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11. 发明公开

KR1020110026935A 로봇 관절 구동장치 및 이를 포함하는 로봇 无效
标题翻译：机器人接头和机器人的结构
公开(公告)号：KR1020110026935A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：KR1020090084795
申请日：2009-09-09
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 심현식 , 양수상 , 이연백 , 오연택
IPC分类号： B25J17/00 , B25J19/00
CPC分类号： B25J9/104 , B25J9/1025 , Y10S901/27 , Y10T74/20305 , Y10T74/20323
摘要： PURPOSE: A robot joint driving device and a robot therewith are provided to perform an operation which is similar to the gesture of a human being by arranging proper joint actuators. CONSTITUTION: A robot joint driving device(500) comprises a frame(510), and first and second joint actuators(600,700). The first and second joint actuators are installed in one side and the other side of the frame. The first joint actuator drives a robot joint in a first directon using a wire. The second joint actuator drives the robot joint in a second direction which is orthogonal to the first direction using a gear reduction method.
摘要翻译：目的：提供一种机器人关节驱动装置和机器人，以通过布置适当的关节致动器来执行类似于人的手势的操作。构成：机器人关节驱动装置（500）包括框架（510）和第一和第二关节致动器（600,700）。第一和第二关节致动器安装在框架的一侧和另一侧。第一个联合执行器使用电线驱动第一直接机构中的机器人关节。第二关节致动器使用齿轮减速法在与第一方向正交的第二方向上驱动机器人关节。

12. 发明公开

KR1020100029087A 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 无效
标题翻译：使用机械开关机构的多个可移动臂的基板运输装置
公开(公告)号：KR1020100029087A
公开(公告)日：2010-03-15
申请号：KR1020097025576
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07 , B66C23/00
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27 , H01L21/67742 , B25J9/043 , B25J9/1005 , B25J9/106 , H01L21/68707
摘要： A substrate transport apparatus including a frame, a drive section connected to the frame and including at least one independently controllable motor, at least two substrate transport arms connected to the frame and comprising arm links arranged for supporting and transporting substrates, and a mechanical motion switch coupled to the at least one independently controllable motor and the at least two substrate transport arms for effecting the extension and retraction of one of the at least two substrate transport arms while the other one of the at least two substrate transport arms remains in a substantially retracted configuration.
摘要翻译：一种基板输送装置，包括框架，连接到框架并且包括至少一个可独立控制的马达的驱动部分，连接到框架的至少两个基板输送臂，并且包括布置成用于支撑和输送基板的臂连杆，以及机械运动开关耦合到所述至少一个可独立控制的电动机和所述至少两个衬底传送臂，用于实现所述至少两个衬底传送臂中的一个的延伸和缩回，同时所述至少两个衬底传送臂中的另一个保持基本上缩回组态。

13. 发明授权

KR101902678B1 궤적 계획을 위한 물체 메트릭들의 실시간 결정 有权
公开(公告)号：KR101902678B1
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：KR1020167036709
申请日：2015-07-14
申请人： 엑스 디벨롭먼트 엘엘씨
发明人： 코놀리지,커트 , 루블리,에단 , 칼라크리시난,므리날
IPC分类号： B25J9/16 , B25J5/00 , B25J15/06
CPC分类号： B25J9/1612 , B25J5/007 , B25J9/1633 , B25J9/1664 , B25J15/0616 , G05B2219/37345 , G05B2219/40006 , G05B2219/40512 , G05B2219/40513 , G05B2219/45056 , Y10S901/09 , Y10S901/27 , Y10S901/30 , Y10S901/46
摘要： 로봇디바이스를이용하여물체를이동시키기위한궤적을결정하기위해예시적인시스템들및 방법들이이용될수 있다. 하나의예시적인방법은, 복수의가능한물체측정치에기초하여, 로봇조작기의엔드이펙터로물체를이동시키기위한복수의가능한궤적을결정하는단계를포함한다. 이방법은로봇조작기가엔드이펙터로물체를픽업하게하는단계를더 포함할수 있다. 로봇조작기가엔드이펙터로물체를픽업하게한 이후에, 이방법은물체의하나이상의측정치를나타내는센서데이터를하나이상의센서로부터수신하는단계를또한포함할수 있다. 수신된센서데이터에기초하여, 이방법은복수의가능한궤적으로부터물체를이동시키기위한궤적을선택하는단계를추가적으로포함할수 있다. 이방법은로봇조작기가선택된궤적을통해물체를이동시키게하는단계를더 포함할수 있다.

14. 发明公开

KR1020170072853A 웨이퍼 핸들링을 모니터하는 시스템 및 방법과 웨이퍼 핸들링 기계 审中-实审
标题翻译：用于监控晶圆处理和晶圆处理机的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170072853A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：KR1020170075038
申请日：2017-06-14
申请人： 글로벌파운드리즈 인크.
发明人： 마이너스테판브레들리 , 포스나이트윌리엄존 , 갈라거라이언제이.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67265 , G05B19/4184 , G05B19/41875 , G05B2219/37224 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/67389 , H01L21/68 , H01L21/68707 , Y02P90/04 , Y10S901/02 , Y10S901/27 , H01L21/67 , H01L21/67763
摘要： 웨이퍼핸들링을모니터하는시스템들, 기계들및 방법들이본 명세서에개시된다. 웨이퍼핸들링을모니터하는시스템은센서및 제어기를포함한다. 센서는조립된웨이퍼핸들링기계에고정될수 있다. 제어기는센서와전자통신을하고, 제어로직을포함한다. 제어로직은, 웨이퍼핸들링기계가정렬될때 센서의기준전압을저장하도록구성되고센서의기준출력과현재출력간차이가임계치를초과할때 표시신호를생성하도록구성된다.
摘要翻译：这里公开了用于监测晶片处理的系统，机器和方法。用于监测晶片处理的系统包括传感器和控制器。传感器可以固定在组装好的晶圆处理机上。控制器与传感器进行电子通讯并包含控制逻辑。控制逻辑被配置为在晶圆处理机器对准时存储传感器的参考电压，并且被配置为当传感器的参考输出与电流输出之间的差异超过阈值时产生指示信号。

15. 发明公开

KR1020170012455A 궤적 계획을 위한 물체 메트릭들의 실시간 결정 审中-实审
标题翻译：实时规划目标测量的实时测量
公开(公告)号：KR1020170012455A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020167036709
申请日：2015-07-14
申请人： 엑스 디벨롭먼트 엘엘씨
发明人： 코놀리지,커트 , 루블리,에단 , 칼라크리시난,므리날
IPC分类号： B25J9/16 , B25J5/00 , B25J15/06
CPC分类号： B25J9/1612 , B25J5/007 , B25J9/1633 , B25J9/1664 , B25J15/0616 , G05B2219/37345 , G05B2219/40006 , G05B2219/40512 , G05B2219/40513 , G05B2219/45056 , Y10S901/09 , Y10S901/27 , Y10S901/30 , Y10S901/46
摘要： 로봇디바이스를이용하여물체를이동시키기위한궤적을결정하기위해예시적인시스템들및 방법들이이용될수 있다. 하나의예시적인방법은, 복수의가능한물체측정치에기초하여, 로봇조작기의엔드이펙터로물체를이동시키기위한복수의가능한궤적을결정하는단계를포함한다. 이방법은로봇조작기가엔드이펙터로물체를픽업하게하는단계를더 포함할수 있다. 로봇조작기가엔드이펙터로물체를픽업하게한 이후에, 이방법은물체의하나이상의측정치를나타내는센서데이터를하나이상의센서로부터수신하는단계를또한포함할수 있다. 수신된센서데이터에기초하여, 이방법은복수의가능한궤적으로부터물체를이동시키기위한궤적을선택하는단계를추가적으로포함할수 있다. 이방법은로봇조작기가선택된궤적을통해물체를이동시키게하는단계를더 포함할수 있다.
摘要翻译：示例系统和方法可以用于确定使用机器人装置移动对象的轨迹。一个示例性方法包括基于多个可能的对象测量来确定用于利用机器人操纵器的末端执行器移动对象的多个可能轨迹。该方法可以进一步包括使机器人操纵器用端部执行器拾起物体。在使机器人操纵器用末端执行器拾起物体之后，该方法还可以包括从指示物体的一个或多个测量的一个或多个传感器接收传感器数据。基于所接收的传感器数据，该方法可以另外包括从多个可能的轨迹中选择用于移动对象的轨迹。该方法还可以包括使机器人操纵器通过所选择的轨迹移动对象。

16. 发明授权

KR101629734B1 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 有权
标题翻译：具有利用机械开关机构的多个可动臂的基板输送装置
公开(公告)号：KR101629734B1
公开(公告)日：2016-06-13
申请号：KR1020147029326
申请日：2008-05-08
申请人： 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
发明人： 호프메이스터크리스토퍼 , 크루피셰브알렉산더 , 길크라이스트울리시즈 , 호제크마틴
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07 , B66C23/00
CPC分类号： B25J11/0095 , B25J18/00 , Y10S901/21 , Y10S901/27
摘要： 기판이송장치는, 프레임; 상기프레임에연결되고적어도하나의독립적으로제어가능한모터를포함하는구동부; 상기프레임에연결되고기판들을지지하고이송하기위해배치되는암 링크들을포함하는적어도 2 개의기판이송암들; 및상기적어도하나의독립적으로제어가능한모터및 상기적어도 2 개의기판이송암들에결합되고, 상기적어도 2 개의기판이송암들중 하나의펼침및 접힘을기동시키면서상기적어도 2 개의기판이송암들중 다른하나는실질적으로접힘구성으로남게하는기계적모션스위치를포함한다.

17. 发明授权

KR101626687B1 산업용 로봇 有权
标题翻译：工业机器人
公开(公告)号：KR101626687B1
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020147012782
申请日：2012-11-01
申请人： 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
发明人： 야자와다카유키 , 시바마사고 , 나카지마히로토 , 후지와라마사시
IPC分类号： B25J19/00 , B25J9/06 , B25J15/08 , B25J17/00 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC分类号： B25J9/0012 , B25J9/108 , B25J19/0054 , B25J21/00 , C03B35/207 , H01L21/67742 , Y10S901/27 , Y10T74/20329
摘要： 본발명은, 온도가높은비교적대형반송대상물을반송하는경우에도, 열의영향에의한베어링의마모나손상을억제하는것, 열의영향에의한아암의변형을억제하는것 및, 핸드의중량을경감하는것이가능한산업용로봇을제공한다. 이산업용로봇은, 예를들어반송대상물이탑재되는탑재부(27)를갖는핸드(3)와, 그선단측에서핸드(3)를보유지지하는아암과, 아암의기단측을보유지지하는본체부와, 탑재부(27)의적어도상면을덮는커버부재(30)를구비하고있다. 그리고, 탑재부(27)를세라믹으로, 커버부재(30)를스테인레스로각각형성함으로써, 커버부재(30)에있어서의복사열의반사율은, 탑재부(27)에있어서의복사열의반사율보다도높고, 커버부재(30)의열전도율은, 탑재부(27)의열전도율보다도낮으며, 탑재부(27)의비중은, 커버부재(30)의비중보다도작게되어있다.
摘要翻译：本发明中，即使当温度返回到高相对大的传输对象，haneungeot抑制磨损和轴承的损坏由于热，haneungeot抑制臂的变形的影响，由于热的影响，并且它能够减少手的重量提供工业机器人。分立式机器人中，例如，用于输送物件的主体被安装保持在安装部27，手3和（3）保持所述臂和所述臂的基端侧，手，其在其与该部分前侧并且，即使安装部27部分关闭，盖部件30也覆盖安装部27的上表面。然后，陶瓷构成的安装部（27）中，由分别形成在盖部件30与不锈钢，在罩部件30的辐射热的反射率比所述辐射热的在安装部27的反射率中，盖构件更高安装部分30的导热率低于安装部分27的导热率，并且安装部分27的比率小于盖部件30的比率。

18. 发明公开

KR1020150125702A 경질 구성요소를 지닌 연질 로봇의 자기적 조립 审中-实审
标题翻译：具有硬组件的软运动的磁性装配
公开(公告)号：KR1020150125702A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：KR1020157027003
申请日：2014-03-04
申请人： 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지
发明人： 콱센더블유 , 모린스티븐에이 , 모사데프보박 , 소주희 , 셰퍼드로버트에프 , 화이트사이즈조지엠
IPC分类号： B25J9/14 , B25J9/08 , B25J15/12 , B62D57/032
CPC分类号： B25J9/14 , A63H3/46 , B23P19/04 , B25J9/08 , B25J9/142 , B25J15/0023 , B25J15/0608 , B25J15/12 , B62D57/032 , Y10S901/27 , Y10S901/37 , Y10S901/39
摘要： 경질구성요소를가지는재구성가능연질로봇액추에이터가설명된다. 자력을이용하여, 가압시에작동될수 있는가요성의몰딩된본체를다른가요성의몰딩된본체및/또는경질구성요소(예를들어, 프레임또는연결부)와커플링시켜, 유체연통을위한밀봉을형성하고협력적인작동을형성한다. 경질구성요소를자기적으로-커플링된연질의몰딩된본체로부터디커플링시키기위해서경질구성요소내로구축된공압식디커플링챔버가설명된다. 자기적자가-정렬커플링및 공압식디커플링의이용은, 경질및 연질구성요소를포함하는복잡한구조물의원격조립및 분해를가능하게한다. 자기적커플링은보수, 새로운디자인의테스팅, 및새로운과제의실행을위해서하이브리드연질-경질로봇을신속하고도가역적으로재구성할수 있게한다.

19. 发明公开

KR1020140141428A 구동 장치, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치, 로봇 핸드 및 로봇 审中-实审
标题翻译：驱动装置，电子部件运输装置，电子部件检查装置，机器手和机器人
公开(公告)号：KR1020140141428A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020140027792
申请日：2014-03-10
申请人： 세이코 엡슨 가부시키가이샤
发明人： 마쯔자와아끼라 , 우라노오사무 , 니시무라요시떼루 , 시오자와마사꾸니 , 미야자와오사무
IPC分类号： H02N2/06 , H02N2/00
CPC分类号： H02N2/0075 , H02N2/004 , H02N2/0095 , H02N2/103 , Y10S901/23 , Y10S901/27 , Y10S901/38 , Y10T74/20317
摘要： Provided are a driving device, electronic component carrier, electronic component tester, robot hand, and robot capable of driving a plurality of piezoelectric motors by using a common driving circuit and performing miniaturization, lightening, and low-costs. The driving device (100) comprises a plurality of moving units; the piezoelectric motors (11, 12, 13, and 14) which move the moving units; the driving circuit (30) which drives the piezoelectric motors (11, 12, 13, and 14); and a control unit which controls the piezoelectric motors (11, 12, 13, and 14) and the driving motor (30). The number of the driving circuit (30) is smaller than the number of the piezoelectric motors (11, 12, 13, and 14).
摘要翻译：提供能够通过使用公共驱动电路驱动多个压电电动机并执行小型化，减轻和低成本的驱动装置，电子部件载体，电子部件测试器，机器人手和机器人。驱动装置（100）包括多个移动单元; 使移动单元移动的压电马达（11,12,13,14）驱动压电马达（11,12,13,14）的驱动电路（30）。以及控制压电马达（11,12,13,14）和驱动马达（30）的控制单元。驱动电路（30）的数量小于压电马达（11,12,13,14）的数量。

20. 发明授权

KR101164378B1 병렬형 머니퓰레이터 有权
标题翻译：并行操纵器
公开(公告)号：KR101164378B1
公开(公告)日：2012-07-09
申请号：KR1020110054463
申请日：2011-06-07
申请人： 양국진
发明人： 양국진
IPC分类号： B25J9/06 , B25J19/00
CPC分类号： B25J18/00 , B25J9/0048 , B25J17/0266 , Y10S901/27 , Y10T74/20317
摘要： PURPOSE: A parallel manipulator is provided to prevent step-out even if an object is drastically moved back and forth and left and right sides. CONSTITUTION: A parallel manipulator(10) comprises a base plate(11), multiple motor devices(12), arm modules(13), and a supporting member(14). The multiple motor devices are coupled to the base plate. The arm modules are respectively coupled to the motor devices. The supporting member is coupled to the end of the arm modules by hinges. Each arm module comprises an elastic arm unit(131), an upper arm unit(132), and a lower arm unit(133). The elastic arm unit is coupled to a gear module(122) of the motor device. The elastic arm unit absorbs external force not to be generated step-out in the gear module. One end of the lower arm unit is coupled to the other end of the upper arm unit by the hinge and the other end of the lower arm unit is coupled to the supporting member by the hinge. The elastic arm unit is a leaf spring.
摘要翻译：目的：提供平行机械手，以防止物体在前后左右两侧大幅度移动。构造：平行机械手（10）包括基板（11），多个电机装置（12），臂模块（13）和支撑构件（14）。多个电动机装置联接到基板。臂模块分别联接到电动机装置。支撑构件通过铰链联接到臂模块的端部。每个臂模块包括弹性臂单元（131），上臂单元（132）和下臂单元（133）。弹性臂单元联接到电动机装置的齿轮模块（122）。弹性臂单元吸收齿轮模块中不产生踏出的外力。下臂单元的一端通过铰链联接到上臂单元的另一端，并且下臂单元的另一端通过铰链联接到支撑构件。弹性臂单元是板簧。

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