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    • 18. 发明授权
    • 물리적 기상 성장법에 사용하는 성막용 재료
    • 用于物理蒸气沉积方法的沉积材料
    • KR101714065B1
    • 2017-03-08
    • KR1020110066881
    • 2011-07-06
    • 우베 마테리알즈 가부시키가이샤
    • 가토유조다카사키가오루사이다마사토우에키아키라
    • C23C14/08C23C14/30C23C14/34C04B35/04
    • (과제) 산화마그네슘과산화마그네슘이외의알칼리토류금속산화물을포함하면서도흡습성이낮고, 또한전자빔증착법이나스퍼터링법등의물리적기상성장법에의해 2 차전자방출계수가높은막을제조할수 있는성막용재료를제공한다. (해결수단) 산화마그네슘과산화마그네슘이외의알칼리토류금속산화물을, 마그네슘과마그네슘이외의알칼리토류금속의몰비로서 98:2∼80:20 의범위가되는비율로포함하고, 상대밀도가 95.0∼99.9 % 의범위에있는복합알칼리토류금속산화물로서, 추가로가수가 3 가, 4 가또는 5 가중 어느것인적어도하나의금속원소의산화물을, 상기의알칼리토류금속 1 몰에대해, 그금속원소의양으로서 0.0002∼0.1 몰의범위가되는양으로함유하는복합알칼리토류금속산화물.
    • 要解决的问题:尽管含有氧化镁以外的氧化镁和碱土金属氧化物,并且能够通过物理气相沉积法制造二次电子发射系数高的膜,但是提供吸湿性低的成膜材料, 电子束沉积法或溅射法等相位外延法。该复合碱土金属氧化物含有氧化镁和氧化镁以外的比例为98:2〜80:1的氧化镁和碱土金属氧化物。 20作为镁与镁以外的碱土金属的摩尔比,其中相对密度在95.0-99.9%的范围内。 所述复合碱土金属氧化物含有至少一种金属元素的氧化物,所述金属元素具有三价,四价或五价的价数,金属元素的量相对于碱的1摩尔为0.0002-0.1摩尔 - 地下金属。