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101. 发明授权

KR101281454B1 측정장치 및 이의 보정방법 有权
标题翻译：检验装置及其补偿方法
公开(公告)号：KR101281454B1
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：KR1020100099607
申请日：2010-10-13
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 이현기 , 권달안 , 전정열
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/00
CPC分类号： G01C11/02 , G01B11/0608
摘要： 본 발명은 측정대상물이 형성된 기판을 측정하는 측정장치 및 이의 보정방법에 관한 것으로, 본 발명의 보정방법에 따르면, 기준위상 측정을 위한 기판의 위상을 촬상부를 통해 측정하여 기준위상을 측정하고, 측정된 기준위상의 기준면이 촬상부의 이미지 평면에 대해 기울어진 자세를 획득한 후, 기울어진 자세를 기초로 촬상부에 대한 기준면의 보정이 필요한 높이를 산출한다. 이와 같이, 기준위상의 기울어진 자세를 기초로 높이 측정의 기준이 되는 기준면을 보정함으로써, 측정대상물의 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

102. 发明公开

KR1020130061663A 높이 측정 방법, 높이 측정용 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체, 높이 측정 장치 无效
标题翻译：高度测量方法，测量高度的程序和高度测量装置
公开(公告)号：KR1020130061663A
公开(公告)日：2013-06-11
申请号：KR1020127024065
申请日：2011-03-08
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 스즈키야스오 , 야마구치마사야
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B21/045 , G01B11/0608
摘要： 낙사 조명 장치에서 피검물을 조명 또는 피검물에 투영 패턴을 투영하고, 광축 방향으로 스캔하여 피검물 또는 투영 패턴을 결상 광학계의 촬상 장치로 촬상하며, 촬상 장치에 있어서의 포커싱 측도값이 최대가 되는 위치를 피검물의 표면 위치로 하여 높이값을 취득하는 높이 측정 방법, 높이 측정 프로그램 및 높이 측정 장치이다. 이 높이 측정 방법, 프로그램 및 장치는 피검물 표면의 경사 각도에 따른 높이 보정값을 각도 보정값으로서 미리 구하고, 촬상 장치의 각 화소의 구한 높이값으로부터 각 화소 위치에 대응하는 피검물 표면의 경사 각도를 구하며, 구해진 경사 각도에 대응하는 높이 보정값을 각도 보정값으로부터 구하고, 구해진 높이 보정값을 이용하여 각 화소에 대응하는 피검물의 표면의 높이값을 보정한다.

103. 发明公开

KR1020120106913A 자동 광학 검사기의 자동 초점 조절 장치. 审中-实审
标题翻译：自动光学检测仪的自动聚焦装置
公开(公告)号：KR1020120106913A
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：KR1020110023548
申请日：2011-03-16
申请人： 해성디에스 주식회사
发明人： 문기상 , 여승문
IPC分类号： G02B27/40 , G01B11/06 , G01N21/956 , H05K13/08 , G01J3/28
CPC分类号： G02B27/40 , G01B11/0608 , G01J2003/282 , G01N21/95623 , G01N2021/9563 , H05K13/08
摘要： PURPOSE: An automatic focus control device of an automatic optical inspector is provided to prevent a shadow phenomenon in an edge part of a conductive line pattern and secure the reliability of a printed circuit board. CONSTITUTION: An automatic focus control device includes a lighting unit(120), a line scan camera(130), a controller(140), and a focus data analyzing unit(150). The line scan camera scans a printed circuit board. The lighting unit emits light on the printed circuit board. The focus data analyzing unit generates the initial focus information of the camera and generates the final focus information by analyzing an image from the camera. The controller transmits a control signal for controlling the focus of the camera to the camera based on the initial focus information and the final focus information and transmits the image from the camera to the focus information analyzing unit. [Reference numerals] (140) Controller; (150) Focus data analyzing unit
摘要翻译：目的：提供自动光学检测器的自动对焦控制装置，以防止导线图案的边缘部分的阴影现象，并确保印刷电路板的可靠性。构成：自动聚焦控制装置包括照明单元（120），行扫描照相机（130），控制器（140）和焦点数据分析单元（150）。线扫描相机扫描印刷电路板。照明单元在印刷电路板上发光。焦点数据分析单元生成相机的初始焦点信息，并通过分析来自相机的图像来生成最终聚焦信息。控制器基于初始聚焦信息和最终对焦信息，将用于控制照相机焦点的控制信号发送到相机，并将图像从相机发送到焦点信息分析单元。（附图标记）（140）控制器; （150）焦点数据分析单元

104. 发明公开

KR1020120038072A 측정장치 및 이의 보정방법 有权
标题翻译：检验装置及其补偿方法
公开(公告)号：KR1020120038072A
公开(公告)日：2012-04-23
申请号：KR1020100099607
申请日：2010-10-13
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 이현기 , 권달안 , 전정열
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/00
CPC分类号： G01C11/02 , G01B11/0608
摘要： PURPOSE: A measuring device and a correcting method thereof are provided to enhance the usage efficiency of a pattern light projected from the projection unit and take a stable pattern image because the transmittance of a beam splitter is constituted higher than the reflectivity. CONSTITUTION: A correcting method of a measuring device is as follows. Images are obtained by taking of pictures of a calibration substrates in which a plurality of patterns is formed through a photographing unit having a camera and photographing lens(S100). Information related to a length between the plurality of patterns are obtained from the obtained images(S110). Reference data of the calibration substrates is brought(S120). Information related to a position of the calibration substrates is obtained by using the obtained information related to the length between the plurality of patterns and the information related to the length between the plurality of patterns from the reference data(S130). The photographing unit is calibrated by using the reference data of the calibration substrates and the information related to the position(S140).
摘要翻译：目的：提供一种测量装置及其校正方法，以提高从投影单元投影的图案光的使用效率，并且由于分束器的透射率构成为高于反射率，因此获得稳定的图案图像。构成：测量装置的校正方法如下。通过拍摄通过具有相机和拍摄镜头的拍摄单元形成多个图案的校准基板的图像，获得图像（S100）。从所获得的图像获得与多个图案之间的长度相关的信息（S110）。带有校准基板的参考数据（S120）。通过使用获得的与多个图案之间的长度相关的信息和与参考数据之间的多个图案之间的长度相关的信息，获得与校准基板的位置有关的信息（S130）。通过使用校准基板的参考数据和与位置相关的信息校准拍摄单元（S140）。

105. 发明授权

KR101118195B1 Three-dimensional measurement device 有权
标题翻译：三维测量装置
公开(公告)号：KR101118195B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR20090112047
申请日：2009-11-19
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/88 , G06T7/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/03
摘要： 위상 시프트법을 이용한 삼차원 계측을 행하는데 있어서, 보다 고정밀도의 계측을 보다 단시간에 실현할 수 있는 삼차원 계측 장치를 제공한다.
삼차원 계측 장치를 가지는 기판 검사 장치는, 크림 땜납이 인쇄되어 이루어지는 프린트 기판에 대해서 줄무늬 모양{縞狀}의 광 패턴을 조사하는 조사 장치와, 프린트 기판 상의 조사된 부분을 촬상하는 CCD 카메라와, 이것에 의해 촬상된 화상 데이터에 의거해서 삼차원 계측을 행하는 제어 장치를 구비하고 있다. 제어 장치는 주기 2㎛의 제1 광 패턴을 제1 위치에서 조사하여 얻어진 화상 데이터에 의거해서 각 화소마다{每}의 제1 높이 데이터를 산출한다. 또, 반화소{半畵素} 피치 비스듬하게 어긋난 제2 위치에서, 주기 4㎛의 제2 광 패턴을 조사하여 얻어진 화상 데이터에 의거해서 각 화소마다의 제2 높이 데이터를 산출한다. 그리고, 제2 높이 데이터를 기초로, 각 제1 높이 데이터의 줄무늬 차수{次數}를 특정하고, 해당 제1 높이 데이터의 값을 줄무늬 차수를 고려한 값으로 치환한다.
기판 검사 장치, 프린트 기판, 조명 장치, CCD 카메라, 제어 장치, 모터, 제1 높이 데이터, 제2 높이 데이터.

106. 发明公开

KR1020120020090A 무중력 형상 추정 방법 및 그 기기 审中-实审
标题翻译：用于估计无重量形状的方法和装置
公开(公告)号：KR1020120020090A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020110086712
申请日：2011-08-29
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 압봇트,존스틸III , 하베이,다니엘알. , 우스타니크,코레이로버트
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B5/0004 , G01B5/0016
摘要： PURPOSE: A methods and apparatus for estimating gravity-free shapes, which can estimate the weightlessness shape of the flexible object used for a display device, is provided to compensate the accuracy of the shape decision. CONSTITUTION: A methods and apparatus for estimating gravity-free shapes comprises like next. A flexible object(140) is supported highly a plurality of adjustable pins(110). The weights of the flexible objects are repetitively measured by sensors. The height of the pin is adjusted based on the measured weight. The height of the adjustable pin is adjusted. The shape of the flexible object is measured by using the system for measuring.
摘要翻译：目的：提供用于估计无重力形状的方法和装置，其可以估计用于显示装置的柔性物体的失重形状，以补偿形状决定的准确性。构成：用于估计无重力形状的方法和装置如下所示。柔性物体（140）被高度支撑多个可调节销（110）。柔性物体的重量由传感器重复测量。根据测量的重量调节销的高度。可调节销的高度被调整。通过使用测量系统测量柔性物体的形状。

107. 发明公开

KR1020110139674A 변위 검출 장치 有权
标题翻译：位移检测装置
公开(公告)号：KR1020110139674A
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：KR1020110061358
申请日：2011-06-23
申请人： 디엠지 모리 가부시키가이샤
发明人： 다미야히데아키
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B11/0608
摘要： PURPOSE: A displacement sensor is provided to enable relative position information to be obtained by the interfering light of reflective light form a target and reflective light from a reflecting member. CONSTITUTION: A displacement sensor(100) comprises a light source(1), a first beam splitter(3), a reflective member(8), objective lens(5), a first light receiving unit(30), a relative position information output unit(60), a second beam splitter(20), an astigmatism generator(10), a second light receiving unit(40), and an absolute position information output unit(50). The first beam splitter splits light emitted from the light source to two beams. The reflective member reflects the first beam split by the first beam splitter. The objective lens condenses the second beam split by the first beam splitter onto a target.
摘要翻译：目的：提供位移传感器，以通过反射光的干涉光形成来自反射构件的目标和反射光来获得相对位置信息。构成：位移传感器（100）包括光源（1），第一分束器（3），反射构件（8），物镜（5），第一光接收单元（30），相对位置信息输出单元（60），第二分束器（20），像散发生器（10），第二光接收单元（40）和绝对位置信息输出单元（50）。第一个分束器将从光源发射的光分成两束。反射构件反射由第一分束器分裂的第一光束。物镜将由第一分束器分裂的第二光束冷凝到目标上。

108. 发明公开

KR1020110137724A 변위 검출 장치 审中-实审
标题翻译：位移检测装置
公开(公告)号：KR1020110137724A
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020110049997
申请日：2011-05-26
申请人： 디엠지 모리 가부시키가이샤
发明人： 오구리다이스케
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B21/045 , G01B11/0608 , G02B7/34
摘要： PURPOSE: A displacement sensor is provided to reduce errors in measurement caused by dust and debris attached to a surface to be measured. CONSTITUTION: A displacement sensor(1) comprises a light source(2), an objective lens(3) which condenses the light from the light source to a surface to be measured, a split optical system(4) which separates the optical path of the light reflected from the surface from the optical path of the light emitted from the light source, a light collecting device(7) which collects the separated reflective light, an astigmatism generating unit(8) which gives astigmatism to the collected reflective light, a light receiving unit(9) which detects the amount of the reflective light with astigmatism, and a position information generating unit(10) which generates the position information of the surface using a focus error signal obtained from the detected light amount.
摘要翻译：目的：提供位移传感器，以减少由附着在待测表面上的灰尘和碎屑引起的测量误差。构成：位移传感器（1）包括光源（2），将来自光源的光聚光到待测表面的物镜（3），分离光学系统（4），其将光路从光源发射的光的光路从表面反射的光，收集分离的反射光的光收集装置（7），对所收集的反射光进行散光的象散发生单元（8）用于检测具有散光的反射光的量的光接收单元（9），以及使用从检测到的光量获得的聚焦误差信号来生成表面的位置信息的位置信息生成单元（10）。

109. 发明公开

KR1020110135594A 광학식 적설량 계측방법 및 장치 失效
标题翻译：用于测量雪的方法和装置
公开(公告)号：KR1020110135594A
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020100055415
申请日：2010-06-11
申请人： 주식회사 선반도체
发明人： 최용규 , 한석빈
IPC分类号： G01W1/14 , G01F23/292 , G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0608 , G01F23/292 , G01S17/95 , G01W1/14
摘要： PURPOSE: Optical snow depth measuring method and apparatus are provided to improve the accuracy of measurement and to minimize the shaking phenomenon of snow due to wind using the reflective light of incident light. CONSTITUTION: An optical snow depth measuring method includes the following: Slit-shaped light is irradiated from laser beam(10) toward the ground at a pre-set angle. A camera(20) is installed at the reflected angle of the light and is toward the reflected side of the light. Image is taken by the camera. In the image, the reflected image from the ground is set as a reference point(p1). According to distances between reflected points from a snow surface and the reference point, the height of the snow surface with respect to the reference point is relatively calculated to obtain snow depth using phytahgoras theorem and trigonometric ratio.
摘要翻译：目的：提供光学积雪深度测量方法和装置，以提高测量精度，并使入射光的反射光最小化因风引起的雪的震动现象。构成：光学积雪深度测量方法包括：从激光束（10）以预设角度朝向地面照射狭缝状光。照相机（20）以光的反射角安装并且朝向光的反射侧。相机拍摄图像。在图像中，来自地面的反射图像被设置为参考点（p1）。根据雪面反射点与参考点之间的距离，相对于参考点的雪面的高度被相对计算，以使用phytahgoras定理和三角比来获得积雪深度。

110. 发明授权

KR100984809B1 주사 간섭계를 위한 위상 갭 분석 有权
标题翻译：扫描干涉仪的相位差分析
公开(公告)号：KR100984809B1
公开(公告)日：2010-10-04
申请号：KR1020047017658
申请日：2003-05-02
申请人： 지고 코포레이션
发明人： 디그로트,피터제이
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B9/02044 , G01B9/02078 , G01B9/02085 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B11/2441
摘要： 본 발명의 방법은 검사 표면(test surface)용 간섭측정 데이터로부터 도출된 코히어런스 프로필 및 위상 프로필을 제공하는 단계; 상기 코히어런스 프로필 및 위상 프로필 간의 차와 관련된 위상 갭 맵(phase gap map)을 계산하는 단계; 상기 코히어런스 프로필을 기반으로 한 항(term)을 포함하는 표현식을 위상 갭 맵에 부합시키는 단계; 및, 상기 부합으로부터 도출된 정보를 사용하여 상기 검사 표면용 높이 프로필을 결정하는 단계를 포함한다.
검사 표면, 간섭측정 데이터, 코히어런스 프로필, 위상 프로필, 위상 갭 맵

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