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21. 发明授权

KR101870165B1 예비 토출 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101870165B1
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：KR1020110101962
申请日：2011-10-06
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 김병재 , 양진혁
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
摘要： 본발명의실시예는노즐의예비토출공정을수행하는예비토출유닛및 이를가지는기판처리장치를제공한다. 예비토출유닛은상부가개방되고, 내부에세정액이채워지는처리조및 상기처리조내에서배치되며, 회전가능하게제공되는통 형상의롤러를포함하되, 상기롤러는그 길이방향에대해중앙영역이가장자리영역에비해큰 지름을가진다. 이로인해기판상으로약액을균일하게공급할수 있다.또한예비공정토출시 노즐의토출단에그 길이방향을따라약액이균일하게맺힐수 있다.

22. 发明授权

KR101000299B1 기판 코팅 장치 有权
标题翻译：用于涂覆基材的装置
公开(公告)号：KR101000299B1
公开(公告)日：2010-12-13
申请号：KR1020080115487
申请日：2008-11-20
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 김병재 , 함승원
IPC分类号： B05C5/00 , G02F1/13
摘要： 기판 코팅 장치는 기판이 놓여지는 테이블과, 테이블의 상부에서 수평 방향으로 이동 가능하며 테이블 상에 놓여진 기판 상에 코팅막을 형성하기 위하여 수평 방향으로 이동하면서 기판 상에 코팅 물질을 제공하는 코팅 유닛, 그리고 코팅막의 에지 비드(edge bead)를 형성하기 위하여 테이블 상에 지지된 기판의 일측에 인접하도록 배치되는 비드 형성용 블록을 포함한다. 따라서 코팅막의 에지 비드가 기판 외부에서 형성되므로 코팅막 불균일에 의한 기판 폐기 부분을 줄일 수 있다.

23. 发明公开

KR1020090011754A 기판 반송 장치 无效
标题翻译：输送玻璃的装置
公开(公告)号：KR1020090011754A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070075668
申请日：2007-07-27
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 김병재
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/063 , B65G49/067 , H01L21/67288
摘要： An apparatus for transferring a substrate is provided to prevent a substrate for sagging by separating a central part of an upper roller. An apparatus for transferring a substrate includes a driving unit, a lower roller unit(200), and an upper roller unit(300). The driving unit generates the rotation force. The lower roller unit transfers the substrate(10) by the rotation force provided from the driving unit. The upper roller unit is arranged in the upper part of the lower roller unit. The substrate to be transferred is interposed between the upper roller unit and the lower roller unit. The central part of the upper roller unit is separated to prevent the sag.
摘要翻译：提供了一种用于转移基板的装置，以通过分离上辊的中心部分来防止基板下垂。一种用于转印衬底的设备包括驱动单元，下辊单元（200）和上辊单元（300）。驱动单元产生旋转力。下辊单元通过从驱动单元提供的旋转力来传送基板（10）。上辊单元布置在下辊单元的上部。待转印的基板介于上辊单元和下辊单元之间。分离上辊单元的中心部分以防止下垂。

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