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21. 发明公开

KR1020150067072A 블록 공중합체 有权
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020150067072A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：KR1020140175413
申请日：2014-12-08
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 김정근 , 이정규 , 이제권 , 이미숙 , 박노진 , 구세진 , 최은영 , 오성준 , 윤성수
IPC分类号： C08F297/00 , C08F212/08 , C08F212/14 , C08F212/12 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/22 , C08J5/00 , C08J7/04 , G03F7/00
CPC分类号： C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1852 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162 , C08F297/00 , C08F212/08 , C08F212/12 , C08F216/12 , C08F220/22 , C08J5/00 , C08J7/047 , G03F7/00
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明可提供具有优异的自组装性的嵌段共聚物，因此可以有效地应用于各种用途; 及其用途。嵌段共聚物包括与第一嵌段不同的第一嵌段和第二嵌段。

22. 发明公开

KR1020150066486A 블록 공중합체 有权
标题翻译：嵌段共聚物
公开(公告)号：KR1020150066486A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020140175403
申请日：2014-12-08
申请人： 주식회사 엘지화학
发明人： 이미숙 , 김정근 , 이제권 , 박노진 , 구세진 , 최은영 , 윤성수
IPC分类号： C08F297/00 , C08F230/00 , C08F220/10 , C08F212/08 , C08F212/14 , C08F216/12 , C08F220/30 , C08J5/18 , C08J7/04 , G03F7/00
CPC分类号： C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1852 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162 , C08F297/00 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F230/00 , C08J7/047 , G03F7/00
摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 예를들면, 에칭선택성등과같은요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있다.
摘要翻译：本发明提供嵌段共聚物及其用途。本发明的嵌段共聚物具有优异的自组装性和相分离性，并且可以自由地施加各种所需的功能，例如蚀刻选择性等。

23. 发明公开

KR1020140140020A 자기 조직화 가능한 블록 코폴리머를 이용하여 주기 패턴을 형성하는 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：周期性图案形成方法和使用自组装块状共聚物的装置
公开(公告)号：KR1020140140020A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：KR1020147023869
申请日：2013-03-21
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 니시무라에이치 , 야마시타후미코 , 니이츠마사토코
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/027
CPC分类号： C08J7/123 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y30/00 , C08J2353/00 , G03F7/0002 , H01J37/32366 , H01J37/32651 , H01J2237/334 , H01L21/0271 , H01L21/0273 , H01L21/0332 , H01L21/0337 , H01L21/31127 , H01L21/31133 , H01L21/31138
摘要： 블록 코폴리머의 제 1 폴리머 및 제 2 폴리머를 자기 조직화하여, 가이드층(210) 내에 형성된 주기 패턴을 형성하는 방법은, 제 1 가스로부터 생성된 플라즈마에 의해 상기 제 2 폴리머를 에칭하는 제 1 에칭 공정과, 상기 제 1 에칭 공정 후, 제 2 가스로부터 생성된 플라즈마에 의해 상기 제 2 폴리머의 에칭 부분 이외의 상기 제 1 폴리머 및 상기 가이드층의 표면에 제 1 보호막(270)을 성막하는 제 1 성막 공정과, 상기 제 1 성막 공정 후, 상기 제 1 가스로부터 생성된 플라즈마에 의해 상기 제 2 폴리머를 더 에칭하는 제 2 에칭 공정을 포함한다.

24. 发明授权

KR101361381B1 패턴 형성에 블록 공중합체를 이용하는 방법 有权
标题翻译：使用块状共聚物形成图案的方法
公开(公告)号：KR101361381B1
公开(公告)日：2014-02-10
申请号：KR1020117030560
申请日：2010-06-02
申请人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
发明人： 실즈,스콧 , 밀워드,댄
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/8239
CPC分类号： H01L21/3083 , B05D1/185 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08J5/00 , C08J2353/00 , G03F7/0002 , H01L21/0337
摘要： 몇몇 실시예는 공중합체(copolymer)를 이용하여 패턴(pattern)을 형성하는 방법을 포함한다. 공중합체의 주요 본체는 기판(substrate) 상에 형성되고, 상기 공중합체의 자기-조립(self-assembly)이 유도되어 상기 기판 상에 구성물의 패턴을 형성한다. 상기 자기-조립을 유도하는 동안에 상기 공중합체의 주요 본체를 통틀어 일정한 두께가 유지된다. 몇몇 실시예에서, 공중합체의 주요 본체를 둘러싸는 벽을 이용하여 상기 일정한 두께가 유지되어서 상기 주요 본체로부터의 공중합체의 분산을 방지한다. 몇몇 실시예에서, 공중합체의 주요 본체와 유체 연통하는 다량의 공중합체를 이용하여 상기 일정한 두께가 유지된다.

25. 发明公开

KR1020130112058A 미세 패턴 전사용 몰드의 제조 방법 및 이것을 사용한 회절 격자의 제조 방법, 및 상기 회절 격자를 가지는 유기 EL 소자의 제조 방법 有权
标题翻译：用于生产精细图案转印的模具的方法，使用其制造衍射光泽的方法，以及用于制造包含衍射光栅的有机EL元件的方法
公开(公告)号：KR1020130112058A
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：KR1020137019967
申请日：2012-01-13
申请人： 제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤 , 도오쿄 인스티튜드 오브 테크놀로지
发明人： 마스야마사토시 , 후쿠시마마도카 , 니시무라스즈시 , 후쿠다마키 , 세키다카시
IPC分类号： B29C33/38 , B29C33/42 , B29C59/02 , G02B5/18
CPC分类号： G02B5/1852 , B29C33/3857 , B29C33/424 , B29C35/0805 , B29C43/021 , B29C43/36 , B29C2035/0827 , B29C2043/023 , B29D11/00769 , B29K2105/0061 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y10/00 , B82Y20/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C25D1/10 , G02B5/1809 , G02B5/1847 , G02B27/4266 , G03F7/0002 , H01L51/52 , H01L51/5275 , H01L51/56
摘要： 몰드의 제조 방법은, 기재(基材)(10)에 제1 폴리머 및 제2 폴리머로 이루어지는 블록 공중합체 용액(30)을 도포하고, 도막(塗膜)을 건조시킨 후, 블록 공중합체의 유리 전이 온도보다 높은 온도에서 제1 어닐링(annealing) 처리하고, 에칭 처리에 의해 제2 폴리머를 제거하여 기재 상에 요철 구조(36)를 형성하고, 요철(凹凸) 구조(36)를 제1 폴리머의 유리 전이 온도보다 높은 온도에서 제2 어닐링 처리하고, 이어서, 요철 구조 상에 시드층(seed layer)(40)을 형성하고, 시드층(40) 상에 전주에 의해 금속층(50)을 적층하고, 금속층(50)을 기재로부터 박리하는 것을 포함한다. 제2 어닐링 처리에 의해, 기재 상의 요철 구조(70)가 금속층에 양호하게 전사(轉寫)된다. 회절(回折) 격자(格子)와 같은 광학 부품의 제조에 바람직한 미세 패턴 전사용의 몰드가 제공된다.

26. 发明公开

KR1020130098934A 자가 세정 기능을 위한 자가복원용 고분자 복합체 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于自清洁的聚合物复合材料及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130098934A
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：KR1020130021863
申请日：2013-02-28
申请人： 부산대학교 산학협력단
发明人： 고정상 , 김형훈 , 권봉현 , 전형진
IPC分类号： C08K9/10 , C08L91/00 , C08K3/04 , C08K7/00
CPC分类号： C08K9/10 , B81C2201/0149 , C08K3/04 , C08K7/00 , C08L91/00 , C09D5/1681 , C09K2200/0637
摘要： PURPOSE: A polymer composite for self-recovery is provided to recover water repellency by itself by emitting hydrophobic material dipped therein to the outside when an external force is applied to a microcapsule filled with hydrophobic materials with carbon nanotubes attached to the surface thereof. CONSTITUTION: A polymer composite for self-recovery includes microcapsules formed of a polymer membrane and a hydrophobic liquid filled in the microcapsule. A manufacturing method the polymer composite comprises a step of supplying hydrophobic liquid to a first microchannel (21); a step of supplying an organic solvent solution to two microchannels (23); a step of separating the organic solvent solution mixed with the hydrophobic liquid into droplets (10) by supplying a polyvinyl alcohol solution through a third microchannel; and a step of manufacturing a polymer composite by drying the organic solvent solution in the droplets.
摘要翻译：目的：提供一种用于自我恢复的聚合物复合材料，用于当将外力施加到填充有附着在其表面上的碳纳米管的疏水性材料的微胶囊时，通过将疏水材料浸入其中而自身回收拒水性。构成：用于自我回收的聚合物复合物包括由聚合物膜形成的微胶囊和填充在微胶囊中的疏水性液体。聚合物复合材料的制造方法包括向第一微通道（21）供应疏水性液体的步骤; 向两个微通道（23）供给有机溶剂溶液的步骤; 通过将聚乙烯醇溶液通过第三微通道提供而将与疏水性液体混合的有机溶剂溶液分离成液滴（10）的步骤; 以及通过干燥液滴中的有机溶剂溶液来制造聚合物复合物的步骤。

27. 发明公开

KR1020130054982A 패턴 형성 방법 및 중합체 알로이 기재 有权
标题翻译：图案形成方法和聚合物合金基材
公开(公告)号：KR1020130054982A
公开(公告)日：2013-05-27
申请号：KR1020137001360
申请日：2011-07-15
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 하토리시게키 , 아사카와고지 , 나카무라히로코 , 기타가와료타 , 세이노유리코 , 간노마사히로 , 히가모모카
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/40 , G03F7/42
CPC分类号： H01L21/3081 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0337 , H01L21/0274 , G03F7/405 , G03F7/427
摘要： [문제] 단기간 내에 중합체 알로이 위에 고배향 및 상 분리 구조를 갖는 패턴을 형성할 수 있는 패턴 형성 방법; 및 중합체 알로이 기재를 제공하기 위한 것이다. [해결책] 기판 위에 자기조립된 단분자층 필름 및 중합체 필름을 적층하고, 그 결과로 얻은 적층체에 에너지선을 조사하여 중합체 필름과 자기조립된 단분자층 필름을 화학결합함으로써 자기조립된 단분자층 필름 위에 중합체 표면층을 형성하고, 이어서, 그 위에 형성된 상 분리 구조를 갖는 패턴을 갖는 중합체 알로이를 중합체 표면층 위에 형성하는 것을 포함하는 패턴 형성 방법이 제공된다.

28. 发明公开

KR1020130034778A 유도된 자가정렬 공정을 이용한 반도체 소자의 미세패턴 형성 방법 审中-实审
标题翻译：使用方向自组装过程形成半导体器件精细图案的方法
公开(公告)号：KR1020130034778A
公开(公告)日：2013-04-08
申请号：KR1020110098838
申请日：2011-09-29
申请人： 주식회사 동진쎄미켐
发明人： 이정열 , 장유진 , 이재우 , 김재현
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/3086 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/0337 , H01L21/0274
摘要： PURPOSE: A method for forming a fine pattern of a semiconductor device using a directed self assembly process is provided to improve semiconductor manufacturing efficiency by using a guide pattern developed with negative tone developers without a curing process of the guide pattern. CONSTITUTION: A photoresist layer(34) is formed on a substrate(30) with an organic antireflection layer(32). A guide pattern(36) is formed by exposing the photoresist layer and developing the photoresist layer with negative tone developers. A neutral layer(38) is formed on the substrate with the guide pattern. A neutral layer(38a) is formed by removing the guide pattern using the developers. A neutral pattern is formed by coating the substrate coated with the neutral layer with block copolymers and heating the substrate over a glass transition temperature of the block copolymer. A fine pattern(40a) is formed by selectively etching a low etching resistive part(40b) of the neutral pattern with plasma.
摘要翻译：目的：提供一种使用定向自组装工艺形成半导体器件的精细图案的方法，以通过使用不带引导图案的固化处理的负色调显影器开发的引导图案来提高半导体制造效率。构成：在具有有机抗反射层（32）的基板（30）上形成光致抗蚀剂层（34）。引导图案（36）通过曝光光致抗蚀剂层并用负色调显影剂显影光致抗蚀剂层而形成。在引导图案的基板上形成中性层（38）。通过使用显影剂去除引导图案形成中性层（38a）。通过用嵌段共聚物涂覆涂覆有中性层的基材并在嵌段共聚物的玻璃化转变温度下加热基材来形成中性图案。通过用等离子体选择性地蚀刻中性图案的低蚀刻电阻部分（40b）来形成精细图案（40a）。

29. 发明授权

KR101097557B1 블록 공중합체 자기 조립에 의하여 형성되는 서브 리소그라피 지름을 갖는 2차원 홀 어레이 有权
标题翻译：具有通过嵌段共聚物自组装形成的次平面直径的孔的二维阵列
公开(公告)号：KR101097557B1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：KR1020097015567
申请日：2008-01-10
申请人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
发明人： 밀워드,단,비.
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B81C2201/0198 , B82Y30/00 , H01L21/67103 , H05B3/145 , H05B3/24 , Y10T29/49083 , Y10T428/24058 , Y10T428/24124 , Y10T428/24174 , Y10T428/24182
摘要： 자기조립하는블록공중합체를이용하는 2차원정사각형및 직사각형어레이에서서브리소그라피적인나노크기마이크로구조를제조하는방법, 이방법으로형성되는막 및장치를제공한다.

30. 发明公开

KR1020100123920A 이온성 액체를 이용하여 블록 공중합체 필름의 자기조립에서 장거리 질서를 개선하는 방법 有权
标题翻译：在离子液体嵌段共聚物薄膜自组装中改进长距离订购方法
公开(公告)号：KR1020100123920A
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：KR1020107023437
申请日：2009-03-03
申请人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
发明人： 레그너,제니퍼,칼
IPC分类号： B81C1/00 , C08L53/00
CPC分类号： B81C1/00031 , B05D1/34 , B05D3/0254 , B05D5/00 , B05D5/12 , B81C2201/0149 , B82Y30/00 , C08L53/00 , C08L53/005 , G03F7/0002 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L21/3086 , H01L21/3088 , H01L21/31144 , Y10T428/24182 , C08L2666/02
摘要： 자기조립형 블록 공중합체를 이용하여 중합체 매트릭스에 개선된 장거리 질서를 가지는 나노규모의 교번하는 라멜라 또는 실린더의 어레이를 제작하는 방법들, 및 이러한 방법들을 이용하여 형성된 필름들 및 장치들이 제공된다.

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