경사각이설정되어있다.
    • 26. 发明授权
    • 자석에 의해 부착되는 드릴을 구비한 앵커지지대와 이를 이용한 앵커볼트 시공구조
    • KR102345205B1
    • 2021-12-30
    • KR1020190129513
    • 2019-10-18
    • E04B1/76B28D1/14B28D7/00
    • 본발명은단열재가부착된벽체에받침부재를설치할때 단열재를뚫고삽입되어벽체에설치된앵커볼트를지지하되드릴부재가자력에의해결합되도록구성됨으로써한번의천공작업만으로단열재에설치할수 있게되어작업성이우수하고시공편의성이향상됨과아울러앵커볼트를통한열교현상을차단할수 있도록한 자석에의해부착되는드릴을구비한앵커지지대와이를이용한앵커볼트시공구조에관한것으로, 본발명에따른자석에의해부착되는드릴을구비한앵커지지대는, 선단부에 2개소이상의톱날부(12)가구비된원통형상의몸체(11)와관통홈(14)이형성되어상기몸체(11)의후단부를막아주는커버(13)로구성되어단열재(110)가구비된벽체(100)에설치되는지지대(10)와; 선단의드릴날(21)과전동공구에결합되는후단의생크부(22) 사이에상기지지대(10)에결합되는결합몸체(23)가구비되어상기지지대(10)와일체로회전되는드릴부재(20)와; 자력을이용하여상기지지대(10)의커버(13)에부착되며상기드릴부재(20)의결합몸체(23)가끼움결합되는자착식고정부재(30);를포함하는것을특징으로한다.
    • 28. 发明授权
    • 웨이퍼의 생성 방법
    • KR102341602B1
    • 2021-12-22
    • KR1020150171605
    • 2015-12-03
    • B28D5/00B23K26/00B23K26/53C30B29/40B23K103/00
    • 본발명은, 잉곳으로부터효율적으로웨이퍼를생성할수 있는웨이퍼의생성방법을제공하는것을목적으로한다. 육방정단결정잉곳으로부터웨이퍼를생성하는웨이퍼의생성방법으로서, 육방정단결정잉곳에대하여투과성을갖는파장의레이저빔의집광점을잉곳의표면으로부터생성될웨이퍼의두께에상당하는깊이에위치시킴과더불어, 상기집광점과상기육방정단결정잉곳을상대적으로이동시켜상기레이저빔을잉곳의표면에조사하고, 표면에평행한개질층및 c면을따라상기개질층으로부터신장되는크랙을형성하여분리기점을형성하는분리기점형성단계를포함한다. 상기분리기점형성단계는, 직선형의개질층을형성하는개질층형성단계와, 오프각이형성되는방향이자상기 c면이내리막이되는방향으로상기집광점을상대적으로이동시켜소정량인덱싱하는인덱싱단계를포함한다.
    • 29. 发明授权
    • 웨이퍼의 생성 방법
    • KR102341591B1
    • 2021-12-22
    • KR1020150171677
    • 2015-12-03
    • B28D5/00B23K26/00B23K26/53B23K103/00
    • 본발명은, 잉곳으로부터효율적으로웨이퍼를생성할수 있는웨이퍼의생성방법을제공하는것을목적으로한다. 육방정단결정잉곳으로부터웨이퍼를생성하는웨이퍼의생성방법으로서, 육방정단결정잉곳에대하여투과성을갖는파장의레이저빔의집광점을표면으로부터생성될웨이퍼의두께에상당하는깊이에위치시킴과더불어, 상기집광점과상기육방정단결정잉곳을상대적으로이동시켜상기레이저빔을표면으로조사하고, 표면과평행한개질층및 상기개질층으로부터신장되는크랙을형성하여분리기점을형성하는분리기점형성단계와, 상기분리기점형성단계를실시한후, 상기분리기점으로부터웨이퍼의두께에상당하는판상물을상기육방정단결정잉곳으로부터박리하여육방정단결정웨이퍼를생성하는웨이퍼박리단계를포함하고, 상기분리기점형성단계는, 표면의수선에대하여 c축이오프각만큼기울고, 표면과 c면사이에오프각이형성되는방향과직교하는방향으로레이저빔의집광점을상대적으로이동시켜직선형의개질층을형성하는개질층형성단계와, 상기오프각이형성되는방향으로상기집광점을상대적으로이동시켜소정량인덱싱하는인덱싱단계를포함하는것을특징으로한다.