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11. 发明授权

KR101285589B1 미세전자기계시스템을 이용한 트라이볼로지 테스터기, 트라이볼로지 테스터기를 갖는 반도체 패키지 有权
标题翻译：微电子机械系统测量仪和具有三极管的半导体封装
公开(公告)号：KR101285589B1
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020120037352
申请日：2012-04-10
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： B81B7/02 , B81B3/0018 , B81B3/0035 , B81B2203/0136 , B81B2203/051 , B81B2207/03 , B81C99/0035
摘要： PURPOSE: A tribology tester using a micro-electromechanical system (MEMS) and a semiconductor package with the same are easily test tribology properties of abrasion and friction generated in the relative motion of two MEMS structures under a condition similar to an actual condition in which a micro Newton load is applied at low costs. CONSTITUTION: A tribology tester (100) using an MEMS includes a horizontal driving unit (120), a load applying unit (130), an upper substrate (140), and a lower substrate. The horizontal driving unit includes a stator electrode (121), a driver electrode (122), a shuttle plate (123), and a first elastic member (126). The stator and driver electrodes in both left and right sides of the tester are mutually intercrossed and engaged, thereby being formed into a comb shape. The load applying unit includes a pressing plate (131), a second elastic member (132), and a support plate (133). The load applying unit is patterned under the upper substrate. The horizontal driving unit is patterned above the lower substrate. The thickness of the pressing plate is thicker than that of the support plate.
摘要翻译：目的：使用微机电系统（MEMS）和其半导体封装的摩擦学测试仪容易地测试在两个MEMS结构的相对运动中产生的磨损和摩擦的摩擦学特性，其条件类似于实际情况，其中以低成本应用微牛顿负荷。构成：使用MEMS的摩擦学测试器（100）包括水平驱动单元（120），负载施加单元（130），上基板（140）和下基板。水平驱动单元包括定子电极（121），驱动电极（122），梭板（123）和第一弹性部件（126）。测试仪的左右两侧的定子和驱动电极互相交叉啮合，形成梳状。负载施加单元包括压板（131），第二弹性构件（132）和支撑板（133）。负载施加单元被图案化在上基板的下面。水平驱动单元在下基板上形成图案。压板的厚度比支撑板的厚度厚。

12. 发明授权

KR101285226B1 공차 보상 기능을 갖는 나노/마이크로 롤러 베어링 및 그 제조방법 有权
标题翻译：耐磨补偿纳米/微型滚子轴承及其制造方法
公开(公告)号：KR101285226B1
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：KR1020120069334
申请日：2012-06-27
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： F16C33/36 , F16C19/52 , B81B5/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00531 , B81C3/005 , B81C2203/054 , F16C27/04 , F16C29/002 , F16C33/34 , F16C2240/40 , F16C2380/18
摘要： PURPOSE: A nano/micro roller bearing with a tolerance compensation function and a manufacturing method thereof are provided to effectively absorb the mechanical process tolerance of a microelectromechanical system (MEMS) structure and to minimize the deformation of the roller bearing. CONSTITUTION: A nano/micro roller bearing (100) with a tolerance compensation function is installed between two MEMS structures which are relatively motioned. The bearing is a roller bearing of a tube form with a C-shaped cross-section where gaps (110) of a constant distance are formed. The roller bearing is formed of a silicon material. Aluminum is charged in an internal space of the roller bearing. Polymer is charged in the internal space of the roller bearing.
摘要翻译：目的：提供具有公差补偿功能的纳米/微型滚子轴承及其制造方法，以有效吸收微机电系统（MEMS）结构的机械加工公差，并使滚子轴承的变形最小化。构成：具有公差补偿功能的纳米/微型滚子轴承（100）安装在相对运动的两个MEMS结构之间。轴承是具有C形横截面的管形式的滚子轴承，其中形成了恒定距离的间隙（110）。滚子轴承由硅材料形成。铝被装入滚子轴承的内部空间。聚合物装入滚子轴承的内部空间。

13. 发明授权

KR101627208B1 음의 열 팽창 계수를 가지는 물질을 이용한 기능성 코팅 구조, 이의 제조방법 및 이를 적용한 미세 전동 장치 有权
标题翻译：使用负极热膨胀材料制造方法和使用其的微型齿轮装置的功能涂层结构
公开(公告)号：KR101627208B1
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020140073673
申请日：2014-06-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： C23C14/14 , C23C14/24 , C23C16/06
摘要： 본발명은음의열 팽창계수를가지는물질을이용한기능성코팅구조, 이의제조방법및 이를적용한미세전동장치에관한것으로서, 더욱상세하게는음의열 팽창계수를갖는물질로접촉층을형성하여탄성변형에의한압력분산효과및 복원효과를통해마찰, 마모저감코팅구조를구현함으로써, 종래의연질재료를이용한탄성코팅과동일한효과를얻을수 있으면서도상대적으로강성이높아접촉층자체의마모나파손을방지할수 있는기능성코팅구조및 이의제조방법에관한것이다.

14. 发明授权

KR101602279B1 롤러베어링을 포함하는 웨이퍼 및 그 제조방법 有权
标题翻译：具有圆柱形轴承的晶圆及其制造方法
公开(公告)号：KR101602279B1
公开(公告)日：2016-03-10
申请号：KR1020140179050
申请日：2014-12-12
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： H01L27/12
摘要： 롤러베어링을포함하는웨이퍼및 그제조방법이게시된다. 본발명의실시예에따른웨이퍼(100)는, 서로상대운동하는상판(110)과하판(120)을구비하고, 상판(110)과하판(120) 사이에롤러베어링(130)을장착하는웨이퍼(Wafer, 100); 및상기웨이퍼(100)의상판(110)과하판(120) 사이에장착되고, 일측에일정간격의갭(gap, 131)이형성된 'C'자형횡단면구조를가지는튜브(tube) 형태의롤러베어링(roller bearing, 130);을포함하고, 상기웨이퍼(100)는: 하판(120)에롤러베어링(130)이움직일수 있는홈(121)을제작한후, 하부면에인슐레이터층(insulator layer)이형성된상판을하판상부에부착시켜롤러베어링(130)을압축한상태로홈(121)에위치시키고, 인슐레이터층(insulator layer, 140)을제거하는공정에의해롤러베어링(130)을원래상태로복원시켜롤러베어링(130)이동작하도록하는제조방법에의해제작되고, 상기롤러베어링(130)의외경(D)은하판(120)에형성된홈(121)의깊이(d)와인슐레이터층(140)의두께(t)의합과동일한것을을구성의요지로한다.

15. 发明公开

KR1020150144615A 음의 열 팽창 계수를 가지는 물질을 이용한 기능성 코팅 구조, 이의 제조방법 및 이를 적용한 미세 전동 장치 有权
标题翻译：使用负极热膨胀材料的功能涂层结构及其制造方法及使用其的微型齿轮装置
公开(公告)号：KR1020150144615A
公开(公告)日：2015-12-28
申请号：KR1020140073673
申请日：2014-06-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： C23C14/14 , C23C14/24 , C23C16/06
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/083 , C23C14/18 , C23C14/28 , C23C14/30 , C23C14/3464 , H01L2924/1461
摘要： 본발명은음의열 팽창계수를가지는물질을이용한기능성코팅구조, 이의제조방법및 이를적용한미세전동장치에관한것으로서, 더욱상세하게는음의열 팽창계수를갖는물질로접촉층을형성하여탄성변형에의한압력분산효과및 복원효과를통해마찰, 마모저감코팅구조를구현함으로써, 종래의연질재료를이용한탄성코팅과동일한효과를얻을수 있으면서도상대적으로강성이높아접촉층자체의마모나파손을방지할수 있는기능성코팅구조및 이의제조방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及使用具有负热膨胀系数的材料的功能性涂层结构，其制造方法和使用其的微型齿轮装置，更具体地涉及负热膨胀材料，功能性涂层结构，以及其制造方法，其形成用于实现涂层结构的接触层，其通过压力扩散效应和恢复效果通过弹性变形减少摩擦和磨损。因此，本发明能够使用户获得与使用现有软质材料的弹性涂层相同的效果，并且防止接触层以相对较高的刚度磨损和损坏。

16. 发明公开

KR1020150005496A 롤러베어링을 포함하는 웨이퍼 및 그 제조방법 有权
标题翻译：具有圆柱轴承的SOI衬垫及其制造方法
公开(公告)号：KR1020150005496A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020140179050
申请日：2014-12-12
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： H01L27/12
摘要： 롤러베어링을 포함하는 SOI웨이퍼 및 그 제조방법이 게시된다. 본 발명의 실시예에 따른 SOI웨이퍼 제조방법(S100)은, a) SOI웨이퍼의 하판에 롤러베어링이 움직일 수 있는 홈을 형성시키는 홈 형성단계(S110); b) 홈형성단계에서 형성된 홈에 롤러베어링을 위치시키는 롤러베어링 배치단계(S120); c) 하부면에 인슐레이터층(insulator layer)이 형성된 상판을 하판 상부에 부착시켜 롤러베어링을 압축시키는 상판 부착단계(S130); 및 d) 인슐레이터층을 제거하여 롤러베어링을 원래 상태로 복원시키는 인슐레이터층 제거단계(S140);를 포함하는 것을 구성의 요지로 한다.
본 발명에 따른 SOI웨이퍼 제조방법은, SOI웨이퍼의 상판과 하판 제조 후 상판과 하판을 분리하여 베어링을 내부에 장착하는 공정을 제거함으로써, 종래기술 대비 현저히 향상된 공정 효율을 달성할 수 있다.
摘要翻译：公开了包括滚子轴承的SOI晶片及其制造方法。根据本发明的实施例的制造SOI晶片的方法（S100）包括以下步骤：a）形成滚子轴承可以在SOI晶片的底板上移动的槽（S110）; b）将滚子轴承定位在凹槽中（S120）; c）通过将包括形成在其下表面的绝缘体层的上板连接到底板的上部来压缩滚子轴承（S130）; d）通过去除绝缘体层将滚柱轴承恢复到初始状态（S140）。与现有技术相比，根据本发明的制造SOI晶片的方法可以通过省略通过从底板分离上板而将轴承安装在内部的过程而获得显着提高的加工效率。

17. 发明授权

KR101413249B1 압전소자를 포함하는 베어링 및 이를 구동시키는 방법 有权
标题翻译：具有压电元件的轴承及其工作方法
公开(公告)号：KR101413249B1
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：KR1020130086871
申请日：2013-07-23
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성
IPC分类号： F16C32/00 , F16C17/02 , F16C29/02
CPC分类号： F16C29/02 , F16C29/005 , F16C2380/26 , H02N2/02
摘要： A bearing having a piezoelectric element and a method for operating the same are disclosed. The bearing according to an embodiment of the present invention is a bearing for supporting a rotationally or linearly moving material (1) which comprises supporting units (310, 320) supporting the moving material (1) and having vibration generating units (311, 321); elastic units (312, 322) mounted on at least a part of the surface of the vibration generating units (311, 321) to be located between the moving material (1) and the vibration generating units (311, 321); and a power supplying unit (400) supplying power to the vibration generating units (311, 321). The vibration generating units (311, 321) are comprised of a piezoelectric element.
摘要翻译：公开了一种具有压电元件的轴承及其操作方法。根据本发明的实施例的轴承是用于支撑旋转或线性移动材料（1）的轴承，其包括支撑移动材料（1）并具有振动发生单元（311,321）的支撑单元（310,320） ; 安装在振动产生单元（311,321）的表面的至少一部分上以位于移动材料（1）和振动发生单元（311,321）之间的弹性单元（312,322）; 以及向振动发生单元（311,321）供电的供电单元（400）。振动发生单元（311,321）由压电元件构成。

18. 发明授权

KR101411328B1 마찰 마모 저감을 위한 탄성 표면 구조 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：用于磨损和摩擦减少的弹性表面结构及其方法
公开(公告)号：KR101411328B1
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：KR1020130005309
申请日：2013-01-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김대은 , 유신성 , 올릭세이펜코브
IPC分类号： C09D5/00 , G03F7/26
CPC分类号： G03F1/0007 , G03F1/74 , G03F1/80 , G03F7/161 , G03F7/70991 , H01L21/02274 , H01L21/0274 , H01L21/0337 , H01L21/7624 , H01L2924/1461
摘要： The present invention relates to an elastic surface structure for reducing wear and friction between two structures which relatively move while being in contact with each other and a manufacturing method thereof. For this, the elastic surface structure for reducing wear and friction between two structures which relatively move while being in contact with each other comprises: a plurality of pillar units which have a pillar shape, are arranged at intervals on the surface of the structure, are deformed within an inherent elasticity range when a load is applied from the structure, and are restored to its initial shape when the load is removed; and a plurality of plate units which have a plate shape, are fixed to the top of the pillar units, and move by linking with the pillar units while being in contact with the surface of the structure when the pillar units are elastically deformed due to the load from the structure.
摘要翻译：本发明涉及一种用于减少相互接触地相对移动的两个结构之间的磨损和摩擦的弹性表面结构及其制造方法。为此，用于减少彼此相对移动而相互移动的两个结构之间的磨损和摩擦的弹性表面结构包括：在结构表面上间隔布置有具有柱状的多个柱单元，在从结构施加载荷时在固有的弹性范围内变形，并且当负载被去除时恢复到其初始形状; 并且具有板状的多个板单元被固定到柱单元的顶部，并且当柱单元由于该柱单元弹性变形而与柱单元连动时与该结构的表面接触而移动从结构加载。

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