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11. 发明公开

KR1020140015391A 기판 상에 필름을 부착시키는 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：用于涂覆基材的方法和装置
公开(公告)号：KR1020140015391A
公开(公告)日：2014-02-06
申请号：KR1020137025001
申请日：2012-02-20
申请人： 씨티에프 솔라 게엠베하
发明人： 하미카엘 , 리히터힐마 , 보쎄르트스테펜 , 스테우드텐랄프 , 게오르게스테펜 , 팃텔세바스티안 , 샤드베르너
IPC分类号： C23C14/54 , C23C14/56
CPC分类号： H01L31/18 , C03C17/002 , C03C17/09 , C23C14/541 , C23C14/56 , C23C14/568 , C23C16/46 , H01L21/02422 , H01L21/02557 , H01L21/02562 , H01L21/02568 , H01L21/02617 , H01L21/67109 , H01L21/67706 , H01L21/6776 , H01L31/1828 , H01L31/1876 , H01L31/1892 , Y02E10/543 , Y02P70/521
摘要： 본 발명은 판형 기판, 특히 태양 전지 제조를 위한 유리 기판을 코팅하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 상기 방법은 가열 및 코팅 챔버를 통하여 이송 샤프트 상에서 이동되는 기판을 상부 면 및 하부 면 상에 상이한 정도로 가열하는 단계를 포함하고 있으며, 상기 방법을 통해 기판이 취급하기에 너무 연화되지 않도록 하면서 코팅 온도를 증가시킬 수 있다. 또 상기 방법을 수행하기에 적합한 장치가 설명되고 있으며, 상기 장치는 독립적인 가열 시스템을 갖는 가열 및 코팅 챔버 뿐만 아니라 운반 시스템도 갖고 있다.

12. 发明授权

KR101339573B1 광전 변환 소자용 기판의 제조 방법 失效
标题翻译：光电转换元件制造基板的方法
公开(公告)号：KR101339573B1
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020087012152
申请日：2007-03-12
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 아키야마,쇼지 , 구보타요시히로 , 이토아츠오 , 가와이마코토 , 도비사카유우지 , 다나카고이치
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/20 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/76254 , H01L31/0687 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/544 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 실리콘 기판(100)의 표면에 벌크의 도전형과는 반대인 도전형인 실리콘층(10B)을 마련하고, 표면 영역의 정해진 깊이(L)에 실리콘층(10B)을 통해 수소 이온을 주입하여 수소 이온 주입층(11)을 형성한다. 계속해서, 실리콘층(10B)과 반대의 도전형인 n형의 게르마늄계 결정층(20A) 및 게르마늄계 결정층(20A)과 반대의 도전형인 p형의 게르마늄계 결정층(20B)을 순차적으로 기상 성장하여 게르마늄계 결정(20)을 형성한다. 게르마늄계 결정층(20B)의 표면과 지지 기판(30)의 표면을 접착시키고, 이 상태에서 외부로부터 충격을 부여하여 수소 이온 주입층(11)을 따라 실리콘 기판(100)으로부터 실리콘 결정(10)을 분리시켜 게르마늄계 결정(20)과 실리콘 결정(10)의 적층 구조체를 지지 기판(30) 상에 전사(박리)한다.
실리콘 기판

13. 发明公开

KR1020130099230A 반도체 템플레이트를 재구성하기 위한 방법 有权
标题翻译：重构半导体模板的方法
公开(公告)号：KR1020130099230A
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：KR1020137020199
申请日：2011-12-31
申请人： 솔렉셀, 인크.
发明人： 크래머,카를-조셉 , 모슬레히,메흐르더드,엠. , 왕,다비드,쑤안-치 , 카바리,라힘 , 리콜콜,라파엘 , 애쉬자이,제이
IPC分类号： H01L31/04 , H01L31/0216 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/1892 , H01L21/02381 , H01L21/0243 , H01L21/02513 , Y02E10/50
摘要： The disclosed subject matter pertains to deposition of thin film or thin foil materials in general, but more specifically to deposition of epitaxial monocrystalline or quasi-monocrystalline silicon film (epi film) for use in manufacturing of high efficiency solar cells. In operation, methods are disclosed which extend the reusable life and to reduce the amortized cost of a substrate or template used in the manufacturing process of silicon solar cells. Further, methods are disclosed which provide for the conversion of a low quality starting surface into an improved quality starting surface of a silicon wafer.

14. 发明公开

KR1020130093528A 인쇄가능한 화합물 반도체 장치를 박리시키기 위한 물질 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于释放可印刷复合半导体器件的材料和方法
公开(公告)号：KR1020130093528A
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：KR1020127034088
申请日：2011-08-04
申请人： 셈프리어스 아이엔씨.
发明人： 메이틀,매튜 , 보워,크리스토퍼 , 메나르,에띠엔느 , 카터,제임스 , 그레이,알렌 , 보나페드,살바토르
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/306 , H01L21/02395 , H01L21/02461 , H01L21/02546 , H01L21/02549 , H01L21/02664 , H01L21/30612 , H01L21/7813 , H01L23/053 , H01L23/28 , H01L31/02168 , H01L31/048 , H01L31/184 , H01L31/1844 , H01L31/1892 , H01L2924/0002 , Y02E10/544 , H01L2924/00
摘要： 전사가능한 반도체 장치를 제조하는 방법은 기판 위에 인듐 알루미늄 인화물을 포함하는 박리층을 제공하는 단계, 및 박리층 위에 지지층을 제공하는 단계를 포함한다. 지지층 및 기판은 박리층이 상기 지지층 및 기판에 비해 에칭 선택성을 갖도록 하는 각각의 물질, 예컨대 비소화물-기재의 물질을 포함한다. 1개 이상의 장치층이 지지층 위에 제공된다. 박리층은 지지층 및 기판의 실질적 에칭 없이 선택적으로 에칭된다. 관련 구조물 및 방법 또한 논의된다.
摘要翻译：制造可转移半导体器件的方法包括在衬底上提供包括磷化铝铟的释放层，并在释放层上提供支撑层。支撑层和基板包括各种材料，例如基于砷化物的材料，使得剥离层相对于支撑层和基底具有蚀刻选择性。在支撑层上提供至少一个器件层。选择性地蚀刻释放层，而基本上不蚀刻支撑层和基底。还讨论了相关的结构和方法。

15. 发明公开

KR1020110073601A 후면측 접점들을 구비한 광전지 장치 无效
标题翻译：具有背面接触的光电器件
公开(公告)号：KR1020110073601A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020117011463
申请日：2009-10-23
申请人： 알타 디바이씨즈, 인크.
发明人： 키질얄리,아이식,씨 , 아처,멜리사 , 앗와터,해리 , 그미터,토마스,제이. , 히,강 , 헤게데우스,안드레아스 , 히가시,그레그
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/072
CPC分类号： H01L31/022458 , H01L31/02167 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/0304 , H01L31/03046 , H01L31/035281 , H01L31/0735 , H01L31/184 , H01L31/1844 , H01L31/1852 , H01L31/1892 , Y02E10/544 , Y02P70/521
摘要： 전자기 복사, 예를 들면, 태양 에너지를 전기 에너지로 변환시키기 위해 제공된 방법 및 장치는 종래의 태양 전지들에 비해 효율을 증가시킨다. 광전지(PV) 장치는 일반적으로 윈도우 층; 광자들이 상기 윈도우 층을 통해 이동하고 흡수 층에 의해 흡수될 시에 전자들이 발생되도록, 상기 윈도우 층 하부에 배치된 흡수 층; 및 상기 흡수 층에 연결된 외부 연결용 복수의 접점들(상기 외부 연결용 접점들은 상기 흡수 층 하부에 배치되고, 상기 광자들이 상기 윈도우 층을 통해 상기 흡수 층에 이르는 것을 차단하지 않음)을 포함한다. PV 장치의 후면측 상에 접점들 모두를 위치시킴으로써, 통상적으로 종래의 태양 전지에서 발견되는 전면측 접점들에 의해 발생된 태양 샤도우는 방지된다. 그러므로, 본원에서 기술된, 후면측 접점들을 구비한 PV 장치들은 종래의 태양 전지에 비해 효율을 증가시킬 수 있다.

16. 发明公开

KR1020100014873A 접합 기판의 제조방법 및 접합 기판 有权
标题翻译：生产层压基板和层压基板的方法
公开(公告)号：KR1020100014873A
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：KR1020097018013
申请日：2007-02-28
申请人： 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
发明人： 아키야마쇼지 , 이토아츠오 , 쿠보타요시히로 , 타나카코이치 , 카와이마코토 , 토비사카유우지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L27/12
CPC分类号： H01L21/76254 , H01L21/31051 , H01L21/76251 , H01L31/1892 , Y02E10/50
摘要： A process for producing a laminated substrate which comprises: a step in which an oxide film is formed on a surface of a first substrate having a hardness of 150 GPa or higher in terms of Young's modulus and the oxide film is flattened; a step in which hydrogen ions, rare-gas ions, or ions of a mixture of these are implanted into a second substrate through a surface thereof to form an ion-implanted layer in an inner part of the substrate; a step in which the first substrate and the second substrate are laminated to each other through at least the oxide film and then the second substrate is separated at the ion-implanted layer to obtain a laminated substrate; and a step in which the laminated substrate is heat-treated to diffuse the oxide film outward.
摘要翻译：一种层压基板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：在杨氏模量下以硬度为150GPa以上的第一基板的表面形成氧化膜，并使氧化膜变平。其中氢离子，稀有气体离子或它们的混合物的离子通过其表面注入到第二衬底中以在衬底的内部形成离子注入层的步骤; 至少使氧化膜层叠第一基板和第二基板，然后在离子注入层分离第二基板，得到层叠基板的工序; 以及将层叠基板进行热处理以向外扩散氧化膜的步骤。

17. 发明公开

KR1020090108712A 프린팅기반 어셈블리에 의해 제조되는 광학 시스템 有权
标题翻译：基于印刷的组装制造的光学系统
公开(公告)号：KR1020090108712A
公开(公告)日：2009-10-16
申请号：KR1020097017067
申请日：2007-10-31
申请人： 더 보오드 오브 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 일리노이즈 , 셈프리어스 아이엔씨.
发明人： 로저스존 , 뉴조랄프 , 메이틀매튜 , 메나르에티엔느 , 바카알프레드제이. , 모탈라마이클 , 안종현 , 박상일 , 유창재 , 고흥조 , 스토이코비치마크 , 윤종승
IPC分类号： H01L27/15
CPC分类号： H01L25/50 , B81C2201/0185 , B82Y10/00 , H01L21/00 , H01L25/042 , H01L25/0753 , H01L25/167 , H01L27/1214 , H01L27/124 , H01L27/1285 , H01L27/1292 , H01L27/14627 , H01L27/14636 , H01L27/14643 , H01L29/78603 , H01L29/78681 , H01L31/02005 , H01L31/02008 , H01L31/02168 , H01L31/02325 , H01L31/02327 , H01L31/0288 , H01L31/03046 , H01L31/043 , H01L31/0525 , H01L31/0543 , H01L31/0547 , H01L31/0693 , H01L31/0725 , H01L31/167 , H01L31/1804 , H01L31/1824 , H01L31/1868 , H01L31/1876 , H01L31/1892 , H01L33/005 , H01L33/0079 , H01L33/06 , H01L33/30 , H01L33/483 , H01L33/52 , H01L33/54 , H01L33/56 , H01L33/58 , H01L33/62 , H01L2924/0002 , H01L2933/005 , H01L2933/0058 , H01L2933/0066 , H01L2933/0091 , H01S5/021 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01S5/3013 , H01S5/34326 , H01S5/423 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521 , H01L2924/00
摘要： The present invention provides optical devices and systems fabricated, at least in part, via printing-based assembly and integration of device components Optical systems of the present invention comprise semiconductor elements assembled, organized and/or integrated with other device components via printing techniques that exhibit performance characteristics and functionality comparable to 10 single crystalline semiconductor based devices fabricated using conventional high temperature processing methods Optical systems of the present invention have device geometries and configurations, such as form factors, component densities, and component positions, accessed by printing that provide a range of useful device functionalities.
摘要翻译：本发明提供了至少部分地通过基于印刷的组装和器件部件的集成制造的光学器件和系统。本发明的光学系统包括通过印刷技术组装，组织和/或与其它器件部件集成的半导体元件性能特征和功能与使用常规高温处理方法制造的10个基于单晶半导体的器件相当。本发明的光学系统具有诸如形状因子，部件密度和部件位置之类的器件几何形状和构造，其通过印刷获得，其提供范围有用的设备功能。

18. 发明公开

KR1020090099371A 열처리 방법 有权
标题翻译：热处理方法
公开(公告)号：KR1020090099371A
公开(公告)日：2009-09-22
申请号：KR1020080024567
申请日：2008-03-17
申请人： 주식회사 티지오테크
发明人： 장인구 , 이유진 , 김동제
IPC分类号： H01L21/324
CPC分类号： H01L21/324 , B32B37/0015 , B32B37/144 , B32B38/0036 , H01L21/67092 , H01L21/67109 , H01L21/6835 , H01L31/1864 , H01L31/1892 , H01L2924/3511 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： A heat treatment method is provided to prevent deformation of a substrate by positioning a weight on a laminated substrate. A second substrate(10b) is laminated on a first substrate(10a). A weight(20) is laminated on the second substrate. Thin films(12) of the first substrate and the second substrate are contacted. The weight is a quartz plate. An additional substrate is continuously laminated on the second substrate.
摘要翻译：提供一种热处理方法，以通过将重量定位在层压基板上来防止基板的变形。第二基板（10b）层叠在第一基板（10a）上。重物（20）层叠在第二基板上。使第一基板和第二基板的薄膜（12）接触。重量是石英板。在第二基板上连续地层叠另外的基板。

19. 发明公开

KR1020070004787A 적층형 박막 태양전지 및 그 방법 无效
标题翻译：层压型薄膜太阳能电池及其生产方法
公开(公告)号：KR1020070004787A
公开(公告)日：2007-01-09
申请号：KR1020067020203
申请日：2005-03-30
申请人： 로무 가부시키가이샤
发明人： 사이히로노부
IPC分类号： H01L31/047 , H01L31/0445
CPC分类号： H01L31/1892 , H01L31/03046 , H01L31/043 , H01L31/0687 , H01L31/184 , H01L2924/0002 , Y02E10/544 , Y02P70/521 , H01L2924/00
摘要： A laminate type thin-film solar cell capable of efficiently converting sunlight, being laminated in multi- stages without limitation in selecting a semiconductor material, and being excellent in conversion efficiency, and a production method therefore. A first photoelectric conversion unit provided with a first semiconductor laminate (1a) consisting of a semiconductor having a first band gap energy and a pair of first electrodes (13, 14) is provided on a substrate (4), and a second photoelectric conversion unit provided with a second semiconductor laminate (2a) consisting of a semiconductor having a second band gap energy and a pair of second electrodes (23, 24) is pasted thereon. A third photoelectric conversion unit provided with a third semiconductor laminate (3a) consisting of a semiconductor having a third band gap energy and a pair of third electrodes (33, 34) may be pasted thereon, and as may conversion units as desired can be pasted. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：能够有效地转换太阳光的层叠型薄膜太阳能电池，其层叠多层，不限于选择半导体材料，转换效率优异，因此可以制造方法。设置有由具有第一带隙能量的半导体构成的第一半导体层叠体（1a）和一对第一电极（13,14）的第一光电转换单元设置在基板（4）上，第二光电转换单元设置有由具有第二带隙能量的半导体和一对第二电极（23,24）组成的第二半导体层叠体（2a）。设置有由具有第三带隙能量的半导体构成的第三半导体层叠体（3a）和一对第三电极（33,34）的第三光电转换单元可以粘贴在其上，并且可以粘贴所需的转化单元。 ®KIPO＆WIPO 2007

20. 发明授权

KR100403690B1 기체로부터소자형성층을분리하는방법 失效
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR100403690B1
公开(公告)日：2003-12-06
申请号：KR1019960002396
申请日：1996-02-01
申请人： 소니 주식회사
发明人： 마쓰시타다케시 , 다야나카히로시
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/76251 , H01L21/02381 , H01L21/0245 , H01L21/02488 , H01L21/02513 , H01L21/02532 , H01L21/02658 , H01L21/02664 , H01L21/76259 , H01L31/048 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/1892 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 고변환효율의 박막태양전지 등의 고성능의 박막소자를 저코스트로 제조할 수 있는 기체(基體)로부터 소자형성층을 분리하는 방법을 제공한다.
단결정 Si기판(1)상에 다공질 Si층(2)을 형성하고, 그 위에 태양전지층으로 될 p
+ 형 Si층(3), p형 Si층(4) 및 n
+ 형 Si층(5)을 형성한다. n
+ 형 Si층(5)상에 보호막(6)을 형성한 후, 단결정 Si기판(1)의 배면을 지그(10)에 접착하는 동시에, 보호막(6)의 표면에 지그(12)를 접착한다. 다음에, 지그(10),(12)를 서로 반대방향으로 인장함으로써 다공질 Si층(2)을 기계적으로 파단하여, 태양전지층을 단결정 Si기판(1)으로부터 분리한다. 이 태양전지층을 2매의 플라스틱기판의 사이에 협지하여 플렉시블한 박막태양전지를 제조한다.
摘要翻译：在单晶Si衬底上形成多孔Si层，然后形成所有构成太阳能电池层的p +型Si层，p型Si层和n +型Si层。在n +型Si层上形成保护膜后，将单晶Si衬底的背面与刀具接合，另一工具与保护膜的前表面接合。然后，将工具沿相反方向拉动以机械破裂多孔Si层并将太阳能电池层与单晶衬底分开。随后将太阳能电池层夹在两个塑料基板之间以制造柔性薄膜太阳能电池。

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