专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

21. 发明公开

KR1020080064842A 압전 박막 공진자 有权
标题翻译：压电薄膜共振器
公开(公告)号：KR1020080064842A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020087009701
申请日：2006-02-09
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 우메다케이이치 , 카와무라히데키
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02086 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/584 , H03H9/587
摘要： A piezoelectric thin film resonator in which spurious of short wavelength can be suppressed. In a part of a thin film portion supported partially on a substrate (12) while isolated acoustically therefrom, a) an oscillatory portion (24) consisting of a pair of electrodes (14, 18) superposed in plan view while sandwiching a piezoelectric film (16), and b) an extra film (20) provided on the piezoelectric film (16) or the electrode (18) at least along a portion of the outer circumference of the oscillatory portion (24) are included. Assuming the acoustic impedance of the extra film (20) defined by the root of product of density and Young's modulus is x(MN sec/m3), product of the density and thickness of the extra film (20) is A, product of the density and thickness of the electrodes (14, 18) is B, and y=A/B, following relations are satisfied; (i) for 9.0
摘要翻译：可以抑制短波长寄生的压电薄膜谐振器。在薄膜部分部分地部分地支撑在衬底（12）上，同时隔离其中的薄膜部分的一部分中，a）由平面图叠加的一对电极（14,18）组成的振荡部分（24），同时夹着压电薄膜 16），以及b）至少沿振荡部分（24）的外圆周的一部分设置在压电薄膜（16）或电极（18）上的额外的薄膜（20）。假设由密度积和杨氏模量的根值定义的额外的膜（20）的声阻抗为x（MN sec / m3），额外膜（20）的密度和厚度乘积为A，电极（14,18）的密度和厚度为B，y = A / B，满足关系; （i）对于9.0 <= x <44.0,0.0092.x + 0.88 <= y <0.067.x + 0.60（1a）和（ii）对于44.0 <= x <79.0，-0.0035.x + 1.45 <= y <0.015.x + 2.9（1b）。

22. 发明公开

KR1020080034201A 벌크 탄성파 디바이스의 티타늄 텅스텐 합금 기반 미러 및전극 无效
标题翻译：大容量波形装置中的基于钛金属合金的反射镜和电极
公开(公告)号：KR1020080034201A
公开(公告)日：2008-04-18
申请号：KR1020087005810
申请日：2006-07-12
申请人： 트리퀸트 세미컨덕터 인코퍼레이티드
发明人： 업필리스리드하 , 월랄프엔. , 부셰기욤
IPC分类号： H03H9/17 , H03H3/02
CPC分类号： H03H9/587 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H9/584
摘要： Titanium-tungsten alloy based mirrors and electrodes in bulk acoustic wave devices simplify processing by eliminating the need for adhesion, barrier and seed layers, and preserve the advantages of tungsten layers. Alternate layers of high and low acoustic impedance materials are use, wherein the high acoustic impedance layers are titanium-tungsten alloy layers, preferably deposited by physical vapor deposition, and isotropically patterned with a wet etch. SiO2 is preferably used for the low acoustic impedance layers, though other low acoustic impedance materials may be used if desired. Electrodes and loads may also be a Titanium-tungsten alloy. Titanium-tungsten alloys in the range of 3 to 15 percent of titanium by weight are preferred.
摘要翻译：体积波形器件中的钛 - 钨合金镜和电极通过消除对粘合，阻挡层和种子层的需要，并且保留了钨层的优点，从而简化了处理过程。使用高和低声阻抗材料的交替层，其中高声阻抗层是钛 - 钨合金层，优选通过物理气相沉积沉积，并用湿蚀刻各向同性地图案化。 SiO 2优选用于低声阻抗层，尽管如果需要可以使用其它低声阻抗材料。电极和负载也可以是钛 - 钨合金。优选钛 - 钨合金的重量比为3〜15％的钛 - 钨合金。

23. 发明公开

KR1020040057089A 필름 벌크 탄성파 공진기 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：电影大容量声学谐振器及其制作方法
公开(公告)号：KR1020040057089A
公开(公告)日：2004-07-02
申请号：KR1020020083537
申请日：2002-12-24
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 이광진 , 안순홍
IPC分类号： H03H3/08
CPC分类号： H03H3/08 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H9/706 , H03H9/725
摘要： PURPOSE: A film bulk acoustic resonator and a fabricating method thereof are provided to reduce the target cost by using an aluminum target in a process for forming a bottom electrode and a top electrode. CONSTITUTION: A film bulk acoustic resonator includes a semiconductor substrate, a bottom electrode, a piezoelectric layer, and a top electrode. The semiconductor substrate(110) is formed with a shape of plate. The bottom electrode(130) is deposited on an upper surface of the semiconductor substrate. The bottom electrode is formed with aluminum. The piezoelectric layer(140) is formed by depositing aluminum nitride on an upper surface of the bottom electrode. The top electrode(150) is formed by depositing aluminum deposited on an upper surface of the piezoelectric layer.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，用于在形成底部电极和顶部电极的工艺中使用铝靶来降低目标成本。构成：薄膜体声波谐振器包括半导体衬底，底电极，压电层和顶电极。半导体衬底（110）形成为板状。底部电极（130）沉积在半导体衬底的上表面上。底部电极由铝形成。压电层（140）通过在底部电极的上表面上沉积氮化铝而形成。顶部电极（150）通过沉积沉积在压电层的上表面上的铝形成。

24. 发明公开

KR1020040019373A 공진기 장치 无效
标题翻译：谐振器设备
公开(公告)号：KR1020040019373A
公开(公告)日：2004-03-05
申请号：KR1020047001283
申请日：2002-06-04
申请人： 인피니언 테크놀로지스 아게
发明人： 아이너로버트 , 엘브레흐트루에데르 , 마르크스테이너스테판 , 티메한스-조에르그
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/175 , H03H9/02125
摘要： 본 발명은 압전 공진기(10) 및 높은 음향 임피던스를 갖는 층(18
2 , 18
4 ) 및 낮은 음향 임피던스를 갖는 층(18
1 , 18
3 , 18
5 )으로 이루어지는 음향 반사기(18)를 포함하는 공진기 장치에 관한 것이다. 하나의 층을 생성에서의 기술적인 한계에 기인하여 작동 주파수에서 해당 층 내의 파장의 1/4만큼 벗어나도록 하나의 층의 두께를 설정하고, 앞서 언급된 층에 따라서 다른 층의 두께를 설정하는 방식으로 음향 반사기를 위한 사전 결정된 최소 품질을 달성하게 된다.

25. 发明公开

KR1020010105733A 주파수 트리밍 코일을 갖는 벌크 음파 공진기 및 필터 失效
标题翻译：具有频率时间线圈的大容量声波谐波器和滤波器
公开(公告)号：KR1020010105733A
公开(公告)日：2001-11-29
申请号：KR1020000026472
申请日：2000-05-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 송인상 , 김정우 , 송기무
IPC分类号： H03H9/54
CPC分类号： H03H9/54 , H03H9/171 , H03H9/175 , H03H9/564
摘要： The disclosed ring clamp has two half-shells (10, 20), each having a first extremity with a bearing pad (12, 22) extending outwards, as well as a second extremity equipped with one of the elements (14, 22) of the means of connection used to connect the two second extremities of the half- shells removably. The section of said half-shells is substantially U- shaped, with the branches of the 'U' extending towards the interior and having the capacity to operate in conjunction with the protruding support surfaces on the extremities of the two tubes. The clamp comprises a tightening screw (30), the post (32) of which traverses the pierced holes of the bearing pads (12, 22). The length (L) of the post is at least substantially equal to the radius (R) of the ring clamp when closed, and said post is inserted loosely into the holes of the bearing pads. The elements (14, 24) of said means of connection are designed to unite in order to bring together the second half-shell extremities, or to separate in order to maintain said extremities apart while the post of the screw remains in place in the holes of the bearing pads.
摘要翻译：所公开的环形夹具具有两个半壳（10,20），每个具有第一末端，其具有向外延伸的轴瓦（12,22），以及配备有元件（14,22）之一的第二末端用于连接半壳的两个第二末端的连接装置可拆卸。所述半壳的部分基本上为U形，其中U形分支向内部延伸，并具有与两根管的末端上的突出的支撑表面一起操作的能力。所述夹具包括紧固螺钉（30），所述紧固螺钉（30）穿过所述轴承瓦块（12,22）的穿孔。柱的长度（L）至少基本上等于闭合时环形夹具的半径（R），并且所述柱松动地插入轴承瓦的孔中。所述连接装置的元件（14,24）被设计成联合在一起以将第二半壳末端组合在一起，或者为了保持所述末端分开而分离，同时螺钉的柱保持在孔中的轴瓦。

26. 发明授权

KR101923572B1 탄성파 장치 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101923572B1
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：KR1020177020801
申请日：2016-01-14
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 키시모토유타카 , 오무라마사시
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/17 , H03H9/145 , H03H3/08
CPC分类号： H03H9/02842 , H01L41/047 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H3/10 , H03H9/0211 , H03H9/02228 , H03H9/175 , H03H2003/025
摘要： 불요파에의한특성의열화가생기기어려운탄성파장치를제공한다. 압전체층(2)에여진전극으로서 IDT 전극(3)이마련되어있고, 압전체층(2)의제1 주면(2a) 상에음향반사층(5)이적층되어있으며, 음향반사층(5)이, 상대적으로음향임피던스가높은고음향임피던스층(5b, 5d, 5f)과상대적으로음향임피던스가낮은저음향임피던스층(5a, 5c, 5e)을가지고, 음향반사층(5)이, 압전체층(2) 측으로의불요파의반사를억제하는불요파반사억제구조(5x)를가지는, 탄성파장치(1).

27. 发明授权

KR101919118B1 체적 음향 공진기 有权
公开(公告)号：KR101919118B1
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：KR1020120005760
申请日：2012-01-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 신제식 , 김덕환 , 김철수 , 박호수 , 손상욱 , 송인상 , 이문철 , 추이징
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H01L41/107 , H03H9/02102 , H03H9/0211 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175
摘要： 체적음향공진기에관한것으로서, 체적음향공진기는기판의상부에위치한공기공동, 제1 전극, 제2 전극및 상기제1 전극과상기제2 전극사이에위치하는압전층을포함하는체적음향공진부및 상기제1 전극과상기제2 전극에인가되는신호에기초하여상기압전층에서발생하는공진주파수의웨이브(wave)를반사시키는반사층을포함한다.

28. 发明公开

KR1020170103677A BAW 디바이스 및 BAW 디바이스의 제조 방법 审中-实审
标题翻译： BAW装置和BAW装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020170103677A
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：KR1020170027027
申请日：2017-03-02
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 아바타케준
IPC分类号： H03H9/17 , H03H9/00 , H01L21/263
CPC分类号： H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H9/54 , H03H2003/025
摘要： 본발명은, 제조시의환경에의부하를낮게억제한 BAW 디바이스를제공하는것을목적으로한다. 기판(13)과, 기판의표면(13a)에형성된압전소자(23)를구비하는 BAW 디바이스(11)로서, 기판의이면측에는, 기판의이면을부분적으로용융하여형성되는오목부로이루어진탄성파확산영역(31)이형성되어있다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种BAW装置，其中制造时的环境负担被抑制到较低水平。具有衬底（13）和在衬底的表面（13a）上形成的压电元件（23）的BAW器件（11）设置有弹性波扩散区 31松开。

29. 发明公开

KR1020170097781A 탄성파 장치 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：地震波装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170097781A
公开(公告)日：2017-08-28
申请号：KR1020177020923
申请日：2016-03-09
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 키시모토유타카
IPC分类号： H03H9/25 , H03H9/145 , H03H9/17 , H03H3/02 , H03H3/08
CPC分类号： H03H9/25 , H01L41/338 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H3/08 , H03H3/10 , H03H9/02574 , H03H9/02897 , H03H9/0504 , H03H9/0561 , H03H9/058 , H03H9/13 , H03H9/145 , H03H9/175 , H03H2003/025 , H03H9/17
摘要： 다이싱공정시에층간의박리가생기기어려운탄성파장치및 그제조방법을제공한다. 탄성파장치(1)는, 제1 주면(2a)과, 상기제1 주면(2a)에대향하고있는제2 주면(2b)을가지는압전체층(2)과, 압전체층(2)의제1 주면(2a) 상에적층되어있는음향반사층(5)과, 압전체층(2)에마련되어있는여진전극과, 지지층(6)을포함한다. 음향반사층(5)은, 압전체층(2)의제2 주면(2b)에수직인방향으로봤을때, 적어도여진전극과겹치도록위치하고있다. 지지층(6)은, 적어도, 압전체층(2)의제2 주면(2b)에수직인방향으로봤을때, 음향반사층(5)을둘러싸도록마련되어있다.
摘要翻译：本发明提供一种在切割工序中难以发生层间剥离的弹性波装置及其制造方法。弹性波装置1包括具有第一主表面2a和与第一主表面2a相对的第二主表面2b的压电层2， 2a和2b，设置在压电层2上的激励电极和支撑层6.支撑层6由绝缘材料制成。声反射层5是在压电层2观察时，议程第二主表面（2b）的恶俗冲压方向，位于至少以重叠的激励电极。支撑层（6），至少设置，如在压电层2观察时，议程第二主表面（2b）的恶俗冲压方向，以便围绕所述声反射层（5）。

30. 发明公开

KR1020130044905A 박막 벌크 음향 공진기 및 박막 벌크 음향 공진기의 제조방법 审中-实审
标题翻译：电影大容量声学谐振器及其制作方法
公开(公告)号：KR1020130044905A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110109254
申请日：2011-10-25
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이문철 , 송인상 , 김덕환 , 김철수 , 손상욱 , 신제식 , 박호수 , 추이징
IPC分类号： H03H9/17 , H03H3/007
CPC分类号： H03H9/173 , H01L41/297 , H01L41/312 , H01L41/332 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H2003/021
摘要： PURPOSE: A thin film bulk acoustic resonator and a manufacturing method thereof are provided to resolve the crystal property degradation problem of a piezoelectric layer caused by the existing inclined structure. CONSTITUTION: An acoustic resonator(110) includes a first electrode(111), a second electrode, and a piezoelectric layer(113). The piezoelectric layer is located between the first electrode and the second electrode and generates acoustic waves according to the signal applied between the electrodes. An air gap(120) is located in the lower part of the acoustic resonator and reflects the acoustic waves. Anchors(131,133) are located in both sides of the air gap and is formed by the same process. Valleys(141,143) have the air gap; and a gap smaller than the air gap in the boundary surface. An engraving checking layer(160) is located in the upper side of a substrate and interrupts the etching of the substrate when generating the air gap. A membrane(170) is located in the upper part of the air gap, the anchor, and the upper part of the valley.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，以解决由现有的倾斜结构引起的压电层的晶体性质退化问题。构成：声谐振器（110）包括第一电极（111），第二电极和压电层（113）。压电层位于第一电极和第二电极之间，并根据施加在电极之间的信号产生声波。气隙（120）位于声谐振器的下部并反射声波。锚杆（131,133）位于气隙的两侧，由相同的过程形成。山谷（141,143）有气隙; 以及比边界面中的气隙小的间隙。雕刻检查层（160）位于基板的上侧，并且在产生气隙时中断基板的蚀刻。膜（170）位于气隙的上部，锚固体和谷的上部。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式