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11. 实用新型

KR200494763Y1 멀티레이어 세라믹 발열체 有权
公开(公告)号：KR200494763Y1
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：KR2020200003077
申请日：2020-08-24
IPC分类号： H05B3/48 , H05B3/03 , H05B3/00 , H05B1/02
摘要： 본고안은세라믹발열체기술분야에관한것으로, 상세하게는, 세라믹발열파이프을포함하되, 세라믹발열파이프은와인딩파이프바디와와인딩파이프바디외표면에피복된멀티레이어(multi-layer) 세라믹어셈블리를포함하며, 와인딩파이프바디는릴파이프캐스팅시트(reel pipe casting sheet)에의해자동권취되어적어도 2층으로구성되고, 릴파이프캐스팅시트의내표면에세라믹슬러리층을도장하여설치하며; 멀티레이어세라믹어셈블리는안쪽에서바깥까지차례로설치된제1 전이층, 회로층, 제2 전이층과적어도한층의캐스팅기판을포함하고, 제1 전이층의내표면은와인딩파이프바디의외주표면과정압밀착하며, 가장바깥층캐스팅기판의외주표면의일단에전극을설치하고전극상면에리드와이어(lead wire)를설치하는것을특징으로하는멀티레이어세라믹발열체에관한것이다. 본고안에따른멀티레이어세라믹발열체는구조가새롭고와인딩파이프바디에멀티레이어세라믹어셈블리를설치하여플랜지(flange)의온도를낮추고발열체의굴곡저항강도를향상할수 있으며, 전력소모가적고에너지를절약할수 있으며, 안전하고친환경적이며실용성이높다.

12. 发明授权

KR102323404B1 자동 정밀 압착성형 장치 有权
公开(公告)号：KR102323404B1
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：KR1020210078315
申请日：2021-06-16
IPC分类号： B30B11/04 , B30B15/00 , B30B15/02 , B30B9/28 , H05B3/00
摘要： 자동정밀압착성형장치가제공된다. 본발명의일 실시예에따른자동정밀압착성형장치는, 히터블록(heater block)에내장된히터라인(heater line)과대응되는상기히터블록의표면을자동으로압착하는자동정밀압착성형장치로서, 상기히터블록의표면측으로돌출형성되고, 상기자동정밀압착성형장치에입력되는공압에따라상하운동을반복함으로써상기히터블록의표면을압착하는압착툴; 상기압착툴을탄성지지하고, 상기압착툴의상하운동과정에서상기압착툴을원래위치로되돌리는감압스프링; 상기압착툴의상측에배치되어상기자동정밀압착성형장치에입력되는공압에따라상기히터블록의표면측으로상기압착툴을가압하면서상하운동을반복하는피스톤; 상기피스톤의상하운동에따라상기히터블록의표면반대측으로발생되는충격을흡수하고, 상기히터블록의표면반대측으로발생되는공압을외부로배출시키는후방쿠션(rear cushion); 및상기피스톤의상측에배치되어상기피스톤의상하운동에따라상기히터블록의표면반대측으로발생되는충격및 진동을감쇠시키는감쇠장치를포함한다.

13. 发明授权

KR102305620B1 정착장치 및 이를 갖는 화상형성장치 有权
公开(公告)号：KR102305620B1
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：KR1020150141200
申请日：2015-10-07
IPC分类号： G03G15/20 , H05B3/00 , H01J61/02
摘要： 정착장치가개시된다. 개시된정착장치는제1 발열체와, 상기제1 발열체와연결된제1 전도체를포함하는제1 열원; 제2 발열체와, 상기제2 발열체와연결된제2 전도체를포함하는제2 열원; 상기제1 열원및 상기제2 열원중 적어도어느하나에의해가열되는정착부재; 및상기정착부재와마주하도록배치되어인쇄매체를상기정착부재를향해가압하는가압부재;를포함하며, 상기제1 열원은상기제1 열원의일부분이발열되지않도록상기제1 발열체또는상기제1 전도체를밀봉한제1 비발열부를포함한다.

14. 发明授权

KR102287443B1 정전척 히터의 온도 제어 시스템 有权
公开(公告)号：KR102287443B1
公开(公告)日：2021-08-09
申请号：KR1020200180429
申请日：2020-12-22
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67 , H05B3/00 , G05D23/24
摘要： 본발명은정전척히터의온도제어시스템에관한것으로서, 보다상세하게는정전척에장착되는히터의온도를효율적으로제어하기위한정전척히터의온도제어시스템에관한것으로서, 정전기력에의해공정챔버내의웨이퍼를고정시키는정전척에장착된히터의온도를제어하기위한정전척히터의온도제어시스템에있어서, 상기온도제어시스템은, 병렬로연결되어 AC전원이인가되는 SCR1과 SCR2; 상기 SCR1과연결되는제1히터부; 상기 SCR2와연결되어 AC전원이정류되어 DC 전원이인가되는제2히터부; 및상기제1히터부와상기제2히터부에서전송되는측정신호를이용하여상기 SCR1과상기 SCR2를제어하는제어부;로이루어지는것을특징으로하는정전척히터의온도제어시스템을제공한다.

15. 发明授权

KR102258607B1 단순화된 램프 설계 有权
公开(公告)号：KR102258607B1
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：KR1020157029540
申请日：2014-03-04
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 래니쉬,조셉,엠.
IPC分类号： H01K1/16 , H05B3/00 , H01K1/66 , H01K1/40

16. 发明授权

KR102258797B1 표면을 가열하기 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102258797B1
公开(公告)日：2021-05-31
申请号：KR1020177017067
申请日：2015-11-25
申请人： 사빅 글로벌 테크놀러지스 비.브이.
发明人： 개스워쓰스티븐마크
IPC分类号： H05B3/00 , H05B3/20
摘要： 일실시형태에서, 가열장치는소스복사선을방출하는복사선소스, 방출층호스트재료및 발광제를포함하는복사선방출층 - 상기복사선방출층은에지, 방출층의제 1 면, 및방출층의제 2 면을포함하고, 상기복사선소스는에지에결합되고, 상기소스복사선은복사선소스로부터에지를통해전송되어발광제를여기시키고, 그후 발광제는방출된복사선을방출하고, 방출된복사선의적어도일부는탈출콘을통해방출층의제 2 면을통해출사됨 -; 및흡수층을포함하고, 이흡수층은흡수층의제 1 면을포함하고, 이흡수층의제 1 면은방출층의제 2 면과직접접촉되고, 이흡수층은탈출콘을통해탈출하는방출된복사선을흡수하는흡수재를포함한다.

17. 发明授权

KR102234662B1 유도전류 방지기능을 가진 면상발열체 및 그의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102234662B1
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：KR1020200041589
申请日：2020-04-06
申请人： 황현식
发明人： 황현식
IPC分类号： H05B3/34 , H05B3/14 , H05B1/02 , H05B3/03 , H05B3/00
摘要： 본발명은탄소분말이함침된직물원단을이용하여전기력에의해발열을유도하는것으로서유도전류가생기지않아사용상불편함이없는, 유도전류방지기능을가진면상발열체및 그의제조방법에관한것이다. 그구성은; 합성수지로된 절연성하부시트; 상기하부시트상면에접착고정되는발열시트; 상기발열시트전부를덮어씌우도록상기발열시트의상면에접착고정되는절연성분리시트; 상기분리시트의상면에접착고정되는전도성차폐시트; 상기차폐시트의상면에접착고정되는절연성상부시트를포함하되; 상기발열시트는, 탄소분말이고르게함침되어있는제1직물원단; 상기직물원단에접착되어있는띠형태의박판으로되어있는전극판; 및상기전극판에전기적으로연결되어있는전기선을포함하며, 상기차폐시트는, 탄소분말이고르게함침되어있는제2직물원단및 상기제2직물원단에접착되어있는것으로서띠형태의박판으로되어있는접지판; 및상기접지판에전기적으로연결되어있는접지선을포함하는것을특징으로한다.

18. 发明公开

KR20210030489A 원형 램프 어레이들 审中-公开
公开(公告)号：KR20210030489A
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：KR20217006975
申请日：2014-08-15
IPC分类号： H05B3/00 , H01L21/66 , H01L21/67 , H05B1/02
摘要： 본명세서에개시된실시예들은반도체처리챔버에서사용하기위한원형램프어레이들에관한것이다. 반사성트로프에배치되며동심원패턴으로배열된하나이상의토로이드형램프를사용하는원형램프어레이들은개선된급속열 처리를제공할수 있다. 토로이드형램프들을하우징할수 있는반사성트로프들은처리되는기판의표면에대해다양한각도로배치될수 있다.

19. 发明公开

KR20210014640A 전기 가열식 에어로졸 발생 시스템에서 부정적인 히터 상태의 검출 审中-公开
公开(公告)号：KR20210014640A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR20207034284
申请日：2019-05-22
IPC分类号： A24F40/50 , A24F40/10 , A24F40/42 , A24F40/46 , A24F40/51 , A24F40/53 , A24F40/57 , A24F40/65 , H02J7/00 , H05B3/00
摘要： 전기작동식에어로졸발생시스템은에어로졸형성기재(34)을가열하기위한가열요소(30); 가열요소에전력을공급하기위한전력공급부(14); 가열요소에서온도를감지하기위한온도센서; 및가열요소, 센서및 전력공급부와통신하는전기회로를포함하며, 전기회로는메모리를포함하고, 온도센서로부터의측정된온도에기초하여가열요소로전력의공급을조정하고; i) 미리결정된온도에도달하거나유지하는데 필요한가열요소에공급되는전력의변화율또는 ii) 연속가열사이클에걸쳐미리결정된온도에도달하거나유지하는데 필요한가열요소에공급되는전력의감소가미리정의된범위밖에있을때 부정적인상태라고결정하며, 상기미리정의된범위가메모리에저장되고; 부정적인상태가있는지에기초하여가열요소에공급되는전력을제어하거나부정적인상태가있을때 표시를제공하도록구성된다.

20. 发明授权

KR102203078B1 광섬유들을 경화하기 위한 복합 타원형 반사기 有权
公开(公告)号：KR102203078B1
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：KR1020157034673
申请日：2014-07-22
申请人： 포세온 테크날러지 인코퍼레이티드
发明人： 칠더스더그
IPC分类号： H05B3/00 , B05D3/06 , F26B3/28 , B05D7/00 , G02B6/02 , G02B5/08 , G02B5/12 , F21V8/00
摘要： 경화디바이스는공동위치되는초점을가지도록배열되는제 1 타원원통형반사기및 제 2 타원원통형반사기및 제 1 타원원통형반사기의제 2 초점에위치되는광원을포함하고, 광원으로부터방출되는광은제 1 타원원통형반사기로부터공동위치되는초점으로반사되고제 2 타원원통형반사기로부터공동위치되는초점으로재귀반사된다.

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