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11. 发明授权

KR101547533B1 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법 有权
标题翻译：具有精细图案的成型结构的方法
公开(公告)号：KR101547533B1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：KR1020130141902
申请日：2013-11-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박재홍 , 양충모 , 김희연 , 김병일 , 김우충 , 장현익 , 김한흥 , 유동은
IPC分类号： B29C59/02
摘要： 본발명은미세패턴이형성된구조체를제조하는방법에관한것으로서, 더욱상세하게는고분자몰드를이용한생산성이향상된미세패턴이형성된구조체의제조방법에관한것이다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은, (ㄱ) 표면에패턴이형성된고분자몰드를제조하는단계와, (ㄴ) 상기고분자몰드의패턴내에유동성재료를도포하는단계와, (ㄹ) 2차구조체지지기판을상기고분자몰드의패턴위에배치하는단계와, (ㅁ) 상기유동성재료를경화시켜상기 2차구조체지지기판에부착하는단계와, (ㅂ) 상기 2차구조체지지기판과상기고분자몰드를분리시켜, 상기유동성재료가경화되면서형성된유동성재료경화구조체가부착된 2차구조체지지기판을얻는단계를포함한다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은기포등에의한패턴결함이발생할확률이낮다는장점이있다. 따라서구조의미세화와고밀도화에유리하며수율이높다.

12. 发明公开

KR1020150059190A 미세 패턴이 형성된 구조체의 제조방법 有权
标题翻译：用精细图案形成结构的方法
公开(公告)号：KR1020150059190A
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：KR1020130141902
申请日：2013-11-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 박재홍 , 양충모 , 김희연 , 김병일 , 김우충 , 장현익 , 김한흥 , 유동은
IPC分类号： B29C59/02
CPC分类号： B29C59/022 , B29C41/22 , B29C59/046 , B29C2059/023 , G03F7/0002
摘要： 본발명은미세패턴이형성된구조체를제조하는방법에관한것으로서, 더욱상세하게는고분자몰드를이용한생산성이향상된미세패턴이형성된구조체의제조방법에관한것이다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은, (ㄱ) 표면에패턴이형성된고분자몰드를제조하는단계와, (ㄴ) 상기고분자몰드의패턴내에유동성재료를도포하는단계와, (ㄹ) 2차구조체지지기판을상기고분자몰드의패턴위에배치하는단계와, (ㅁ) 상기유동성재료를경화시켜상기 2차구조체지지기판에부착하는단계와, (ㅂ) 상기 2차구조체지지기판과상기고분자몰드를분리시켜, 상기유동성재료가경화되면서형성된유동성재료경화구조체가부착된 2차구조체지지기판을얻는단계를포함한다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은기포등에의한패턴결함이발생할확률이낮다는장점이있다. 따라서구조의미세화와고밀도화에유리하며수율이높다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造具有精细图案的结构的方法，更具体地说，涉及使用聚合物模具提高生产率的精细图案的结构的制造方法，包括以下步骤：（a）制造聚合物模具，表面有图案; （b）用流体材料在聚合物模具上涂布图案; （d）在所述聚合物模具上设置辅助结构支撑基板; （e）将固化的流体材料附着到二级结构支撑基底; 和（f）将聚合物模具与二级结构支撑基材分离，从而获得附着有通过固化流体材料形成的流体材料的固化结构的第二结构支撑基底，从而具有高产率，同时具有较低的图案可能性气泡造成的故障，有利于制作微结构和高密度。

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