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21. 发明公开

KR1020090073089A 레이저 가공방법 有权
标题翻译：激光工作方法
公开(公告)号：KR1020090073089A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020097003672
申请日：2007-09-26
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 아츠미가즈히로 , 구노고지 , 스즈키다츠야
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/062 , H01L21/301
CPC分类号： B23K26/046 , B23K26/0057 , B23K26/048 , B23K26/40 , B23K2203/50
摘要： The focal point of a working laser beam is made to follow precisely the laser-beam irradiated face of an object to be worked. A cutting-scheduled line (5) is irradiated along itself with a measuring laser beam. An astigmatism is added to the reflected light reflected on such a surface (3) of the working object (1) as is irradiated with the measuring laser beam. A displacement sensor signal is detected according to the focused image of the reflected light having the astigmatism added. A displacement sensor signal is made to have the feedback reference value according to the light quantity of the reflected light, so that the focal point ofthe working laser beam is adjusted to a predetermined position with respect to the surface (3). Even if an area having an extremely low reflectivity of the measuring laser beam is partially present so that the light quantity of the reflected light of the measuring laser beam drops, the focal point of the working laser beam drops can follow the surface (3) of the working object (1) reliably and precisely.
摘要翻译：使工作激光束的焦点精确跟随待加工物体的激光束照射面。切割预定线（5）自身用测量激光束照射。在被照射测量激光束的工作物体（1）的这种表面（3）上反射的反射光加上像散。根据添加了散光的反射光的聚焦图像来检测位移传感器信号。使位移传感器信号根据反射光的光量具有反馈参考值，使得工作激光束的焦点相对于表面（3）调节到预定位置。即使测量激光束的反射率极低的区域部分地存在，使得测量激光束的反射光的光量下降，工作激光束的焦点落下也可以遵循工作对象（1）可靠而精确。

22. 发明公开

KR1020080062779A 비정질 실리콘 결정화용 레이저 조사 장치 有权
标题翻译：用于结晶非晶硅的激光投影装置
公开(公告)号：KR1020080062779A
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：KR1020060138882
申请日：2006-12-29
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 성경훈
IPC分类号： B23K26/064 , B23K26/062 , B23K26/18
摘要： A laser irradiation device for crystallizing amorphous silicon is provided to progress a stabilized crystallization process by lessening average density difference due to laser beam irradiated afterwards, although laser beam with large energy density is irradiated. A laser irradiation device(101) for crystallizing amorphous silicon comprises a laser beam generation device(110), a first homogenizer(115), a second homogenizer(120), a short axis light collecting lens(125), an objective lens(130), a slit(135) and structures. The laser beam generation device radiates laser beam. The first homogenizer is located in a front surface of the laser beam generation device. The second homogenizer is spaced from the first homogenizer, and opposite to the laser beam generation device each other. The short axis light collecting lens is spaced from the second homogenizer. The objective lens is spaced from the short axis light collecting lens. The structures have bar shape and block a part of the laser beam.
摘要翻译：提供用于使非晶硅结晶的激光照射装置，通过减小随后照射的激光束引起的平均密度差来进行稳定的结晶处理，尽管照射具有大能量密度的激光束。用于结晶非晶硅的激光照射装置（101）包括激光束产生装置（110），第一均化器（115），第二均化器（120），短轴聚光透镜（125），物镜（130）），狭缝（135）和结构。激光束产生装置发射激光束。第一均化器位于激光束产生装置的前表面。第二均化器与第一均化器间隔开，并且与激光束产生装置相对。短轴聚光透镜与第二均化器间隔开。物镜与短轴聚光透镜隔开。这些结构具有棒形并且阻挡了激光束的一部分。

23. 发明公开

KR1020070121793A 제어된 절단 에지를 갖는 제품을 분리하는 방법 및 장치와,이와 같이 분리되는 제품 无效
标题翻译：用于分离具有受控切割边缘的产品和分离产品的方法和装置
公开(公告)号：KR1020070121793A
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：KR1020077024212
申请日：2006-03-21
申请人： 베시 네덜란드 비.브이.
发明人： 반에그몬드헨리조셉 , 지즐조한네스레오나르더스주리안
IPC分类号： H01L21/78 , H01L21/304 , B23K26/062
CPC分类号： B23K26/0075 , B23K26/38 , B23K37/08 , B23K2201/40 , H01L21/78
摘要： The invention relates to a method for separating products, in particular semiconductor circuits, from a shared carrier by means of laser cutting. The invention also relates to a device for applying this method. The invention further also relates to a product, in particular a semiconductor mounted on a carrier, separated by means of a laser beam using such a method.
摘要翻译：本发明涉及通过激光切割将产品特别是半导体电路从共享载体分离的方法。本发明还涉及一种应用该方法的装置。本发明还涉及一种通过使用这种方法利用激光束分离的产品，特别是安装在载体上的半导体。

24. 发明公开

KR1020070120491A 회절 격자의 레이저 손상 임계치를 증가시키는 방법 失效
标题翻译：增加激光雷达损伤阈值的方法
公开(公告)号：KR1020070120491A
公开(公告)日：2007-12-24
申请号：KR1020077019228
申请日：2006-02-16
申请人： 게에스이 헬름홀츠젠트룸 퓌어 슈베리오넨포어슝 게엠베하
发明人： 보르네이스스테판 , 온켈스에켄하드 , 자보르코바다사 , 뉴마이어폴
IPC分类号： B23K26/062 , B23K26/40 , C03C23/00
CPC分类号： H01S3/0057 , B23K26/0604 , B23K26/0613 , B23K26/067 , G02B1/12 , G02B5/18
摘要： The aim of the invention is to increase the laser damage threshold LDT of diffraction grids, especially dielectrically coated (multi-layer dielectric; MLD) diffraction grids. To this end, the invention relates to a method for treating a diffraction grid to be used in a high-energy laser device comprising a first laser, said method comprising the following steps: the diffraction grid is prepared, a second treatment laser is prepared, and the diffraction grid is irradiated with laser light from the second treatment laser until the laser damage threshold of the diffraction grid is increased. The invention also relates to a diffraction grid treated according to said method, and a laser system comprising one such diffraction grid.
摘要翻译：本发明的目的是增加衍射栅格的激光损伤阈值LDT，特别是介电涂层（多层电介质; MLD）衍射栅格。为此，本发明涉及用于处理包含第一激光器的高能激光器件中的衍射栅格的方法，所述方法包括以下步骤：制备衍射栅格，制备第二处理激光器，并且用来自第二处理激光器的激光照射衍射栅格，直到衍射栅格的激光损伤阈值增加。本发明还涉及根据所述方法处理的衍射栅格和包括一个这样的衍射栅格的激光系统。

25. 发明授权

KR100736689B1 원격 레이저 용접용 헤드의 티칭장치 및 그 방법 失效
标题翻译：用户可以使用该应用程序进行安装
公开(公告)号：KR100736689B1
公开(公告)日：2007-07-06
申请号：KR1020060040918
申请日：2006-05-08
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 김기순
IPC分类号： B23K26/062 , B23K26/042
摘要： An apparatus and a method for teaching a remote laser welding head are provided to improve the welding quality and reduce the working hour by performing a teaching operation of the remote laser welding head in an accurate and efficient manner. An apparatus for teaching a remote laser welding head comprises: an optical unit(110) comprised of a variable collimator(111), a beam expander(112) and a focusing lens(113); an X-axis mirror and a Y-axis mirror for reflecting laser beams guided by the optical unit onto weldments; a remote head part(100) including an X-axis galvanometer scanner(122) and a Y-axis galvanometer scanner(132) for rotationally driving the X-axis mirror and the Y-axis mirror; a distance sensor(200) movably linked to the remote head part to measure a distance between the remote head part and the weldments; a control device(300) for controlling the variable collimator, the X-axis galvanometer scanner, the Y-axis galvanometer scanner and the distance sensor, and storing data; and a teaching pendent(400) connected to the control device to teach coordinates of the remote head part.
摘要翻译：本发明提供了一种用于远程激光焊接头的示教装置和方法，以通过准确和高效地执行远程激光焊接头的示教操作来提高焊接质量并减少工作小时。一种远程激光焊接头的示教装置，包括：由可变准直器（111），扩束器（112）和聚焦透镜（113）组成的光学单元（110）; 用于将由光学单元引导的激光束反射到焊件上的X轴反射镜和Y轴反射镜; 包括用于旋转驱动所述X轴反射镜和所述Y轴反射镜的X轴检流计扫描仪（122）和Y轴检流计扫描仪（132）的远程头部部分（100）距离传感器（200），其可移动地连接至远程头部部分以测量远程头部部分与焊件之间的距离; 控制装置（300），其用于控制所述可变准直器，所述X轴检流计扫描仪，所述Y轴检流计扫描仪和所述距离传感器，并存储数据; 以及连接到控制装置以教授远程头部的坐标的教导下拉（400）。

26. 发明公开

KR1020060012010A 레이저 가공장치 有权
标题翻译：激光束机
公开(公告)号：KR1020060012010A
公开(公告)日：2006-02-06
申请号：KR1020057022022
申请日：2004-05-19
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 쿠로이와타다시 , 이지마켄이치 , 코바야시노부타카
IPC分类号： B23K26/062 , H05K3/00
CPC分类号： B23K26/0613 , B23K26/0604 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/08 , B23K26/082
摘要： A laser beam machine which spectrally separates a laser beam (2) emitted from an oscillator (1) into a first laser beam (7) passed through a first polarizing means (6) and reflected off a second polraizing means (9) via a mirror (5) and into a second laser beam (8) reflected off the first polarizing means (6), scanned by a first galvano-scanner (11) in two-axis directions and passed through the second polarizing means (9), and which scans them by a second galvano- scanner (12) to machine a work (13), characterized in that an angle- adjustable third polarization angle adjusting polarizing means (15) is disposed ahead of the first polarizing means (6).
摘要翻译：一种激光束机，其将从振荡器（1）发射的激光束（2）光谱分离成通过第一偏振装置（6）的第一激光束（7），并经由反射镜从第二聚焦装置（9）反射出来（5）并且进入从第一偏振装置（6）反射的第二激光束（8）中，由第一电流扫描器（11）沿双轴方向扫描并穿过第二偏振装置（9），并且其中通过第二电流扫描器（12）扫描它们以加工工件（13），其特征在于，角度可调的第三偏振角调节偏振装置（15）设置在第一偏振装置（6）的前方。

27. 发明授权

KR100479642B1 레이저가공기의 가공조건 제어방법 및 이를 위한프로그램을 기록한 컴퓨터 판독가능한 기록매체 有权
标题翻译：控制激光加工设备工艺条件的方法和程序的计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR100479642B1
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：KR1020017013669
申请日：1999-04-27
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 인도고오이치 , 마쓰바라마사토 , 기마타히데키
IPC分类号： B23K26/062
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/0622 , B23K26/382 , B23K26/702 , B23K2201/42 , B23K2203/50 , G06K1/126
摘要： 가공조건의 설정작업시에 오퍼레이터가 가공조건을 설정하면, 제어장치(1)는 그 설정된 가공조건에 따라, 레이저발진기(2)의 예상되는 부하율을 구하고, 그 부하율을 표시장치(3)에 가공조건체크바(8)로서 표시한다.
오퍼레이터는 그 가공조건체크바(8)를 보면서, 레이저발진기(2)의 부하율이 소정의 범위내에 수납되도록 가공조건을 조정하고, 적절한 가공조건을 결정한다. 이로써 실제의 가공때에 레이저발진기(2)에 과대한 부하가 걸리는 것을 방지한다.

28. 发明公开

KR1020020072186A 공간부를 형성할 고체 상태 자외선 가우시안 빔의 빔 성형 및 프로젝션 이미지 생성을 위한 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于波束形成和固态紫外高斯光束的投影图像生成以形成空间的系统和方法
公开(公告)号：KR1020020072186A
公开(公告)日：2002-09-14
申请号：KR1020017014584
申请日：2000-05-26
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 던스키코리엠. , 리우신빙 , 크로그리오니콜라스제이. , 로호와이 , 군드럼브리안씨. , 마츠모토히사시
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/062
摘要： 레이저 시스템(50)의 다이오드 펌핑, 고체 상태 레이저(52)는 회절 광학 소자(90)에 의해 균일 방사도 윤곽(uniform irradiance profile)을 가지는 성형된 출력(shaped output)(94)으로 변환된 자외선 가우시안 출력(54)을 제공한다. 고 퍼센트의 성형된 출력(94)은 마스크(98)의 개구부를 통해 집속되어 이미지 성형된 출력(imaged shaped output)(118)을 제공한다. 레이저 시스템(50)은 유사하게 클립된 가우시안 레이저 시스템(clipped Gaussian laser system)으로 이용가능한 처리량에 비해 공간부 가공 처리의 처리량을 증가시키는 방법을 용이하게 한다. 본 방법은 클립된 가우시안 레이저 시스템에 의해 생성된 품질보다 더 우수한 에지 품질, 바닥 품질, 및 테이퍼 품질을 가지는 블라인드 공간부(20b)를 가공하는데 특히 유리하다. 대안적인 레이저 시스템(150)은 회절 광학 소자(90)와 마스크(98)를 포함하는 성형된 이미지 생성 시스템(shaped imaging system)(70) 주위로 가우시안 출력을 향하게 하는 한 쌍의 빔 우회 갈바노미터 미러(beam diverting galvanometer mirrors)(152, 154)를 사용한다. 레이저 시스템(150)은 가우시안 출력 또는 이미지 성형된 출력(118) 중 어느 하나를 사용하는 옵션을 사용자에게 제공한다.

29. 发明公开

KR1019990044284A 레이저 가공장치 및 레이저 장치 无效
标题翻译：激光加工设备和激光设备
公开(公告)号：KR1019990044284A
公开(公告)日：1999-06-25
申请号：KR1019980701520
申请日：1996-09-02
申请人： 고마쯔 리미티드
发明人： 와까바야시오사무 , 샤꾸시데쓰오
IPC分类号： B23K26/062
摘要： 가공장치 쪽에, 연속 발진 운전을 개시시키는 버스트 온 신호와, 연속 발진 운전을 정지하여 정지 운전을 개시시키는 버스트 오프 신호를 발생시키고, 그 버스트 온.오프 신호를 상기 레이저 장치에 송신하는 버스트 온.오프 신호 송신 수단을 구비함과 아울러, 상기 레이저 장치 쪽에, 버스트 온 신호 및 상기 버스트 오프 신호를 수신하고 이들 신호를 이용하여 상기 버스트 운전에 관계된 제어를 실행하는 제어 수단을 구비하도록 하여, 레이저 발진 휴지중에는 충전 제어를 행할 필요가 없어서 레이저 장치의 안전화를 도모함과 아울러, 고정도의 레이저 출력 일정 제어를 달성할 수 있고, 그 밖의 각종 제어의 응답성, 제어 속도를 향상시킨다.

30. 发明公开

KR1019980008429A 스캐닝식 레이저 마킹방법 및 장치 无效
标题翻译：扫描激光标记方法和设备
公开(公告)号：KR1019980008429A
公开(公告)日：1998-04-30
申请号：KR1019970031793
申请日：1997-07-09
申请人： 가부시키가이샤 아마다미야치
发明人： 사이또오에리
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/062

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