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    • 13. 发明授权
    • 반도체 소자용 미세 패턴 형성 방법
    • 반도체소자용미세패턴형성방법
    • KR100408163B1
    • 2003-12-01
    • KR1020010066654
    • 2001-10-29
    • 주식회사 미뉴타텍
    • 강달영김태완백승준
    • H01L21/027
    • PURPOSE: A method for fabricating a micro pattern of a semiconductor device is provided to from a micro pattern of a desired thin film on a substrate by using a simple process using a mold having a solvent absorbing force. CONSTITUTION: The mold(122) having a solvent absorbing force is prepared, including a pattern structure composed of an embossed part and an intagliated part. A thin film material having fluidity caused by a solvent is formed on the substrate(102). The solvent is reabsorbed to the thin film material. The mold is pressurized at a predetermined pressure to contact the thin film material. A part of the thin film material in contact with the embossed part of the mold pattern flows into the intagliated part of the mold pattern while the solvent contained in the thin film material is absorbed to the mold, so that the thin film material is solidified. The mold is separated from the substrate. The residual thin film material in contact with the embossed part of the mold is removed to selectively expose a part of the upper part of the substrate so that a thin film fine pattern is formed.
    • 目的:通过使用具有溶剂吸收力的模具的简单工艺,从衬底上的期望薄膜的微图案提供用于制造半导体器件的微图案的方法。 组成:制备具有溶剂吸收力的模具(122),包括由压花部分和凹刻部分组成的图案结构。 在基板(102)上形成由溶剂引起的具有流动性的薄膜材料。 溶剂被重新吸收到薄膜材料上。 模具在预定压力下加压以接触薄膜材料。 与模具图案的压花部分接触的薄膜材料的一部分流入模具图案的凹陷部分,同时包含在薄膜材料中的溶剂被吸收到模具,使得薄膜材料固化。 模具与基材分离。 去除与模具的压花部分接触的残留薄膜材料,以选择性地暴露基板的上部的一部分,从而形成薄膜精细图案。
    • 14. 发明公开
    • 반도체 소자용 미세 패턴 형성 방법
    • 用于制作半导体器件微型图的方法
    • KR1020030034864A
    • 2003-05-09
    • KR1020010066654
    • 2001-10-29
    • 주식회사 미뉴타텍
    • 강달영김태완백승준
    • H01L21/027
    • PURPOSE: A method for fabricating a micro pattern of a semiconductor device is provided to from a micro pattern of a desired thin film on a substrate by using a simple process using a mold having a solvent absorbing force. CONSTITUTION: The mold(122) having a solvent absorbing force is prepared, including a pattern structure composed of an embossed part and an intagliated part. A thin film material having fluidity caused by a solvent is formed on the substrate(102). The solvent is reabsorbed to the thin film material. The mold is pressurized at a predetermined pressure to contact the thin film material. A part of the thin film material in contact with the embossed part of the mold pattern flows into the intagliated part of the mold pattern while the solvent contained in the thin film material is absorbed to the mold, so that the thin film material is solidified. The mold is separated from the substrate. The residual thin film material in contact with the embossed part of the mold is removed to selectively expose a part of the upper part of the substrate so that a thin film fine pattern is formed.
    • 目的:通过使用具有溶剂吸收力的模具的简单工艺,从基板上的期望薄膜的微图案提供制造半导体器件的微图案的方法。 构成:制备具有溶剂吸收力的模具(122),包括由压花部分和凹凸部分组成的图案结构。 在基板(102)上形成具有由溶剂引起的流动性的薄膜材料。 溶剂被再吸收到薄膜材料上。 模具以预定压力加压以接触薄膜材料。 与模具图案的压花部分接触的薄膜材料的一部分流入模具图案的变形部分,同时将包含在薄膜材料中的溶剂吸收到模具中,使得薄膜材料固化。 模具与基材分离。 去除与模具的压花部分接触的残余薄膜材料以选择性地暴露基板的上部的一部分,从而形成薄膜精细图案。
    • 15. 发明公开
    • 글래스 기판 패터닝장치
    • 玻璃电路板图案设备
    • KR1020160105578A
    • 2016-09-07
    • KR1020150027917
    • 2015-02-27
    • 유주티엔씨(주)주식회사 미뉴타텍
    • 김태완최인규
    • H01L21/027H01L21/02
    • H01L21/0272H01L21/02422H01L21/0243
    • 본발명은글래스기판패터닝장치에관한것으로, 그주된목적은대량으로생산되는기판을보다효율적으로생산함으로써, 생산성을극대화하는하는것이다. 이러한목적으로이루어진본 발명에따른글래스기판패터닝장치는; 작업이용이하도록일정높이의박스형상의외형을갖춘본체의상측에소정각도회동이가능하도록배치되는터닝장치와; 상기터닝장치의상측방향과소정거리이격된양단부가상기본체에고정된지지프레임과; 상기지지프레임의일측에배치되어상기터닝장치에구비된기판상에패터닝될부분에레진을도포하는디스펜싱장치와; 상기디스펜싱장치의평면상직각방향으로상기지지프레임에구비되며, 상기레진이도포된기판상측에구비된패턴몰딩을일측방향으로압축하며패턴을형성하는패터닝장치와; 상기패터닝장치의평면상직각방향으로상기지지프레임에배치되며, 상기패터닝장치에서패턴몰딩에의해형성된패턴을경화시키는경화장치로이루어진다. 이에따라, 본발명에따른글래스기판패터닝장치에의하면, 경화장치에의한빠른경화로인해글래스기판상에형성된패턴의불량이방지됨으로써, 생산성이향상되었으며, 턴테이블에의해연속적작업이가능하도록함으로써, 생산성을향상시킨이점이있다.
    • 玻璃基板图案形成装置技术领域本发明涉及玻璃基板图案形成装置。 本发明的主要目的是通过有效地生产大量生产的基底来最大限度提高生产率。 根据本发明,玻璃基板图案形成装置包括:在具有一定高度的盒形主体的上部以一定角度枢转的转动装置,使得操作容易进行; 支撑框架,其两端固定在箱形体上,使得支撑框架与箱形主体的上部隔开一定距离; 分配装置,其设置在所述支撑框架的一侧上,并且在设置在所述车削装置上的基板上将树脂施加到待图案化部分; 图案形成装置,其沿垂直于所述分配装置的平面的方向设置在所述支撑框架上,并且在压缩设置在施加有所述树脂的所述基板的上部上的图案模制的同时形成图案; 以及固化装置,其在垂直于图案形成装置的平面的方向上设置在支撑框架上,并固化在图案形成装置中通过图案模制形成的图案。 因此,根据本发明的玻璃基板图案形成装置,能够通过固化装置的快速固化来防止形成在基板上的图案的缺陷,从而提高生产率。 可以通过转盘执行连续操作,从而提高生产率。