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21. 发明授权

KR101974742B1 마그네트론 有权
公开(公告)号：KR101974742B1
公开(公告)日：2019-05-02
申请号：KR1020170127110
申请日：2017-09-29
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 가미야마겐따로 , 도라이레이지
IPC分类号： H01F27/10 , H01F27/02

22. 发明授权

KR101820332B1 결함 검사 방법 및 그 장치 有权
公开(公告)号：KR101820332B1
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：KR1020160127470
申请日：2016-10-04
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 사카이가오루 , 기쿠치오사무 , 사하라겐지
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/95 , G01N29/06
CPC分类号： G01N29/0654 , G01N29/265 , G01N2291/044 , G06T7/001 , G06T2207/10132 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要： 본발명은, 반도체웨이퍼나 MEMS 웨이퍼등의미세하며, 또한다층구조를포함하는피검사체에대한초음파검사에있어서, 내부에존재하는불량을정상패턴과분리하고, 고감도로검출가능하게하는것을과제로한다. 이러한과제를해결하기위해, 패턴이형성된피검사체를촬상해서피검사체의화상을취득하고, 취득한피검사체의화상으로부터결함을포함하지않는기준화상을작성하고, 취득한피검사체의화상으로부터비결함화소를마스킹하기위한다치의마스크를작성하고, 피검사체의화상과기준화상의밝기를대조해서결함확도를산출하고, 산출한결함확도와작성한다치의마스크를비교해서결함을검출하도록했다.

23. 发明授权

KR101819830B1 초음파 검사 장치, 초음파 검사 시스템 및 초음파 검사 방법 有权
标题翻译：超声波检测设备，超声波检测系统和超声波检测方法
公开(公告)号：KR101819830B1
公开(公告)日：2018-01-17
申请号：KR1020160112596
申请日：2016-09-01
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 오오누끼가쯔히꼬 , 기따미가오루 , 다까다마사후미 , 미나까와세이야
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： G01N29/28 , G01N29/0654 , G01N29/225 , G01N29/265 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2697
摘要： 본발명의과제는물을기피하는워크라도물과의접촉을최소한으로할 수있고, 또한초음파검사에서양호한화상을얻을수 있는것이다. 초음파를워크 w에조사하고, 그반사파를수신하는초음파탐촉자(21)와, 워크 w에대해초음파탐촉자(21)를수평방향으로주사하도록동작시키는 X축구동장치(25) 및 Y축구동장치(26)와, 초음파탐촉자(21)를워크 w에대해승강시키는 Z축구동장치(27)와, 초음파탐촉자(21)에설치되어, 초음파탐촉자(21)의프로브선단부(211)와워크 w 사이에소정량으로한정한물 a를공급하는급수부(22)와, 초음파탐촉자(21)에설치되어, 급수부(22)에서급수후의물 a를흡수하는흡수부(23)를구비한다.
摘要翻译：本发明的目的在于即使在避免水分的工件中与水的接触最小化，并通过超声波检查获得良好的图像。施加超声波到工件W，并且用于接收反射波的超声波探头（21）中，X轴驱动用于操作，以便在超声波探头21的水平方向进行扫描靠在工件W装置25和Y轴驱动装置（使超声波探头21相对于工件w上下移动的Z轴驱动装置27，设置在超声波探头21上的吸水部23，用于在供水部22中的水供应之后吸收水a。吸水部23吸收水“

24. 发明公开

KR1020170044036A 초음파 영상 장치 审中-实审
标题翻译：超声波成像装置
公开(公告)号：KR1020170044036A
公开(公告)日：2017-04-24
申请号：KR1020160130577
申请日：2016-10-10
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 유사다까히로 , 이또마사까쯔 , 기따미가오루 , 도미따다까시 , 나가오까히로까쯔
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： A61B8/4483 , A61B8/4444 , A61B8/4477
摘要： 초음파영상장치가프로브와워크의간섭을검지하고, 이들프로브나워크의손상을억제한다. 초음파영상장치(1)는면 형상의워크(8)를초음파에의해영상화하기위한프로브(4)와, 워크(8)의면에대하여프로브(4)를주사하는 3축스캐너(2)와, 워크(8)와프로브(4)의간섭을검출하는센서(3)를구비한다.
摘要翻译：超声波成像设备检测探头和工件之间的干涉并抑制探头和工件的损坏。超声波图像取得装置1具备：通过超声波对平面形状的工件8进行摄像的探测器4;将探测器4扫描在工件8的表面上的3轴扫描仪2; 8）用于检测晶片4的干涉的传感器3。

25. 发明公开

KR1020170028853A 초음파 검사 장치, 초음파 검사 시스템 및 초음파 검사 방법 审中-实审
标题翻译：超声波测试设备超声测试系统和超声测试方法
公开(公告)号：KR1020170028853A
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020160112596
申请日：2016-09-01
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 오오누끼가쯔히꼬 , 기따미가오루 , 다까다마사후미 , 미나까와세이야
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： G01N29/28 , G01N29/0654 , G01N29/225 , G01N29/265 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2697 , A61B8/4477 , A61B8/4483
摘要： 본발명의과제는물을기피하는워크라도물과의접촉을최소한으로할 수있고, 또한초음파검사에서양호한화상을얻을수 있는것이다. 초음파를워크 w에조사하고, 그반사파를수신하는초음파탐촉자(21)와, 워크 w에대해초음파탐촉자(21)를수평방향으로주사하도록동작시키는 X축구동장치(25) 및 Y축구동장치(26)와, 초음파탐촉자(21)를워크 w에대해승강시키는 Z축구동장치(27)와, 초음파탐촉자(21)에설치되어, 초음파탐촉자(21)의프로브선단부(211)와워크 w 사이에소정량으로한정한물 a를공급하는급수부(22)와, 초음파탐촉자(21)에설치되어, 급수부(22)에서급수후의물 a를흡수하는흡수부(23)를구비한다.
摘要翻译：为了最大程度地减少水和工件之间的接触，应避免水分并在超声波检测中获得良好的图像，超声波探头用超声波照射工件并接收其反射波，X和Y轴驱动装置允许超声波探头21沿水平方向扫描工件;相对于工件上下移动超声波探头的Z轴驱动装置;设置在超声波探头中并以规定量供水的供水部提供了探针前端部和工件之间的吸水部以及设置在超声波探头中的吸水部，并且供给水供水后的吸水部。

26. 发明授权

KR101473104B1 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법 有权
标题翻译：超声测试装置和超声测试方法
公开(公告)号：KR101473104B1
公开(公告)日：2014-12-15
申请号：KR1020130072921
申请日：2013-06-25
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 오노시게루 , 스미까와겐따 , 나리즈까야스노리
IPC分类号： G01N29/22
摘要： 본발명의과제는안정된검사화상을얻을수 있는초음파검사장치, 노즐어태치먼트, 및, 초음파검사방법을제공하는것이다. 수평방향으로주사가능한주사수단(1, 2)과, 주사수단(1, 2)에설치되는수직방향의높이조정수단(3)과, 높이조정수단(3)에설치되는홀더(5)와, 홀더(5)에설치되는초음파탐촉자(4)와, 노즐로부터물을유출하여초음파탐촉자(4)로부터워크(9)로의연속된수류를형성하는노즐어태치먼트(6)와, 높이조정수단(3) 또는홀더(5)에설치되며, 노즐어태치먼트(6)를수직방향으로이동가능한갭 조정수단(6)을구비한다.

27. 发明公开

KR1020140127755A 초음파 검사 장치 无效
标题翻译：扫描声学TOMOGRAPH
公开(公告)号：KR1020140127755A
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020140047351
申请日：2014-04-21
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 도미따다까시 , 나가오까히로까즈 , 기따미가오루 , 다까다마사후미
IPC分类号： G01N29/06 , G01N29/22
CPC分类号： G01N29/0672 , G01N29/11 , G01N29/265 , G01N29/28 , G01N2291/048 , G01N29/06
摘要： 본 발명의 과제는, 피검체를 재치하는 시료대의 하면에 잔존하는 기포를 제거하여, 효율 좋은 검사를 할 수 있는 투과식의 초음파 검사 장치를 제공하는 것이다.
초음파 검사 장치(100)는, 물(5)을 수용하는 수조(19)와, 수조(19) 내에 배치되고, 피검체(1)를 재치하는 시료대(2)와, 상하 방향으로 대향하여 배치되고, 피검체(1)를 향해 초음파를 조사하는 제1 초음파 탐촉자(3) 및 피검체를 투과한 초음파를 수신하는 제2 초음파 탐촉자(4)를 갖고, 시료대(2)의 하면(23)측에 친수성 피막이 형성되어 있다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于透射型超声波检查的装置，该装置除去残留在试样架的下表面上的气泡，从而能够进行有效的检查。用于超声波检测的装置（100）包括：用于容纳水（5）的水箱（19）; 设置在所述水箱（19）中并且放置有试样（1）的样品台（2）第一超声波换能器（3），用于朝向所述检体（1）照射超声波; 以及第二超声波换能器，用于接收通过所述试样的超声波，所述超声波中的所述第一和第二超声波换能器在垂直方向上彼此面对，并且在所述样品台（2）的下表面（23）上形成亲水膜）。

28. 发明公开

KR1020130095685A 워크 흡착 고정 장치 및 초음파 검사 시스템 有权
标题翻译：目标吸收装置和超声波检查系统
公开(公告)号：KR1020130095685A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020130017901
申请日：2013-02-20
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 무라이마사까쯔 , 기따미가오루 , 고시라에미쯔오
IPC分类号： G01N29/22 , G01B17/04
CPC分类号： G01N29/223 , H01L21/687
摘要： PURPOSE: An ultrasonic system and work holding apparatus are provided to tightly and stably maintain the work in water. CONSTITUTION: A work holding apparatus comprises a circulation water way (21), a water supply unit (23), and a suction disk (33). The circulation water way comprises a suction port (21a) and a discharge port (21b), and circulates water to the discharge port from the suction port. The water supply unit is installed in the circulation water way, and circulates the water. The suction disk comprises a base unit and a lip unit, and absorbs the work. [Reference numerals] (11) Work suction fixing device; (13) Ultrasonic waves inspecting system; (17) Water tank; (19) Maintaining material; (19a) Contact surface; (21) Circulation water way; (21a) Suction port; (21b) Discharge port; (23) Water supply pump(water supply unit); (25) Chamber unit; (27) Pressure control valve; (33) Suction disk; (WK) Work; (WT) Water
摘要翻译：目的：提供超声波系统和工作保持装置，以将工作紧紧地稳定地保持在水中。构成：工作保持装置包括循环水路（21），供水单元（23）和吸盘（33）。循环水路包括吸入口（21a）和排出口（21b），并且从吸入口将水循环到排出口。供水单元安装在循环水道中，循环水。吸盘包括基座单元和唇单元，并吸收工件。（附图标记）（11）工作吸力固定装置; （13）超声波检测系统; （17）水箱; （19）维护材料; （19a）接触面; （21）循环水道; （21a）吸油口; （21b）排放口; （23）供水泵（供水单元）; （25）室单位; （27）压力控制阀; （33）吸盘; （WK）工作; （WT）水

29. 发明公开

KR1020020096266A Ｘ선 ＣＴ장치 无效
标题翻译： X射线计算机图像系统
公开(公告)号：KR1020020096266A
公开(公告)日：2002-12-31
申请号：KR1020010034621
申请日：2001-06-19
申请人： 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 요네다요시유키 , 하시모토노부히코
IPC分类号： G01N23/083
CPC分类号： G01N23/046 , G01N23/083 , G01N2223/308 , G01N2223/309 , G01N2223/321 , G01N2223/419 , G01N2223/501 , G01T7/10
摘要： PURPOSE: An X-ray computer tomography system is provided to improve accuracy of tomography by increasing resolution by moving a turntable for an X-axis according to the size of an inspected object, and to decrease the size by simplifying the structure. CONSTITUTION: An X-ray computer tomography system comprises guide rails(1,2) arranged in parallel; an X-ray generator(11) supported in guide rails; an X-ray detector(14) supported in the other side of the guide rail; a turntable arranged between the X-ray generator and the X-ray detector and rotated with putting an object(21) on; a position adjusting member moving the turntable lengthwise, widthwise or vertically; and a computer forming the section of the object according to image from the X-ray detector and the rotation angle signal from the turntable. The precision of tomography is improved, and the size is reduced with simple structure.
摘要翻译：目的：提供一种X射线计算机断层摄影系统，通过根据检查对象的大小移动用于X轴的转台，通过增加分辨率来提高断层摄影的精度，并通过简化结构来减小尺寸。构成：X射线计算机断层摄影系统包括平行布置的导轨（1,2）支撑在导轨中的X射线发生器（11）支撑在所述导轨的另一侧的X射线检测器（14）设置在所述X射线发生器和所述X射线检测器之间并且放置物体（21）的旋转体的转盘; 位置调节构件沿长度方向，宽度方向或垂直方向移动转台; 以及根据来自X射线检测器的图像和来自转台的旋转角度信号形成物体的部分的计算机。提高了断层摄影的精度，结构简单，尺寸减小。

30. 发明公开

KR1020010052079A 권선형 유도기 및 가변속 전기에너지 변환설비 失效
标题翻译：绕线感应和变速电能转换设备
公开(公告)号：KR1020010052079A
公开(公告)日：2001-06-25
申请号：KR1020007003159
申请日：1998-11-20
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 , 가부시키가이샤 히타치 파워 솔루션즈
发明人： 이데가즈마사 , 다카하시미요시 , 네모토마모루 , 다카하시세이지
IPC分类号： H02K16/02
CPC分类号： H02K17/16 , H02K16/02 , H02K17/42
摘要： 본발명의권선형유도기는권선형고정자및 권선형고정자의회전중심측에회전축과고정한권선형회전자를가지며, 또한권선형회전자의회전중심측에바구니형회전자를가진다. 권선형고정자의 2차권선을흐르는전류에고조파성분이포함되어있더라도바구니형회전자의도체에는 2차권선을흐르는전류의고조파성분에의하여권선형회전자에생성하는회전자계를상쇄되도록유도전류가흐르기때문에 2차권선을흐르는전류의고조파성분은감쇠하고, l차권선이접속하는교류계통에 2차권선측으로부터회생되는교류전력의고조파성분을저감할수 있다. 또 2차권선을흐르는전류의고조파성분이감쇠하기때문에 2차권선을흐르는전류의고조파성분에의하여 1차권선으로유도되는유도전류도저감할수 있다. 따라서 2차권선을흐르는전류에고조파성분이포함되어있더라도 1차권선을흐르는전류의왜곡을저감할수 있기때문에고조파전력이설비밖으로유출하는것을억제할수 있고출력전압의왜곡이저감된품질좋은전력을발전할수 있다.

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