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21. 发明公开

KR20180057567A 주사 프로브 현미경의 프로브와 샘플 사이의 간격을 수평 측면 방향으로 촬영하는 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180057567A
公开(公告)日：2018-05-30
申请号：KR20170156573
申请日：2017-11-22
申请人： ANTON PAAR GMBH
发明人： KOLLER DANIEL , GOMEZ CASADO ALBERTO , BRANDNER MARKUS
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q20/00
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q10/00 , G01Q10/06 , G01Q30/02
摘要： 샘플(6)과프로브(11)를서로에대해상대적으로이동시켜샘플(6)을분석하기위한주사프로브현미경(1)으로서, 이주사프로브현미경(1)은실질적으로수평인측면방향으로샘플(6)과프로브(11) 사이의간격(62)에대한영상을검출하는검출유닛(60)을포함한다.

22. 发明授权

KR101847638B1 음향 분석 방법 및 이를 이용한 비파괴 검사 장치 有权
公开(公告)号：KR101847638B1
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：KR1020160156741
申请日：2016-11-23
申请人： 주식회사 시그널웍스
发明人： 김영섭 , 김정호
IPC分类号： G01N29/04 , G06F19/00 , G01Q10/06
CPC分类号： G01H17/00 , G01N29/04 , G06F19/00 , G01N29/045 , G01Q10/06
摘要： 음향분석방법및 이를이용한비파괴검사장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른비파괴검사장치는, 피검사물에대한타격에의해발생하는음향신호를획득하는음향신호획득부, 획득한음향신호를샘플링하여복수개의단구간프레임으로구분하는전처리부, 각단구간프레임에대한단구간프레임에너지를산출하는단구간프레임에너지산출부, 각단구간프레임의스펙트럼밀도(Spectrum Density)를산출하는스펙트럼밀도산출부, 각단구간프레임이타격음구간에포함되는지여부와관련한판별추정값을산출하는판별추정값산출부, 각단구간프레임에대해산출한단구간프레임에너지, 스펙트럼밀도, 및판별추정값에대해타격음구간의경계를결정하기위한임계값을각각설정하는임계값설정부, 각단구간프레임에대해산출한단구간프레임에너지, 스펙트럼밀도, 및판별추정값과임계값을기반으로음향신호에서타격음구간을결정하는타격음구간결정부, 및기 결정된타격음구간에대응하는음향신호를기반으로피 검사물의결함여부를분석하는결함여부분석부를포함한다.

23. 发明公开

KR1020160143683A 주사 이온전도 현미경 审中-实审
标题翻译：扫描离子导管显微镜
公开(公告)号：KR1020160143683A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：KR1020167028152
申请日：2015-03-10
申请人： 오픈이오랩스 리미티드
发明人： 리차드슨,앤드류제임스
IPC分类号： G01Q60/44 , G01Q10/06 , G01Q60/02 , G01Q60/60
CPC分类号： G01Q60/44 , G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q60/02 , G01Q60/60
摘要： SICM을이용하여전해질용액에침지된샘플의표면정보를취득하는방법으로서, 대역확산변조신호를이용하여전해질용액내에서이온전류를유도하기위해전해질용액에침지된, 제1 전극의침지부분이마이크로피펫내에포함되고제2 전극은마이크로피펫외부에있는, 제1 및제2 전극간의포텐셜을제어하는단계; 마이크로피펫이샘플을지지하는스테이지에대하여이동하는것을제어하면서이온전류를기록하는단계; 및이온전류및 교정데이터로부터, 샘플의표면높이프로파일을결정하는단계를포함한다. 상기포텐셜은대역확산변조신호에따라제어될수 있다. 상기마이크로피펫모션은마이크로피펫, 제1 전극및 상기마이크로피펫의 z-축모션을제어하도록배치되는제1 피에조액추에이터의어셈블리의공진주파수보다높은변조주파수를갖는 AC 모드패턴에따를수 있다.
摘要翻译：一种用于询问使用SICM浸在电解质溶液中的样品的表面的方法，包括：控制浸在电解质溶液中的第一和第二电极之间的电位，以引起电解质溶液中的离子电流，第一电极的浸没部分被包含并且所述第二电极位于所述微量移液管外部; 记录离子电流同时控制微量移液器相对于支撑样品的载物台移动; 以及从离子电流和校准数据确定样品的表面高度分布。可以根据扩频调制信号来控制所述电位。所述微量移液管运动可以根据具有大于微量移液管组件，第一电极和被配置为控制所述微量移液管的z轴运动的第一压电致动器的组件的共振频率的调制频率的AC模式图案。

24. 发明授权

KR100936748B1 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법 및 이를 이용하는 자동 랜딩장치 有权
标题翻译：用于扫描探针显微镜的自动着陆方法和装置
公开(公告)号：KR100936748B1
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：KR1020080032371
申请日：2008-04-07
申请人： 한양대학교 산학협력단
发明人： 이해원 , 정정주 , 한철수
IPC分类号： G01Q10/04 , G01B21/00
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q10/06 , G01Q20/02
摘要： 탐침 현미경(SPM : Scanning Probe Microscope)의 자동 랜딩 방법 및 이를 이용하는 자동 랜딩 장치가 제공된다.
본 발명에 따른 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법은 광원을 이용하여 캔틸레버에 빛을 조사하는 단계; 상기 캔틸레버의 모서리에서 회절되어 샘플 표면에 입사되는 빛에 의하여 발생한 간섭 무늬를 수집하는 단계; 상기 간섭무늬의 패턴이 기설정된 패턴 영역에 도달할 때까지 상기 팁을 상기 샘플방향으로 제 1 구동시키는 단계; 및 상기 간섭무늬의 패턴이 상기 기설정된 패턴영역에 도달한 후 상기 팁을 상기 샘플방향으로 제 2 구동시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 탐침 현미경 자동 랜딩 방법은 시료의 요철 등의 조건 변화에도 불구하고 일정하게 랜딩 단계를 구분하여 팁을 자동 랜딩할 수 있으므로, 특히 대면적의 샘플의 경우 매우 효과적이다. 더 나아가 팁을 샘플 근사거리까지 신속히 신뢰성 있게 구동시킬 수 있으므로, 매우 경제적이고 효과적인 탐침 현미경 응용이 가능하다.

25. 发明公开

KR1020080071126A 시료 특징의 특성을 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：测量样品特征的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080071126A
公开(公告)日：2008-08-01
申请号：KR1020087008953
申请日：2006-09-18
申请人： 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 제인,로이트 , 리차즈,죤
IPC分类号： G01B11/02 , G01B7/02 , G01B5/02
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G03F7/70625
摘要： An SPM based measuring technique for measuring surface features of a sample fits a curve to a family of feature edge points acquired as a result of an SPM scan of the surface feature. If two curves are fit on opposed edges of the feature of interest, the maximum or minimum distance between those curves can be determined to ascertain a dimension of interest such as a maximum via width, a minimum line width, etc, The scan is preferably a relatively low-resolution scan in the Y direction, typically having 8-12 scan profiles passing through the feature of interest low-resolution, which is about half that typically used by prior techniques. The low-resolution scan can be performed relatively rapidly and with high repeatability. Repeatability is also higher than with prior techniques, and the level of repeatability is relatively insensitive to the resolution in the Y direction. Using a low-resolution scan also significantly reduces tip wear and increases throughput when compared to high-resolution scans.
摘要翻译：用于测量样品表面特征的基于SPM的测量技术将曲线拟合成由于表面特征的SPM扫描而获得的特征边缘点族。如果两条曲线拟合在感兴趣特征的相对边缘上，则可以确定这些曲线之间的最大或最小距离，以确定感兴趣的尺寸，例如最大通孔宽度，最小线宽等。扫描优选为在Y方向上的相对较低分辨率的扫描通常具有通过感兴趣的低分辨率特征的8-12个扫描轮廓，其大约是现有技术通常使用的一半。低分辨率扫描可以相对快速地进行并具有很高的重复性。重复性也高于现有技术，重复性水平对Y方向的分辨率相对不敏感。与高分辨率扫描相比，使用低分辨率扫描也显着降低了尖端磨损并提高了吞吐量。

26. 发明公开

KR20070115502A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD OF SCAN USING THE SAME 审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜及其扫描方法
公开(公告)号：KR20070115502A
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR20060050028
申请日：2006-06-02
申请人： PARK SYSTEMS CORP
发明人： SHIN HYUN SEUNG , KIM YOUNG DOO , KIM YONG SEOK , PARK SANG IL
IPC分类号： H01J37/28 , G01B21/30 , G01Q10/04
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q10/06
摘要： A scanning probe microscope and a scanning method using the same are provided to prevent distortion of an image due to an alignment error of scanners. A position of a probe(100) is linearly changed by a first scanner(310), and a position of a sample(200) is linearly changed by a second scanner(320). An adjusting unit(400) adjusts a position of the first scanner or the second scanner, so that a plane formed by position variation of the sample is perpendicular to a straight line formed by position variation of the probe. The adjusting unit obtains a first shape of the sample along a straight line in the plane, obtains a second shape of the sample along the straight line, and adjusts the position of the first or second scanner according to a difference between the first or second shape and an average shape of the first and second shapes.
摘要翻译：提供扫描探针显微镜和使用其的扫描方法以防止由于扫描仪的对准误差引起的图像变形。探针（100）的位置由第一扫描器（310）线性地改变，并且样品（200）的位置被第二扫描器（320）线性地改变。调整单元（400）调节第一扫描仪或第二扫描仪的位置，使得通过样品的位置变化形成的平面垂直于由探针的位置变化形成的直线。调整单元沿着平面中的直线获得样品的第一形状，沿着直线获得样品的第二形状，并且根据第一或第二形状之间的差异来调整第一或第二扫描仪的位置以及第一和第二形状的平均形状。

27. 发明公开

KR1020060031694A 주사형 프로브 현미경의 탐침 교환방법 失效
标题翻译：用于扫描探针显微镜的探针替代方法
公开(公告)号：KR1020060031694A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020067001387
申请日：2004-03-22
申请人： 히다치 겡키 파인테크 가부시키가이샤
发明人： 무라야마겐 , 겐보유키오 , 구니토모유이치 , 히로키다케노리 , 나가노요시유키 , 모리모토다카후미 , 구레누마도루 , 야나기모토히로아키 , 구로다히로시 , 미와시게루 , 후루타니다카시
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/06 , G01Q70/02
摘要： A probe replacing method for a scanning probe microscope which comprises a cantilever (21) having a probe (20), and a measuring section for measuring physical quantities between the probe and a sample and which is used for measuring a sample surface. The scanning probe microscope comprises a cantilever attaching section (22), a cantilever cassette (30), an XY-stage (14) and a Z-stage (15) for moving the cantilever cassette, and a light microscope (18). The scanning probe microscope includes a first step for effecting positioning between the cantilever attaching section and the cantilever cassette, selecting the cantilever from the cantilever cassette, and mounting it in the cantilever attaching section, and a second step for moving the light microscope device subsequent to the mounting of the cantilever and setting the mounted cantilever in a predetermined position in the observation field of view. The second step is provided with a step for effecting positional adjustment by moving the light microscope side or the cantilever side.
摘要翻译：一种用于扫描探针显微镜的探针替换方法，其包括具有探针（20）的悬臂（21）和用于测量探针与样品之间的物理量并用于测量样品表面的测量部分。扫描探针显微镜包括用于移动悬臂盒的悬臂安装部分（22），悬臂盒（30），XY台（14）和Z档（15），以及光学显微镜（18）。扫描探针显微镜包括用于实现悬臂安装部和悬臂盒之间的定位的第一步骤，从悬臂盒中选择悬臂，并将其安装在悬臂安装部中，以及第二步骤，用于在光电显示装置之后移动安装悬臂并将安装的悬臂安装在观察视野中的预定位置。第二步骤具有通过移动光学显微镜侧或悬臂侧进行位置调整的步骤。

28. 发明公开

KR1020020007602A 시분할 다중화 방식을 이용한 정전형 ＸＹ 스테이지의위치 검출 장치 失效
标题翻译：用于使用时分多路复用来检测静电XY阶段的位置的装置
公开(公告)号：KR1020020007602A
公开(公告)日：2002-01-29
申请号：KR1020000040984
申请日：2000-07-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 민동기 , 김철순 , 전종업
IPC分类号： G11B7/0045
CPC分类号： G01Q10/06 , G01B7/003 , G01D5/2417 , G01P2015/082 , G11B9/1418
摘要： PURPOSE: An apparatus for detecting the position of an electrostatic XY stage using time division multiplexing is provided to apply an excitation signal having a phase difference to a stator of each axis of the electrostatic XY stage to detect a capacitance variation from a moving plate in time division, thereby detecting X- and Y-axes of the stage. CONSTITUTION: An apparatus for detecting the position of an electrostatic XY stage using time division multiplexing includes a stage(10) that constructs a differential capacitor among a moving plate for moving a recording medium, a rotor comb connected to the moving plate, and stator combs, and an amplifier(11) that is connected to the stage and outputs a position information value in time division mode. The apparatus further has a sample/hold unit(12) for sampling and holding time-division position information output from the amplifier according to a timing control signal, and a controller(14) that generates a control signal to allow sampling and holding to be performed at the point of time when the time-division position information of the amplifier reaches the maximum value, reads position information output from the sample/hold unit, and generates an excitation signal having a phase difference.
摘要翻译：目的：提供一种使用时分复用来检测静电XY平台的位置的装置，以将具有相位差的激励信号施加到静电XY平台的每个轴的定子，以及时检测来自移动板的电容变化从而检测舞台的X轴和Y轴。构成：用于使用时分多路复用来检测静电XY平台的位置的装置包括：在用于移动记录介质的移动板之间构造差分电容器的级（10），连接到移动板的转子梳和定子梳，以及连接到所述载物台并以时分模式输出位置信息值的放大器（11）。该装置还具有采样/保持单元（12），用于根据定时控制信号对从放大器输出的时分位置信息进行采样和保持;以及控制器（14），其产生控制信号以允许采样和保持为在放大器的分时位置信息达到最大值的时间点执行，读取从采样/保持单元输出的位置信息，并产生具有相位差的激励信号。

29. 发明公开

KR1020160024569A ＡＦＭ용 마이크로 캔틸레버를 이용한 실시간 공진주파수 변화측정 자동화 기반의 생체분자 간 상호작용의 정량분석을 통한 생체물질 검지방법 및 이를 위한 시스템 有权
标题翻译：基于共振频移自动记录生物分子检测方法和系统的实时识别生物分子相互作用
公开(公告)号：KR1020160024569A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：KR1020140111516
申请日：2014-08-26
申请人： 연세대학교 원주산학협력단
发明人： 윤대성 , 이형빈 , 이원석 , 손명구 , 이상원 , 이규도 , 남기환
IPC分类号： G01Q60/24
CPC分类号： G01Q60/24 , G01Q10/06
摘要： 본발명은생체물질검지방법에관한것으로, 구체적으로 AFM용마이크로캔틸레버를이용하여실시간생체분자간 상호작용에따른캔틸레버의공진주파수변화측정자동화를기반으로한 생체분자간 상호작용의정량분석을통해생체물질을검지하는방법에관한발명이다.
摘要翻译：本发明涉及一种生物材料检测方法，更具体地说，涉及一种生物材料检测方法，其通过基于生物分子之间的相互作用进行定量分析，基于共振频率变化测量自动化的悬臂根据生物的实时相互作用 - 使用微悬臂的原子力显微镜（AFM）的分子。生物材料检测方法包括：（a）将第一生物分子固定在微悬臂梁的表面上用于AFM的步骤; （b）通过在微悬臂上加工与固定的第一生物分子结合的第二生物分子，根据组合反应自动记录悬臂的共振频率变化的步骤; 以及（c）通过使用以下matlab代码绘制每次自动记录的谐振频率的峰值来实时计算谐振频率的变化率的步骤。

30. 发明公开

KR1020150036125A 고처리량 현미경 장치 审中-实审
标题翻译：高速显微镜装置
公开(公告)号：KR1020150036125A
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020157001420
申请日：2013-06-27
申请人： 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
发明人： 반덴브라버,렌스 , 반덴둘,튜니스코르넬리스 , 사데이안마르나니,하메드 , 린벨드,닉
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q70/06
CPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/06 , G01Q70/06
摘要： 대상체는샘플캐리어의표면상에장착된다. 대상체의표면특성들이각각현미경프로브를포함하는, 복수개의독립적으로이동가능한헤드들에의해측정및/또는변경된다. 헤드들은참조그리드플레이트의표면및 샘플캐리어의표면사이에위치된다. 헤드특정표적지점들은헤드들에대해선택된다. 각각의헤드는참조그리드플레이트의표면상에서, 헤드의표적지점으로이동된다. 이동동안헤드의위치는헤드내 센서에의해감지된참조그리드플레이트상의마킹들로부터결정된다. 헤드가헤드에대해선택된표적지점에있다고센서가나타낼때 참조그리드플레이트상에헤드를안착및/또는클램핑하도록헤드및 참조그리드플레이트사이의힘이스위칭된다.

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