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    • 23. 发明公开
    • 초정밀 다축 위치제어장치
    • 具有多个主轴的超精密定位装置
    • KR1020030094887A
    • 2003-12-18
    • KR1020020032223
    • 2002-06-08
    • 정상화
    • 정상화
    • B23Q15/00
    • PURPOSE: An ultra-precision positioning device with multiple spindles is provided to perform superior positioning operation of the multiple spindles and compensate residual vibration and disturbance of the multiple spindles. CONSTITUTION: An ultra-precision positioning device with multiple spindle is composed of a flexure(1) integrated with a table, a piezoelectric actuator(2) for providing three degrees of freedom to the flexure, a fixing jig for fixing the piezoelectric actuator on the table and positioning the piezoelectric actuator, a sensor(3) for detecting the position of the table, a sensor fixing jig, and a spacer for connecting the sensor fixing jig to the table. The flexure transfers the required position to the table.
    • 目的:提供具有多个主轴的超精密定位装置,以实现多个主轴的卓越定位操作,并补偿多个主轴的残余振动和干扰。 构成:具有多个主轴的超精密定位装置由与台面集成的挠曲件(1),用于向挠曲件提供三个自由度的压电致动器(2)组成,用于将压电致动器固定在 表和定位压电致动器,用于检测工作台位置的传感器(3),传感器固定夹具和用于将传感器固定夹具连接到工作台的间隔件。 弯曲将所需的位置传递到桌子。