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21. 发明授权

KR101335546B1 레이저 장치의 문제 진단방법 및 문제 수리방법 有权
标题翻译：激光装置问题诊断方法及修复方法
公开(公告)号：KR101335546B1
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020060045161
申请日：2006-05-19
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 와타나베아키라 , 오쿠노타다시 , 츠기타히로시 , 스미요시데츠미 , 세키타히토시
IPC分类号： B23K26/60 , B23K26/70 , G01B11/00
CPC分类号： H01S3/0014 , A61B2018/00636 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/034 , B23K26/707 , B23K2203/30 , B23K2203/50 , G06F19/00 , G16H40/40 , H01S3/0007 , H01S3/0602 , H01S3/0941 , H01S3/13 , H01S3/1643
摘要： 본 발명은 의료분야에서 사용되는 레이저 치료장치나 공업분야에서 사용되는 레이저 가공장치 등의 레이저 장치의 문제를 조기에 발견하여, 레이저 장치의 보수작업에 필요한 시간을 단축하는 것을 목적으로 한다.
레이저 장치 안의 광학부품에서 발생하는 산란광의 강도를 측정하는 공정과, 레이저 장치의 소정의 운전환경하에서 예측되는 산란광 강도의 경시변화를 나타내는 데이터를 참조하여, 산란광의 강도로부터 광학부품의 문제의 정도를 예측하는 공정과, 문제의 정도에 근거하여, 필요한 보수작업을 판정하는 공정을 가진다. 또한, 산란광 강도와 광학부품의 문제 정도와의 관계를 규정하는 멤버쉽 함수를 근거로, 퍼지 추론을 실행함으로써, 광학부품의 문제 정도를 예측한다.
광학부품 문제, 보수, 산란광

22. 发明公开

KR1020110086020A 2 챔버 가스 방전 레이저의 레이저 제어 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于两台气体放电激光器激光控制的方法和装置
公开(公告)号：KR1020110086020A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：KR1020117010145
申请日：2009-10-20
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 자크로버트엔.
IPC分类号： H01S3/13 , G03F7/20 , H01S3/104 , H01S3/23 , H01S3/00 , H01S3/034
CPC分类号： H01S3/104 , G03F7/70025 , H01S3/0057 , H01S3/034 , H01S3/13 , H01S3/2325
摘要： 레이저 제어 시스템은 오실레이터 가스 챔버 및 증폭 가스 가스 챔버를 포함한다. 제1 전압 입력은 오실레이터 가스 챔버내의 제1 쌍의 전극과 증폭기 가스 챔버내의 제2 쌍의 전극에 전기 펄스를 전달하도록 연결되어 있다. 가스 챔버의 출력은 사다리꼴 윈도우에 의해 계산된 에너지 도스이다. 제어 회로는 제1 전압 입력을 수정하기 위해 제1 전압 입력에 연결되어 있다. 피드 제어 루프는 가스 챔버의 출력을 제어 회로에 전송하여 제1 전압 입력을 수정한다.

23. 发明授权

KR100614440B1 에탈론 기반 출력 커플러를 구비한 협대역 레이저 有权
标题翻译：带有基于ETALON的输出耦合器的窄带激光器
公开(公告)号：KR100614440B1
公开(公告)日：2006-08-21
申请号：KR1020007006197
申请日：1998-12-07
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에르쇼프알렉산더아이.
IPC分类号： H01S3/098
CPC分类号： H01S3/1062 , G03F7/70025 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/08059 , H01S3/08081 , H01S3/0812 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/139 , H01S3/225
摘要： 회절격자 기초 라인 협소화 모듈, 에탈론-기초 라인 협소화 출력 커플러(64) 및 레이저를 튜닝하는 기술을 구비한 라인 협소화된 레이저. 에탈론-기초 출력 커플러(64)는 회절격자에 의해 생성된 스펙트럼의 최고값에서 혹은 근사치에서 광을 용이하게 선택적으로 반사할수 있다. 라인 협소화의 실질적인 발전은 에탈론-기초 출력 커플러(64)에 의해 선택적으로 반사되는 회절격자 스펙트럼의 최고값에서 혹은 근사치에서의 레이저 공진 챔버 내의 증폭을 통해서 야기된다. 회절격자 기초 라인 협소화 모듈에 의해 선택된 파장을 정합하기 위한 에탈론-기초 출력 커플러(64)를 튜닝하는 수 개의 방법이 공지된다.
에탈론, 출력 커플러, 라인 협소화 모듈, 레이저, 회절격자

24. 发明公开

KR1020040020938A 만곡 격자 마운트를 구비한 라인 내로우잉 유닛 有权
标题翻译：在一个弯曲的网格安装线上，
公开(公告)号：KR1020040020938A
公开(公告)日：2004-03-09
申请号：KR1020037016873
申请日：2002-06-05
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 타이터스클레이씨. , 헐버드윌리엄쥐. , 사이벌스키레이몬드에프. , 알고츠존엠. , 라이식마이클에스.
IPC分类号： G02B5/06
CPC分类号： H01S3/036 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/0401 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： 고 에너지 레이저 빔을 산출하는 레이저를 라인 내로우잉하기 위한, 격자 기반 라인 내로우잉 디바이스가 개시된다. 격자와 하우징 구조 사이의 상이한 열 팽창에 의해 유발된 격자상의 응력을 사실상 제거하는 만곡 격자 마운트가 제공된다. 두껍고 극히 낮은 열 팽창의 유리 기판상의 매우 얇은 알루미늄으로 구성된 격자가 만곡 격자 마운트를 사용하여 알루미늄 하우징 구조에 부착되어 있다. 적어도 하나의 만곡 조인트가 기판의 열 팽창 및 수축을 허용하는 격자 마운트내에 제공된다. 특정 실시예에서, 마운트는 금속 플레이트를 포함하고 만곡 조인트는 금속 플레이트내에 기계가공된 4개의 레그(126)를 구비한 H-만곡 조인트(124)이다. 다른 실시예에서, 2개의 H-만곡 조인트가 제공된다. 다른 실시예에서, 만곡 조인트는 마운트의 일단부가 타단부에 대하여 슬립핑될 수 있도록 하는 도브테일 조인트이다.

25. 发明公开

KR1020040005916A 정보 카드 시스템 无效
标题翻译：信息卡系统
公开(公告)号：KR1020040005916A
公开(公告)日：2004-01-16
申请号：KR1020037013324
申请日：2002-03-26
申请人： 차이 에리카 , 차이 존 씨.
发明人： 차이에리카 , 차이존씨.
IPC分类号： G06K7/08
CPC分类号： H04B10/572 , G01J2009/0257 , G06K7/084 , G06K19/083 , G06K19/12 , H01S3/13 , H04B10/07 , H04B10/503
摘要： 본 발명에 따른 데이터 배포 시스템(10)은 정보 카드(12) 및 판독기(14)를 포함한다. 정보 카드(12)는 그 전면의 가시적 표식(20)과, 그 후면의 스트립 구역들(34) 및 링 구역(36)을 포함한다. 구역들(34, 36)은 자기적으로 데이터 및 선택적 데이터 식별자들을 기록하는 데 적합하다. 판독기(14)는 선형 판독기(14a) 또는 회전형 판독기(14b)일 수 있고, 그리고 선택적으로는 데이터 식별자를 판독함에 반응하여 자동적으로 동작할 수 있다. 만일 판독기(14)가 회전형 판독기(14b)라면, 회전형 판독기(14b) 안으로 로드되는 카트리지(16) 안으로 정보 카드(12)가 로드될 수 있다.

26. 发明公开

KR1020000058000A 자동으로 빔특성을 제어하는 스마트 레이저 失效
标题翻译：智能激光自动控制光束特性
公开(公告)号：KR1020000058000A
公开(公告)日：2000-09-25
申请号：KR1020000006210
申请日：2000-02-10
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에리프레더릭지. , 벅제세디. , 다스팔라시피.
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要： PURPOSE: A smart laser is provided to automatically control pulse energy, wavelengths, and bandwidths by using a feedback signal outputted from a wave meter. CONSTITUTION: A laser chamber(3) is adjustably mounted to a laser frame. Laser gas is filled in the chamber(3). Two longitudinal electrodes spaced apart to each other is built in the chamber(3). An output coupler(4) is provided. A line narrowing module includes a prism beam expander, a Rmax mirror, and a diffraction grating defining a diffraction grating curve portion, wherein the diffraction grating is able to be curved. A wave meter(22) detects laser beam parameters including at least pulse energy, wavelengths, and bandwidths.
摘要翻译：目的：提供智能激光器，通过使用从波表输出的反馈信号自动控制脉冲能量，波长和带宽。构成：激光室（3）可调节地安装在激光框架上。激光气体填充在腔室（3）中。在腔室（3）中内置有彼此间隔开的两个纵向电极。提供输出耦合器（4）。线窄模块包括棱镜光束扩展器，Rmax镜和限定衍射光栅曲线部分的衍射光栅，其中衍射光栅能够弯曲。波表（22）检测至少包括脉冲能量，波长和带宽的激光束参数。

27. 发明公开

KR1020180097321A 레이저의 반복률을 제어하는 안정화 방법 및 이를 수행하는 장치 有权
公开(公告)号：KR1020180097321A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：KR1020170024173
申请日：2017-02-23
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김승우 , 한성흠 , 장희숙
IPC分类号： H01S3/23 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/23 , H01S3/13
摘要： 레이저의반복률을제어하는안정화방법및 이를수행하는장치가개시된다. 일실시예에따른안정화장치는제1 레이저로부터출력된제1 레이저펄스를제1 주파수신호로변환하여출력하는제1 광검출기와, 제2 레이저로부터출력된제2 레이저펄스를제2 주파수신호로변환하여출력하는제2 광검출기와, 상기제1 주파수신호및 상기제2 주파수신호를혼합하여제3 주파수신호를출력하는제1 주파수혼합기와, 상기제3 주파수신호에기초하여상기제2 레이저펄스의반복률을제어하는컨트롤러를포함한다.

28. 发明授权

KR101742715B1 2 챔버 가스 방전 레이저의 레이저 제어 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101742715B1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020117010145
申请日：2009-10-20
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 자크로버트엔.
IPC分类号： H01S3/13 , G03F7/20 , H01S3/104 , H01S3/23 , H01S3/00 , H01S3/034
CPC分类号： H01S3/104 , G03F7/70025 , H01S3/0057 , H01S3/034 , H01S3/13 , H01S3/2325
摘要： 레이저제어시스템은오실레이터가스챔버및 증폭가스가스챔버를포함한다. 제1 전압입력은오실레이터가스챔버내의제1 쌍의전극과증폭기가스챔버내의제2 쌍의전극에전기펄스를전달하도록연결되어있다. 가스챔버의출력은사다리꼴윈도우에의해계산된에너지도스이다. 제어회로는제1 전압입력을수정하기위해제1 전압입력에연결되어있다. 피드제어루프는가스챔버의출력을제어회로에전송하여제1 전압입력을수정한다.

29. 发明公开

KR1020170055509A 2-챔버 가스 방전 레이저 시스템에서의 자동 가스 최적화를 위한 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于双室气体放电激光系统中的气体自动优化的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170055509A
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020177009397
申请日：2015-08-14
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 오'브리엔케빈 , 쏘른즈조슈아 , 보렐로마이클
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/00 , H01S3/104 , H01S3/22 , H01S3/225 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/0014 , H01S3/104 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2308
摘要： 2-챔버가스방전레이저의챔버내에가스가리필된후에가스최적화를자동으로수행하는시스템및 방법이개시된다. 레이저는낮은파워에서발화되고, 필요하다면압력을최소값미만으로떨어뜨리지않으면서방전전압이최소값이상이될 때까지증폭기레이저챔버내의가스가빼내진다. 파워출력은레이저의기대된동작을근사화하는버스트패턴까지증가되고, 필요하다면전압및 출력에너지가최소값이상이될 때까지, 또는압력이최소값미만이될 때까지증폭기챔버가스는다시빼내진다. 그러면, 필요하다면역시챔버내의압력을최소값미만으로떨어뜨리지않으면서마스터발진기의출력에너지가최대값이하가될 때까지, 마스터발진기챔버내의가스가빼내진다. 압력이조절되는동안, 대역폭도측정되고요구되는범위안에있도록조절된다. 타겟값이주어지면, 이러한프로세스는수동상호작용이없이신속하게수행된다.
摘要翻译：公开了一种用于在气体在双室气体放电激光器的腔室中再填充之后自动执行气体优化的系统和方法。激光器在低功率下被点燃，并且如果需要，放大器激光室中的气体被撤回，直到正向电压高于最小值，除非压力降低到最小值以下。功率输出增加到接近激光器预期行为的突发模式，并且如果需要，放大器腔室气体被撤回，直到电压和输出能量高于最小值，或直到压力低于最小值。如果需要的话，主振荡器腔室中的气体随后被撤回，直到主振荡器的输出能量低于最大值，而不将腔室中的压力降低到最小值以下。在控制压力的同时，还会测量带宽并将其调整到所需的范围内。给定一个目标值，这个过程快速执行，无需人工交互。

30. 发明公开

KR1020160108793A 노광장치용 다채널 레이저 출력전류 제어보드 无效
标题翻译：用于曝光装置多通道激光输出电流控制板
公开(公告)号：KR1020160108793A
公开(公告)日：2016-09-20
申请号：KR1020150031943
申请日：2015-03-06
申请人： 아주하이텍(주)
发明人： 최현호
IPC分类号： H01S3/13 , G03F7/20
CPC分类号： H01S3/13 , G03F7/70025
摘要： 본발명은노광장치용레이저출력전류제어보드에관한것으로; 그기술구현의목적은, 출력전류제어유닛에의한일련의전류제어관계에따라, 레이저출력장치로인가되는전류를보다안정된상태의고정밀전류로유지되도록하고, 이러한, 고정밀전류유지작용에의해서로다른파워로불규칙하게출력되는레이저의출력값을다채널레이저출력장치에적용되는전용적구조로서필요로하는설정값으로동일하게유지되게하여, 보다정밀하고, 균일한노광품질을기대할수 있도록하며, 그에따라생산성및 경제성을향상시킬수 있도록한 노광장치용다채널레이저출력전류제어보드를제공함에있다. 이에, 상기목적을달성하기위한본 발명의구체적수단으로는; 기판구조를취하는출력전류제어유닛을기초구성으로하여, 상기출력전류제어유닛에, 전압비교모듈과, 광원제어모듈과, 스위칭모듈과, 가변저항과, 기준전압공급모듈과, 레이저출력제어모듈을탑재구성되게하여달성한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于曝光装置的多通道激光输出电流控制板。本发明的目的是提供一种用于曝光装置的多通道激光输出电流控制板，其能够根据通过输出电流控制的电流控制关系保持施加到激光输出装置的高精度电流的稳定状态通过作为应用于多通道激光输出装置的专用结构所需的设定值，通过高精度电流保持反应，均匀地保持激光器的输出值不规则输出。因此，用于曝光装置的多通道激光输出电流控制板可以获得准确均匀的曝光质量并且可以提高生产率和经济可行性。为了实现本发明的目的，用于曝光装置的多通道激光输出电流控制板包括获得衬底结构的输出电流控制单元。输出电流控制单元包括电压比较模块，光源控制模块，开关模块，可调电阻，参考电压供应模块和激光输出控制模块。

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