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11. 发明公开

KR1020160008600A 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：下部固定装置，以及具有相同的流体控制装置
公开(公告)号：KR1020160008600A
公开(公告)日：2016-01-22
申请号：KR1020157035270
申请日：2014-11-12
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 아이카와겐지 , 마츠다다카히로
IPC分类号： F16B5/06 , F16K27/00 , F16B1/00
CPC分类号： F16B5/0642 , F16B1/00 , F16B2001/0035 , F16K27/00 , F16K27/003
摘要： 고정을위한공구를필요로하지않고, 또한고정의수고를줄여주는하단부재의고정장치및 이를구비한유체제어장치를제공한다. 하단부재(2)의관통공(11)은, 상면으로개구되는대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의하측으로이어져하면으로개구되는소직경부(11b)로이루어진다. 고정부재(14)는, 관통공(11)의소직경부(11a) 내에삽입되는축부(21)와, 관통공(11)의대직경부(11b) 내에삽입되는머리부(22)와, 축부(21)의하단에형성된자석부(23)로이루어진다. 지지부재(15)는, 자성체제로되고, 그상면에, 고정부재(11)의자석부(23)가끼워넣어지는오목부(16)가형성되어있다. 고정부재(11)의자석부(23)와지지부재(15) 사이에작용하는자력에의해, 지지부재(15)로부터하단부재(2)가이탈하는것이방지된다.

12. 发明授权

KR101560962B1 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치 有权
标题翻译：冲洗管线更换块接头和流体控制装置
公开(公告)号：KR101560962B1
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020137032568
申请日：2013-02-20
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 요고류지 , 시카타이즈루 , 고요모기무츠노리 , 마키노메구무 , 마츠다다카히로
IPC分类号： F17D1/04 , F16K27/00 , F16L41/02
CPC分类号： F16K27/003 , C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
摘要： 본발명은유체제어장치의대폭적인개조를행하지않으면서, 라인간에상이한퍼지가스의공급을가능하게하기위한퍼지라인변경용블록조인트및 이러한퍼지라인변경용블록조인트를구비한유체제어장치를제공한다. 본발명의유체제어장치에서는, 복수의라인중 적어도하나에있어서, 3방향밸브용통로부의상측에퍼지라인변경용블록조인트(5)가접속되어있다. 퍼지라인변경용블록조인트(5)는, 3방향밸브용통로부의프로세스가스용입구통로(7a)에연통되는프로세스가스용입구통로(5a)와, 프로세스가스용입구통로(5a)와 3방향밸브용통로부의출구통로(8a)를연통하는출구통로(5b)와, 3방향밸브용통로부의퍼지가스용입구통로(9a)에연통되지않고이것을폐지하는통로폐지부(5c)와, 출구통로(5b)에연통되고상면에개구하는신규퍼지가스용입구통로(5d)를갖는다.

13. 发明公开

KR1020150000498A 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制装置
公开(公告)号：KR1020150000498A
公开(公告)日：2015-01-02
申请号：KR1020147030997
申请日：2013-04-17
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 이나다도시유키 , 마츠다다카히로 , 고요모기무츠노리
IPC分类号： F17D1/02 , F16K27/00
CPC分类号： F15B13/0817 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F15B13/0896 , F16K27/003 , H01L21/67017 , Y10T137/87885
摘要： 본 발명은, 부품수를 삭감하고, 열의 수를 증감하는 등의 변경을 용이하게 행할 수 있는 유체 제어 장치를 제공한다. 하단층의 통로 블록으로서, 복수의 열에 걸쳐 배치된 복열용(3열용) 통로 블록(21)을 갖는다. 복열용 통로 블록(21)은, 3열에 걸쳐, 유량 제어기(16)의 입구측 돌출부(16b) 및 이것에 직렬형으로 배치된 2개의 입구측 개폐 밸브(14, 15)를 지지하고 있다. 복열용 통로 블록(21) 내에는, 직렬로 늘어서는 유체 제어 기기의 통로끼리를 연통(連通)하기 위한 세로 방향 통로와, 인접하는 열의 유체 제어 기기끼리를 연통하기 위한 가로 방향 통로가 형성되어 있다.
摘要翻译：流体控制装置具有减少的部件数量，并且能够进行简单的改变，例如增加或减少线数。下级的通道块包括设置在多条线上的多线（三线）通道块21。多行通道块21在三条线上接收上段，其中每条线包括流量控制器16的入口延伸部16b和与入口串联布置的两个入口侧开关阀14,15 延伸部16b。多行通道块21具有纵向通道和横向通道。纵向通道与每行串联布置的流体控制装置的通道连通。横向通道与布置在相邻线路中的流体控制装置的通道连通。

14. 发明授权

KR101840103B1 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치 有权
标题翻译：用于下部件的固定装置和具有该部件的流体控制装置
公开(公告)号：KR101840103B1
公开(公告)日：2018-03-19
申请号：KR1020157035270
申请日：2014-11-12
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 아이카와겐지 , 마츠다다카히로
IPC分类号： F16B5/06 , F16K27/00 , F16B1/00
CPC分类号： F16B5/0642 , F16B1/00 , F16B2001/0035 , F16K27/00 , F16K27/003
摘要： 고정을위한공구를필요로하지않고, 또한고정의수고를줄여주는하단부재의고정장치및 이를구비한유체제어장치를제공한다. 하단부재(2)의관통공(11)은, 상면으로개구되는대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의하측으로이어져하면으로개구되는소직경부(11b)로이루어진다. 고정부재(14)는, 관통공(11)의소직경부(11a) 내에삽입되는축부(21)와, 관통공(11)의대직경부(11b) 내에삽입되는머리부(22)와, 축부(21)의하단에형성된자석부(23)로이루어진다. 지지부재(15)는, 자성체제로되고, 그상면에, 고정부재(11)의자석부(23)가끼워넣어지는오목부(16)가형성되어있다. 고정부재(11)의자석부(23)와지지부재(15) 사이에작용하는자력에의해, 지지부재(15)로부터하단부재(2)가이탈하는것이방지된다.
摘要翻译：本发明提供一种下部件固定装置以及具有该下部件固定装置的流体控制装置，该下部件固定装置用于减少固定工作而不需要用于固定的工具底部构件（2）贯通孔11 uigwan由一个大直径部分（11a）和一小直径部分的（11B），其是开放的大径侧时引线（11A），其是在上表面乌伊哈岛开放。固定部件14具有插入通孔11的小直径部分11a中的轴部分21，插入通孔11的大直径部分11b中的头部22，并且在磁体21的下端形成有磁体部23。支撑构件15由磁性材料制成并且在其上表面上具有凹部16，固定构件11的磁体保持器部23装配到该凹部16中。由于在磁体构件23与固定构件11的支撑构件15之间作用的磁力，防止下端构件2从支撑构件15脱离。

15. 发明授权

KR101710769B1 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制装置
公开(公告)号：KR101710769B1
公开(公告)日：2017-02-27
申请号：KR1020147030997
申请日：2013-04-17
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 이나다도시유키 , 마츠다다카히로 , 고요모기무츠노리
IPC分类号： F17D1/02 , F16K27/00
CPC分类号： F15B13/0817 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F15B13/0896 , F16K27/003 , H01L21/67017 , Y10T137/87885
摘要： 본발명은, 부품수를삭감하고, 열의수를증감하는등의변경을용이하게행할수 있는유체제어장치를제공한다. 하단층의통로블록으로서, 복수의열에걸쳐배치된복열용(3열용) 통로블록(21)을갖는다. 복열용통로블록(21)은, 3열에걸쳐, 유량제어기(16)의입구측돌출부(16b) 및이것에직렬형으로배치된 2개의입구측개폐밸브(14, 15)를지지하고있다. 복열용통로블록(21) 내에는, 직렬로늘어서는유체제어기기의통로끼리를연통(連通)하기위한세로방향통로와, 인접하는열의유체제어기기끼리를연통하기위한가로방향통로가형성되어있다.
摘要翻译：流体控制装置具有减少的部件数量，并且能够进行简单的改变，例如增加或减少线数。下级的通道块包括设置在多条线上的多线（三线）通道块21。多行通道块21在三条线上接收上段，其中每条线包括流量控制器16的入口延伸部16b和与入口串联布置的两个入口侧开关阀14,15 延伸部16b。多行通道块21具有纵向通道和横向通道。纵向通道与每行串联布置的流体控制装置的通道连通。横向通道与布置在相邻线路中的流体控制装置的通道连通。

16. 发明授权

KR101661003B1 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制器
公开(公告)号：KR101661003B1
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：KR1020117020923
申请日：2009-11-06
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 히로세준 , 데즈카가즈유키 , 우치다요헤이 , 고요모기무츠노리 , 마츠다다카히로 , 도히료우스케 , 니시노고우지 , 이케다노부카즈
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
摘要： 본발명은, 비용을절감하고, 스페이스의감소도가능하게한 유체제어장치를제공하는것을목적으로한다. 유체제어장치(1)는, 유체제어부(2)와유체도입부(3)를포함하고있다. 유체도입부(3)는, 3개로나누어져있고, 입구측에배치되어각각 2×N/2개의개폐밸브(23)로이루어진제1 및제2 입구측차단개방부(5, 6)와, 4×M개의개폐밸브(23)로이루어지며, 제1 및제2 입구측차단개방부(5, 6)와유체제어부(2) 사이에배치된유체제어부측차단개방부(7)를포함한다.

17. 发明公开

KR1020160070180A 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：用于固定下层构件的设备和具有相同功能的液体控制装置
公开(公告)号：KR1020160070180A
公开(公告)日：2016-06-17
申请号：KR1020167012343
申请日：2015-01-08
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 아이카와겐지 , 마츠다다카히로
IPC分类号： F16B5/06 , F16B21/08 , F16K27/00
CPC分类号： F16B21/086 , F16B5/0642 , F16K27/00 , F16K27/003
摘要： 고정을위한공구를불필요로하며, 고정의수고를삭감한하단부재의고정장치및 이것을구비한유체제어장치를제공한다. 하단부재(2)의관통구멍(11)은, 상면에개구하는대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의하측에연속하며하면에개구하는소직경부(11b)를포함한다. 고정부재(14)는, 하단부재(2)의관통구멍(11)의대직경부(11a) 내에삽입되는머리부(21)와, 하단부재(2)의관통구멍(11)의소직경부(11b) 내에삽입되는상측축부(22)와, 지지부재(51)의관통구멍(16)에상단부가삽입된하측축부(23)를포함한다. 하측축부(23)에, 지지부재(51)의관통구멍(16)의하측개구연부에맞물려고정부재(14)가지지부재(51)로부터탈락하는것을방지하는맞물림볼록부(29)가마련되어있다.

18. 发明公开

KR1020150107879A 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조 有权
标题翻译：流体控制装置和用于在流体控制装置上安装热传感器的结构
公开(公告)号：KR1020150107879A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：KR1020157022600
申请日：2014-02-17
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 요코타준 , 요시다다카히로 , 응엔타잉뚱 , 마츠다다카히로
IPC分类号： F16K27/00 , G01K1/14 , F16K31/12 , G05D7/00
CPC分类号： G05D7/03 , F16K27/003 , F16K37/0025 , G01K13/02 , G01M3/002 , G05D23/22
摘要： 본 발명은 유체 제어 장치에 있는 스페이스를 효과적으로 사용하고, 간단한 시공으로 온도 관리를 위한 서멀 센서를 설치할 수 있는 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조를 제공한다.
유체 제어 장치(1)는, 서로 인접하는 제1 유체 제어 기기(3) 및 제2 유체 제어 기기(4)와, 제1 유체 제어 기기(3) 내를 흐르는 유체의 온도를 측정하는 서멀 센서(17)를 구비하고 있다. 유체 제어 장치(1)는, 제2 유체 제어 기기(4)에 부착되어 서멀 센서(17)를 지지하는 지지 부재(19)를 더 구비하고 있다.
摘要翻译：本发明提供了一种流体控制装置，其通过有效利用流体控制装置中的空间和相对于流体控制装置的热传感器安装结构，通过简单的工作来安装用于温度控制的热传感器。流体控制装置1包括彼此相邻的第一流体控制装置3和第二流体控制装置4，以及被配置为测量在第一流体控制装置3中流动的流体的温度的热传感器17.流体控制装置1 进一步包括被配置为支撑附接到第二流体控制装置4的热传感器17的支撑构件19。

19. 发明公开

KR1020150001668A 유체 제어 장치용 조인트 및 유체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：流体控制装置和流体控制装置
公开(公告)号：KR1020150001668A
公开(公告)日：2015-01-06
申请号：KR1020140078799
申请日：2014-06-26
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 요고류지 , 마츠다다카히로 , 시카타이즈루 , 노지마신야
IPC分类号： F16K27/00 , F17D1/02 , H01L21/02
CPC分类号： F16K27/003 , C23C16/45561 , F16L39/06 , F16L41/03 , Y10T137/87684
摘要： 본 발명은 복수의 라인으로부터의 유체의 취출의 자유도를 향상시킬 수 있는 유체 제어 장치용 조인트 및 이 조인트를 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치에서의 출구측 개폐 밸브 지지 구조(10)는, 각 라인마다 상단에 배치되어 있는 출구측 개폐 밸브(7)와, 각 라인마다 하단에 배치되어 있는 단열용 조인트(11)와, 전체 라인에 걸쳐 하단에 배치되어 있는 복열용 조인트(12)와, 출구측 개폐 밸브(7)와 단열용 조인트(11) 및 복열용 조인트(12) 사이에 배치된 유체 취출용 조인트(21)를 구비한다. 유체 취출용 조인트(21)는, 일단이 단열용 조인트(11)의 출구 통로(11b)에 연통하고, 타단이 출구측 개폐 밸브(7)의 입구 통로(7a)에 연통하는 입구 통로(23)와, 일단이 출구측 개폐 밸브(7)의 출구 통로(7b)에 연통하고, 타단이 라인 방향 출구측의 측면(22a)에 개구된 출구 통로(24)와, 복열용 조인트(12)의 분기 통로(12b)의 개구를 폐쇄하는 폐쇄부(26)를 갖는다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于流体控制装置和具有接头的流体控制装置的接头，其可以增强从多条管线中提取流体的自由度。根据本发明的流体控制装置的出口的开关阀支撑结构（10）包括：出口的开关阀（7），其布置在每条线的上端; 布置在每条线的下端的用于隔热的接头（11）; 布置在整条下端的双重绝缘接头（12）; 以及用于提取布置在出口的开关阀（7），用于绝热的接头（11）和用于双重绝缘的接头（12）之间的流体的接头（21）。用于提取流体的接头（21）包括：入口路径（23），其一端与接头（11）的出口路径（11b）连通，用于绝热，另一端与入口路径（7a）连通，出口的开关阀（7）; 出口路径（24），其一端与出口的开关阀（7）的出口路径（7b）连通，另一端朝向线路方向的出口侧（22a）打开; 以及用于闭合用于双重绝缘的接头（12）的分支路径（12b）的开口的闭合部分（26）。

20. 发明公开

KR1020110123258A 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制器
公开(公告)号：KR1020110123258A
公开(公告)日：2011-11-14
申请号：KR1020117020923
申请日：2009-11-06
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 히로세준 , 데즈카가즈유키 , 우치다요헤이 , 고요모기무츠노리 , 마츠다다카히로 , 도히료우스케 , 니시노고우지 , 이케다노부카즈
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396 , G05D7/0617
摘要： 본 발명은, 비용을 절감하고, 스페이스의 감소도 가능하게 한 유체 제어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 유체 제어 장치(1)는, 유체 제어부(2)와 유체 도입부(3)를 포함하고 있다. 유체 도입부(3)는, 3개로 나누어져 있고, 입구측에 배치되어 각각 2×N/2개의 개폐 밸브(23)로 이루어진 제1 및 제2 입구측 차단 개방부(5, 6)와, 4×M개의 개폐 밸브(23)로 이루어지며, 제1 및 제2 입구측 차단 개방부(5, 6)와 유체 제어부(2) 사이에 배치된 유체 제어부측 차단 개방부(7)를 포함한다.

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